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半导体器件参数测试仪及附件

投标人应提供所代表品牌厂商原装的、全新的、技术先进、性能优良、结构紧凑、便于安装和维护、符合国家及用户提出的有关质量标准的设备。设备在正确安装后，能确保在正常的使用过程中安全、可靠，并达到有关规定的要求。

保修年限：保修期三年，提供上门服务。保修期过后提供上门维修服务。

1.1概述

拟采购半导体器件参数测试仪及附件由以下4部分组成：

（1）测试系统主机

（2）电流—电压测量单元3个及C—V测量单元

（3）测试软件及参数库

（4）测试夹具

1.2 工作条件

1.2.1 电源

要求符合中国制式的电源插头，交流电压100V~240V，频率50Hz；

1.2.2 环境温度 ：0℃~+40℃；

1.2.3 环境湿度 ：20% ------90 %;；

1.3主要设备技术指标要求

1.3.1基本要求

1.3.1测试系统主机

（1）测试系统主机： Win7系统、可触摸显示屏、电气接地单元模块。

（2）接地单元最大吸收电流：4.2A

（3）插槽单元数：10个

（4）其他：带鼠标，键盘，显示器，GPIB接口，数字IO接口

1.3.2电流电压源测量单元（SMU）（需要配置3个相同型号的SMU）

（1）所有的单元模块均可由计算机软件独立控制，并带有特殊必备的输出线缆。每个单元均具有激励单元和测试单元。

（2）电压输出及测量范围：±100V

（3）电流输出及测量范围：±100mA

*（4）电流测试精度：最低分辨率1fA ，本底噪声电流最低15fA

*（5）电压测量分辨率：0.5μV

（5）输出功率：电压输出100V时电流能输出到20mA

*（6）SMU正常模式实时测量最低采样率：100μS

（7）SMU具备高速采样模式，最快测试时间：2μS

*（8）SMU 具备脉冲测量功能，输出最窄脉宽：500μS

1.3.3 C—V测试单元

（1）所有的单元模块均可由计算机软件独立控制，并带有特殊必备的输出线缆。每个单元均具有激励单元和测试单元。

（2）测试频率范围：1kHz~5MHz

（3）测试频率最低分辨率：1mHz

*（3）测试信号电平范围：10mVrms~250mVrms

（4）直流偏置电压：±25V

*（5）电容测试范围及精度：1pF~1F，典型测试精度0.26@1MHz,1pF量程

*（6）测试阻抗参数有：Cp-G, Cp-D, Cp-Q, Cp-Rp, Cs-Rs, Cs-D, Cs-Q, Lp-G, Lp-D, Lp-Q, Lp-Rp, Ls-Rs, Ls-D, Ls-Q, R-X, G-B, Z-θ, Y-θ

1.3.4 测试软件：

（1）要求内置丰富的元器件测试库

（2）支持数据自动存储记录及历史测试数据导入

* (3)具备模拟晶体管图示仪曲线追踪功能

（4）测试软件参数库：软件内置CMOS的典型静态参数测试及分析库，同时可内置算法并计算相关参数。

1.3.5 电流—电压测试夹具：

（1）带4引脚的测试夹具，具备Triax接口

（2）带4 个引脚钩线和2个引脚插线

*（3）夹具本底噪声漏电流小于100fA。

1.3.6 C—V测试夹具（汞探针）

（1）样品台尺寸：150mm

（2）可测试样品尺寸范围：1.8cm~150mm

（3）水银电极圆点直径约760μm

（4）水银环直径约 18mm

（5）接触面积重复性：1.1%

（6）汞输送方式：真空输送

（7）汞探针接触样品方式：点接触及圆环接触

（8）圆环接触面积与点接触面积比：48.6

（9）三种操作模式：前后接触，前前接触，前后接触带保护环

（10）配置附件：真空泵带控制盒；连接CV测试系统的同轴线缆；维修工具；装汞的小瓶；操作手册

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