项目名称：复旦大学原子层沉积系统（ALD）项目
日期：2013年07月10日
招标编号：0773-1340SHHW3103
中金招标有限责任公司受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2013年07月10日在公告。本次招标采用传统招标 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数：
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数：
设备名称：原子层沉积系统（ALD）
数量：1套
交货期：收到信用证后4个月
2. 技术规格
★2.5. 沉积Al2O3和HfO2的Breakdown Voltage分别不小于 6MV/cm和4MV/cm。
★2.9.2. 加热料源装置及其管路须有保温装置。
★2.9.5. 载气管路系统须采用N2或Ar并采用单独的质量流量计进行控制。


2、招标文件售价：800.00
3、购买招标文件时间：2013-7-10 至 2013-7-16
4、购买招标文件地点：中金招标有限责任公司上海业务部
5、投标截止时间和开标时间：2013-07-31 09:00
6、中标情况将在公示。
7、开标地点：中金招标有限责任公司上海业务部
地 址：上海市陆家浜路1378号万事利大厦503室
邮编：200011
电子邮箱：cmttendering_sh@126.com
电话： ***-********
传真：***-********
联系人：陈江涛 邱驰
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