中央民族大学-竞价公告(CB100522021000002)
中央民族大学-竞价公告(CB100522021000002)
申购单号:CB100522021000002
申购主题:中央民族大学半导体材料检测平台采购项目
采购单位:中央民族大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后3天内签约合同
送货时间:合同签订后10天内送达
安装要求:免费上门安装(含材料费)
收货地址:北京市/市辖区/海淀区/****
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:(1)质保期:壹 年;(2)履约金及质保金:合同签订前,中标人应先缴纳合同总金额5%的履约保证金,验收合格后自行转为质保金,质保期满后,如无质量、服务投诉和索赔,该款项无息返还。申购明细:
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
1 | 半导体材料检测平台 | 1.0 | 套 |
品牌 | 布劳恩 | ||
型号 | TM01 | ||
规格参数 | 功能要求:1、PLC自动化参数控制系统2、冷却介质控温要求:5-35℃3、气体压力控制及显示功能4、压力、温度、水氧指示功能技术参数:1. ★高真空测量系统,含PIRANI和PENNING两种检测方式,测量范围:大气压到5 x10-9mbar。2.PLC控制系统,图像化显示各工艺部件状态界面。3、液态介质冷却单元控温范围:5-35℃,温控精度:±1℃;体积:15L4.内循环处理系统工作气体:氮气,氩气或氦气。★再生气体:氮气/氢气混合气或者氩气/氢气混合气,再生程序可根据再生气中的氢气浓度调整(<4% 或 >4%氢气浓度对应不同再生程序)。循环泵:集成有循环泵,当压差为60mbar时,循环流量可达88 m3/h。★循环功率可在60% ~100%内设置调整,箱体内压力可在+/-15mbar内任意调节。控制系统:PLC控制系统,彩色触摸屏控制,以及用于压力调节的脚踏板自动压力控制系统。5.模块化箱体模块化设计,端板法兰结构,可与其他箱体连接扩展。手套箱气密性为行业一级标准,箱体泄漏率小于0.05vol%/h★(根据ISO 10648-2,氧浓度上升法检测)箱体内部有效尺寸:长2200mm,深780mm,高900mm。6.水探头测量范围为0到500ppm。探头精度:0.1ppm★水探头为铂电极结构,探头安装于箱体循环出气管道7.氧探头★氧探头为固体氧化锆结构,不含有需要人工维护的部件。探头安装于箱体循环出气管道。测量范围为0到1000ppm。探头精度0.1ppm。 | ||
质保及售后服务 | 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;培训时间:设备交验后2天技术培训,每学期一次技术培训;服务时限:报修后2小时响应,4小时到达客户现场;商品承诺:原厂全新未拆封正品 |
标签: 大学
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