购置“光刻机”招标项目报名公告

招标代理:- 招标人：清华大学 购置“光刻机”招标项目报名公告
招标项目编号：清设报第*******号
清华大学拟对购置“光刻机”项目进行招标，欢迎具有相应资质的单位报名参与投标。项目情况及相关要求如下：
一、项目简介
清华大学交叉信息研究院购置“光刻机”，用于纳米与微结构器件制备中高精度图形及结构的光刻与套刻。
二、招标内容
光刻机一台，配置及主要技术指标要求如下：
1、 芯片尺寸： 3、4英寸圆片及小碎片。
2、 由微机进行工艺参数设定，具有自我故障诊断功能，工艺操作方便快捷。
3、 具有自动找平系统，能够有效地对芯片厚度进行补偿，不产生位置漂移，确保设备长期稳定可靠地工作。
4、 曝光系统光源功率350-500W；光谱范围250-400nm；光刻分辨率 小于 0.7?m。
5、 对准台机械调节分辨率达到0.1μm；X轴移动行程±10mm，Y轴移动行程±5mm，Z轴移动行程6mm；承片台转动角度达到?5°。
6、 设备配置正面及背面对准光学系统，分离视场显微镜，具有图像存储和图像记忆功能；正面对准精度达到?0.5?m，背面对准精度达到?1?m。
7、 系统具备多种曝光方式，如接近式，硬接触，软接触，真空接触等曝光模式。
8、 系统具备功能扩展能力，如日后可升级软模具纳米压印等功能。
9、 系统需配置附件及备件，如真空泵、专用防震台、光强计测光探头及g线滤光片等。
三、资格预审要求
1、独立法人资格（提供投标单位营业执照复印件，加盖公章）；
2、有针对本项目的法人代表授权委托书（原件）；
3、不同时为制造商的投标商应提供对此次招标项目的制造商授权书（原件）；
4、企业资质证明、ISO9001质量体系认证、及其它相关材料（复印件，加盖公章）；
5、年度销售业绩（提供财务审计报告复印件，加盖公章）；
报名时需提交以上资料，同时附上准备投标产品的品牌、型号以及该产品与本招标公告所开列的主要技术要求相对应的指标参数或文字表述。招标单位根据以上证明资料进行资格预审，招标人将从资格预审通过者中遴选邀请对象，未被邀请者恕不另行通知。
四、报名时间与地点
报名时间：2013年8月22日－2013年9月2日
（每天上午8:30-11:30，下午1:30-4:30，节假日休息）
报名方式：请将招标项目编号、投标公司名称、联系人和联系方式以电子邮件形式发送至 sys-zb@tsinghua.edu.cn；9月2日提交纸质报名资料。
纸质资料提交地点：清华大学实验室与设备处9号楼223室
（上午8:30-11:30，下午1:30-4:30）
五、联系方式
联 系 人：王 慧 联系电话：010－********
Email: sys-zb@tsinghua.edu.cn