光掩模湿法显影刻蚀设备1#国际招标公告(1)
光掩模湿法显影刻蚀设备1#国际招标公告(1)
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 光掩模湿法显影刻蚀设备1# | 1台 | 满足0.5um~0.18um节点光掩模显影和湿法蚀刻技术要求 |
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