微波等离子清洗机及压力除泡系统国际招标公告(2)
微波等离子清洗机及压力除泡系统国际招标公告(2)
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 微波等离子清洗机 | 1套 | 通过真空泵控制腔体压力的真空值,使用电源,使得定量的特殊气体产生微波等离子体,特殊气体等离子体通过物理或者化学特性,对晶片-晶圆/衬底初步键合后进行表面清理的机台。 | |
2 | 压力除泡系统 | 1套 | 利用可变正负压力密闭腔体式工作环境,通过控制正负压力,以及烘烤温度调整的工艺参数,去除材料内部的气泡并固化的一套装置。 |
招标
|
上海国际招标有限公司 关注我们可获得更多采购需求 |
关注 |
最近搜索
无
热门搜索
无