发布时间：2021-06-04 17:06:51 截止时间：2021-06-08 16:00:00
基本信息：
申购单号：CB*************** 申购主题：中央民族大学半导体材料检测平台采购项目 采购单位：中央民族大学 报价要求：国产含税 发票类型：增值税普通发票 币种：人民币 预算：
签约时间：发布竞价结果后3天内签约合同 送货时间：合同签订后10天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址：北京市/市辖区/海淀区/ 我要报价
付款方式：货到验收合格后付款 备注说明：
（1）质保期： 壹 年；
（2）履约金及质保金：合同签订前，中标人应先缴纳合同总金额5%的履约保证金，验收合格后自行转为质保金，质保期满后，如无质量、服务投诉和索赔，该款项无息返还。
申购明细：
序号
1
采购内容
半导体材料检测平台
数量
1套
预算单价
品牌
布劳恩
型号
TM01
规格参数
功能要求： 1、PLC自动化参数控制系统 2、冷却介质控温要求：5-35℃ 3、气体压力控制及显示功能 4、压力、温度、水氧指示功能 技术参数： 1. ★高真空测量系统，含PIRANI和PENNING两种检测方式，测量范围：大气压到5 x10-9mbar。 2.PLC控制系统，图像化显示各工艺部件状态界面。 3、液态介质冷却单元 控温范围：5-35℃，温控精度：±1℃；体积：15L 4.内循环处理系统 工作气体：氮气，氩气或氦气。 ★再生气体：氮气/氢气混合气或者氩气/氢气混合气，再生程序可根据再生气中的氢气浓度调整（<4% 或 >4%氢气浓度对应不同再生程序）。 循环泵： 集成有循环泵，当压差为60mbar时，循环流量可达88 m3/h。 ★循环功率可在60% ~100%内设置调整，箱体内压力可在+/-15mbar内任意调节。 控制系统： PLC控制系统，彩色触摸屏控制，以及用于压力调节的脚踏板自动压力控制系统。 5.模块化箱体 模块化设计，端板法兰结构，可与其他箱体连接扩展。 手套箱气密性为行业一级标准，箱体泄漏率小于0.05vol%/h ★（根据ISO 10648-2，氧浓度上升法检测） 箱体内部有效尺寸：长2200mm，深780mm，高900mm。 6.水探头 测量范围为0到500ppm。探头精度：0.1ppm ★水探头为铂电极结构，探头安装于箱体循环出气管道 7.氧探头 ★氧探头为固体氧化锆结构，不含有需要人工维护的部件。探头安装于箱体循环出气管道。 测量范围为0到1000ppm。探头精度0.1ppm。
质保及售后服务
服务网点:当地;电话支持:7x24小时;培训时间：设备交验后2天技术培训，每学期一次技术培训；服务时限:报修后2小时响应，4小时到达客户现场;商品承诺:原厂全新未拆封正品