品牌

赫智科技、托托科技、复享光学

型号

ATS-07-UV litho、TTT-MUVL-01、GZL-2000

技术规格及参数

1.曝光波长：405nm LED（不低于18W）
2.数字掩模板分辨率：不低于1920*1080像素，且单个像素尺寸不超过7.6um
3.光刻精度：20X紫外物镜：优于2.5μm；50X紫外物镜：优于1.5μm
4.高精度电动物镜切换线轨，可实现至少2个物镜的快速切换（<1 秒），且重复定位精度优于500nm。
5.自动寻焦模组，精度优于100nm；
6.调焦台运动行程：不小于15mm
7.精准套刻：有，精度优于1μm。
8.套刻对准精度：优于200nm
9.套刻指引：460nm/520nm/620nm，可实时虚拟曝光投影，实现所见即所得的效果。
10.支持基片尺寸：5mm×5mm（最小）；100mm×100mm（最大）
11.XY拼接台位移精度:优于100nm（直线光栅尺精度）
a)拼接台行程：不小于100mm
b)运动台绝对精度：±1μm
c)位移台类型：闭环控制的直线驱动电动平台（无丝杠导轨，无回程差）
12.软件：全自动光刻软件，可做线宽测量，智能位置移动。
13.*设备尺寸：不超过75厘米×75厘米×75厘米
14.设备重量：120±10千克
15.设备外壳：UV防护外壳
16.附属配件：含光学平台，电脑，无线键鼠，真空泵

售后及质保要求

质保期：中标人提供制造商免费质保【1】年。
维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【24】小时内响应，【48】小时内派员上门现场维护，并在【72】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。