物理系外延薄膜生长系统 招标公告

招 标 正 文
 

物理系外延薄膜生长系统 招标公告

( 物理系外延薄膜生长系统采购 )需求公示

项目名称

物理系外延薄膜生长系统采购

是否预选项目

否

采购人名称

南方科技大学

采购方式

公开招标

财政预算限额（元）

*******

项目背景

分子束外延（Molecular Beam Epitaxy, MBE）和脉冲激光沉积（Pulsed Laser Deposition, PLD）真空互联的生长系统，这两个系统都具有原位生长高质量单晶薄膜的能力，都能精确控制单个原子层厚度薄膜的生长，同时二者在材料生长方面又优势互补。我们要购买的MBE和PLD设计了真空互联，这就使得我们可以生长出各种复杂的薄膜异质结，同时确保异质结的界面是干净的。有了高质量的异质结界面，我们可以设计、探索很多依赖于界面的物理现象，如：近邻效应（磁近邻、超导近邻）、自旋相关的界面散射、自旋流在界面的传输与调控。

投标人资质要求

（1）具有独立法人资格或具有独立承担民事责任的能力的其它组织（提供营业执照或事业单位法人证等法人证明扫描件，原件备查）。
（2）本项目不接受联合体投标，不接受投标人选用进口产品参与投标。
（3）参与本项目投标前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）。
（4）参与本项目政府采购活动时不存在被有关部门禁止参与政府采购活动且在有效期内的情况（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）；
（5）具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条第一款的条件（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）。
（6）未被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）。

货物清单

序号采购计划编号货物名称数量单位备注财政预算限额(元)
1PLAN-2021-44****-********01-01665物理系外延薄膜生长系统采购1.0批*******.0
2PLAN-2021-44****-********01-01666物理系外延薄膜生长系统采购1.0批*******.0
3PLAN-2021-44****-********01-01667物理系外延薄膜生长系统采购1.0批168000.0

具体技术要求

序号
货物名称
招标技术要求
1
PLD腔室
1.腔体配备紫外（石英）以及红外激光加热（石英）专用视窗；
2. 真空系统分子泵，分子泵需配有数据接口以实现软件控制，抽速≥260 L/s，并配合使用涡旋式防腐蚀干泵，抽速≥190L/min，本底极限真空度≤5×10-9 mbar（烘烤后）；
3. 主腔体配备两套不同的真空计，一套组合pirani/Bayard-Alpert（真空计类型）真空计，量程5×10-9 mbar 到1 bar，用于测量真空度；
4. 另外配置一套精确的Baratron（真空计类型）真空计，量程10-4 到 1 mbar，专门用于精确控制生长时的工艺压力；
5. 腔体配备自动控温烘烤装置。
6. 样品架：
6.1. 配备5维样品架，样品可在X/Y/Z方向移动，并且可以主轴旋转和面内旋转。X/Y方向位移行程为±12.5 mm，Z方向为100 mm，手动控制；主轴可以360°连续旋转，手动控制；面内可以360°连续旋转，手动控制；
6.2. 衬底配有挡板，手动控制；
7.激光加热器
▲7.1配备激光加热装置，使用工业级红外激光器，功率不小于200W，样品加热温度达1000°C以上，10Pa臭氧环境中可以加热至850℃；10*10mm样品区域；
7.2. 配备专门用于激光加热的样品托，该样品托可以兼容旗形（flag type）样品托；并配有3套专用样品托。
8.扫描式靶材台：
8.1. 能够同时安装6个1英寸的靶；
▲8.2. 靶台可以公转（用于选靶），靶台可以自转，同时在X方向上线性扫描，公转、自转和扫描由步进马达驱动。靶台自转和线性扫描可以在激光束不动的情况下，使激光相对扫过整个靶材表面，从而保证激发出的等离子体羽辉位置、角度都不发生改变；
8.3. 靶台配有挡板，避免靶材间的交叉污染；
8.4. 靶台可以升降，即竖直方向上的位置可以调整，手动控制；
8.5. 靶台配有水冷；
8.6. 可通过快速进样室一次性传递3个靶材，提高换靶效率。
9.高压RHEED（反射式高能电子衍射仪）：
▲9.1. RHEED电子枪，能量最高可达30 keV，工作气压最高可达0.4 Torr（50 Pa）；
9.2. 采用高压稳压电源，保证电子束的能量稳定性优于10-4 rad；
9.3. 工作距离为150 mm时，电子束斑最小可达50 μm；
9.4. 具备两级差分抽气功能，第二级差分配备1套独立分子泵，抽速大于70L/s；第一级差分配备1套独立分子泵，抽速大于70L/s；第一级和第二级分子泵公用一个涡旋式防腐蚀干泵。
9.5. 整个电子枪外部配μ金属屏蔽罩，以屏蔽环境磁场对电子束轨迹的影响；
9.6. 在腔体和电子枪之间配备闸板阀，用于保护和维护电子枪；
9.7. 配备可调焦镜头，CCD（电荷耦合元件的英文简称）以及图像采集和数据分析软件；软件能够对所选的三个区域进行数据采集功能，可同时记录三个点RHEED的震荡曲线，并能进行数据处理、保存；配有遮光罩，防止外界光线干扰。
2
MBE腔室
1. 真空系统复合离子泵300L加控制器，升华泵，分子泵，需配有数据接口以实现软件控制，抽速≥260 L/s，并配合涡旋式干泵，抽速≥190L/min，本底极限真空度≤2×10-10 mbar（烘烤后）；
2. 腔体配备1套超高真空离子规（6.7*10-12 -10-3mbar）及控制器；
3. 腔体配备自动控温烘烤装置。
4. 样品架：
▲4.1. 配备5维样品架，样品可在X/Y/Z方向移动，并且可以倾斜和面内旋转。X/Y方向位移行程为±12.5 mm，Z方向为100 mm，手动控制；绕轴差分±180°连续旋转，手动控制；面内可以180°旋转（调整基片方位角）,手动控制；
▲4.2. 加热样品台采用辐射和电子束加热的方式可以到1000℃；低温样品台通过液氮实现80K-RT的变温；
4.3 采用热偶测温
5 RHEED（反射式高能电子衍射仪）：
▲5.1. RHEED电子枪，能量最高可达15keV；
5.2. 配备可调焦镜头，CCD以及图像采集和数据分析软件；软件能够对所选的三个区域进行数据采集功能，可同时记录三个点RHEED的震荡曲线，并能进行数据处理、保存；
6.配有膜厚仪，含探头，精度0.01A
7.配有两台标准热蒸发源（300 -1350℃），并配有PID温控电源（60V,6.6A)；
8.扫描式靶材台
8.1. 能够同时安装3个1英寸的靶；
▲8.2. 靶台可以公转（用于选靶），靶台可以自转，同时在X方向上线性扫描，公转、自转和扫描由步进马达驱动。靶台自转和线性扫描可以在激光束不动的情况下，使激光相对扫过整个靶材表面，从而保证激发出的等离子体羽辉位置、角度都不发生改变；
8.3. 靶台配有挡板，避免靶材间的交叉污染；
8.4. 靶台可以升降，即竖直方向上的位置可以调整，手动控制；
8.5. 靶台配有水冷；
8.6. 可通过快速进样室一次性传递3个靶材，提高换靶效率。
3
快速进样室
1. 进样室配备单独的分子泵，选用国际一流品牌，可软件控制，抽速为70L/s，配备涡旋式干泵，抽速大于等于100L/min；
2. 能够通过磁力杆方便地传递样品以及靶材，与PLD和MBE主腔体之间采用DN63CF插板阀隔离；
3. 配备Pirani/ Bayard-Alpert（真空计类型）真空计，量程5×10-10mbar 到1bar；
4. 进样室配有观察窗和快开门；
5. 进样室可以储存4块样品，3个靶材；
4
电控系统
1. 所有电路都集成到一个机柜中；
2. 配备2台电脑，一台用于系统控制，电脑预装原厂控制软件，另一台用于RHEED分析，预装分析软件；
3. 控制软件能够控制样品加热，靶的扫描、自转、公转，分子泵以及系统工艺压力等；
5
臭氧发生器
1. 臭氧发生器产生氧气浓度至少15%；
2. 配有专门的臭氧气路（防腐蚀）；
3. 配有残余臭氧处理装置。
4.在真空腔体内部具有臭氧延长管（导流管），使样品表面产生局部高氧压；
5.配有微漏阀；
6
准分子激光系统
1. 准分子激光需配备的光路需要包括透镜（焦距500 mm）、激光45°全反镜、半透半反镜以及配套的光学支架和导轨；
2. 给准分子激光器配有光学平台；
3. 在光学导轨上配备激光屏蔽玻璃罩，以防止准分子激光辐射；
★4. 准分子激光光路利用三个步进电动机实现透镜和反射镜的三轴联动扫描，使得激光在靶材的表面进行扫描的时候保证激发出的等离子体羽辉强度不发生改变，使得10 mm×10 mm样品上的薄膜厚度均匀；样品生长时候保持不动，确保同时能进行RHEED的实时膜厚监控；

商务需求

序号
目录
招标商务需求
（一）免费保修期内售后服务要求
1
维修响应及故障解决时间
在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知24小时内赶到现场进行修理或更换。
★2
关于免费保修期
1.1货物免费保修期1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。
……
其他
投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。
（二）免费保修期外售后服务要求（可选）
1
保修期外
保修期过后，对所提供设备上门维修只收取零配件成本费，不收取人工费、维修费等其他费用。用户送修收取维修费、配件费。
2
维修响应及故障解决时间
保修期后，一旦发生质量问题，保证在接到通知48小时内赶到现场进行修理或更换。
3
备品备件
所投备零配件成本优惠价格保障长期、有效的供应。
（三）其他商务要求
★1
关于交货
1.1交货地点：南方科技大学理学院新大楼
1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。
1.3签订合同后270天（日历日）内交货。
2
关于验收
2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。
2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：
a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。
b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。
c、货物具备产品合格证。
3
关于违约
3.1中标人不能交货的，需偿付不能交货部分货款的5%的违约金并按主管部门相关规定处理。
3.2中标人逾期交货的，将被没收履约保证金并按主管部门相关规定处理。
3.3中标人所交付产品、工程或服务不符合其投标承诺的，或在投标阶段为了中标而盲目虚假承诺、低价恶性竞争，在履约阶段则通过偷工减料、以次充好而获取利润的，将被没收履约保证金，并被履约评价工作实施机构评为履约等级“差”并按主管部门相关规定处理。
★4
关于付款
合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款；设备到达指定安装现场并安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65%；尾款5%待免费保修期满且无质量问题并经学校确认后支付。
5
报价要求
投标总价必须是完成该项目的一切费用总和，包括设备费、运输费、装卸费、保险费、技术培训费、设备安装费、调试费、售后服务费、国家规定的各项税费等全部费用。

技术规格偏离表

序号
货物名称
招标技术要求
投标技术响应
偏离情况
说明
1
PLD腔室
1.腔体配备紫外（石英）以及红外激光加热（石英）专用视窗
2. 真空系统分子泵，分子泵需配有数据接口以实现软件控制，抽速≥260 L/s，并配合使用涡旋式防腐蚀干泵，抽速≥190L/min，本底极限真空度≤5×10-9 mbar（烘烤后）；
3. 主腔体配备两套不同的真空计，一套组合pirani/Bayard-Alpert（真空计类型）真空计，量程5×10-9 mbar 到1 bar，用于测量真空度；
4. 另外配置一套精确的Baratron（真空计类型）真空计，量程10-4 到 1 mbar，专门用于精确控制生长时的工艺压力；
5. 腔体配备自动控温烘烤装置。
6. 样品架：
6.1. 配备5维样品架，样品可在X/Y/Z方向移动，并且可以主轴旋转和面内旋转。X/Y方向位移行程为±12.5 mm，Z方向为100 mm，手动控制；主轴可以360o连续旋转，手动控制；面内可以360o连续旋转,手动控制；
6.2. 衬底配有挡板，手动控制；
7.激光加热器
▲7.1配备激光加热装置，使用工业级红外激光器，功率不小于200W，样品加热温度达1000°C以上，10Pa臭氧环境中可以加热至850℃；10*10mm样品区域；
7.2. 配备专门用于激光加热的样品托，该样品托可以兼容旗形（flag type）样品托；并配有3套专用样品托。
8.扫描式靶材台：
8.1. 能够同时安装6个1英寸的靶；
▲8.2. 靶台可以公转（用于选靶），靶台可以自转，同时在X方向上线性扫描，公转、自转和扫描由步进马达驱动。靶台自转和线性扫描可以在激光束不动的情况下，使激光相对扫过整个靶材表面，从而保证激发出的等离子体羽辉位置、角度都不发生改变；
8.3. 靶台配有挡板，避免靶材间的交叉污染；
8.4. 靶台可以升降，即竖直方向上的位置可以调整，手动控制；
8.5. 靶台配有水冷；
8.6. 可通过快速进样室一次性传递3个靶材，提高换靶效率。
9.高压RHEED（反射式高能电子衍射仪）：
▲9.1. RHEED电子枪，能量最高可达30 keV，工作气压最高可达0.4 Torr（50 Pa）；
9.2. 采用高压稳压电源，保证电子束的能量稳定性优于10-4 rad；
9.3. 工作距离为150 mm时，电子束斑最小可达50 μm；
9.4. 具备两级差分抽气功能，第二级差分配备1套独立分子泵，抽速大于70 l/s；第一级差分配备1套独立分子泵，抽速大于70 l/s；第一级和第二级分子泵公用一个涡旋式防腐蚀干泵。
9.5. 整个电子枪外部配μ金属屏蔽罩，以屏蔽环境磁场对电子束轨迹的影响；
9.6. 在腔体和电子枪之间配备闸板阀，用于保护和维护电子枪；
9.7. 配备可调焦镜头，CCD（电荷耦合元件的英文简称）以及图像采集和数据分析软件；软件能够对所选的三个区域进行数据采集功能，可同时记录三个点RHEED的震荡曲线，并能进行数据处理、保存；配有遮光罩，防止外界光线干扰。
2
MBE腔室
1. 真空系统复合离子泵300L加控制器，升华泵，分子泵，需配有数据接口以实现软件控制，抽速≥260 L/s，并配合涡旋式干泵，抽速≥190L/min，本底极限真空度≤2×10-10 mbar（烘烤后）；
2. 腔体配备1套超高真空离子规（6.7*10-12 -10-3mbar）及控制器；
3. 腔体配备自动控温烘烤装置。
4. 样品架：
▲4.1. 配备5维样品架，样品可在X/Y/Z方向移动，并且可以倾斜和面内旋转。X/Y方向位移行程为±12.5 mm，Z方向为100 mm，手动控制；绕轴差分±180°连续旋转，手动控制；面内可以180o旋转（调整基片方位角）,手动控制；
▲4.2. 加热样品台采用辐射和电子束加热的方式可以到1000℃；低温样品台通过液氮实现80K-RT的变温；
4.3 采用热偶测温
5 RHEED（反射式高能电子衍射仪）：
▲5.1. RHEED电子枪，能量最高可达15keV；
5.2. 配备可调焦镜头，CCD以及图像采集和数据分析软件；软件能够对所选的三个区域进行数据采集功能，可同时记录三个点RHEED的震荡曲线，并能进行数据处理、保存；
6.配有膜厚仪，含探头，精度0.01A
7.配有两台标准热蒸发源（300 -1350℃），并配有PID温控电源（60V,6.6A)；
8.扫描式靶材台
8.1. 能够同时安装3个1英寸的靶；
▲8.2. 靶台可以公转（用于选靶），靶台可以自转，同时在X方向上线性扫描，公转、自转和扫描由步进马达驱动。靶台自转和线性扫描可以在激光束不动的情况下，使激光相对扫过整个靶材表面，从而保证激发出的等离子体羽辉位置、角度都不发生改变；
8.3. 靶台配有挡板，避免靶材间的交叉污染；
8.4. 靶台可以升降，即竖直方向上的位置可以调整，手动控制；
8.5. 靶台配有水冷；
8.6. 可通过快速进样室一次性传递3个靶材，提高换靶效率。
3
快速进样室
1. 进样室配备单独的分子泵，选用国际一流品牌，可软件控制，抽速为70L/s，配备涡旋式干泵，抽速大于等于100L/min；
2. 能够通过磁力杆方便地传递样品以及靶材，与PLD和MBE主腔体之间采用DN63CF插板阀隔离；
3. 配备Pirani/ Bayard-Alpert（真空计类型）真空计，量程5×10-10mbar 到1bar；
4. 进样室配有观察窗和快开门；
5. 进样室可以储存4块样品，3个靶材；
4
电控系统
1. 所有电路都集成到一个机柜中；
2. 配备2台电脑，一台用于系统控制，电脑预装原厂控制软件，另一台用于RHEED分析，预装分析软件；
3. 控制软件能够控制样品加热，靶的扫描、自转、公转，分子泵以及系统工艺压力等；
5
臭氧发生器
1. 臭氧发生器产生氧气浓度至少15%；
2. 配有专门的臭氧气路（防腐蚀）；
3. 配有残余臭氧处理装置。
4.在真空腔体内部具有臭氧延长管（导流管），使样品表面产生局部高氧压；
5.配有微漏阀；
6
准分子激光系统
1. 准分子激光需配备的光路需要包括透镜（焦距500 mm）、激光45°全反镜、半透半反镜以及配套的光学支架和导轨；
2. 给准分子激光器配有光学平台；
3. 在光学导轨上配备激光屏蔽玻璃罩，以防止准分子激光辐射；
★4. 准分子激光光路利用三个步进电动机实现透镜和反射镜的三轴联动扫描，使得激光在靶材的表面进行扫描的时候保证激发出的等离子体羽辉强度不发生改变，使得10 mm×10 mm样品上的薄膜厚度均匀；样品生长时候保持不动，确保同时能进行RHEED的实时膜厚监控；

商务规格偏离表

序号
目录
招标商务条款
投标商务条款
偏离情况
说明
（一）免费保修期内售后服务条款偏离表
1
维修响应及故障解决时间
在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知48小时内赶到现场进行修理或更换。
2
关于免费保修期
★货物免费保修期1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。
3
其他
投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。
（二）免费保修期外售后服务条款偏离表
1
保修期外
保修期过后，对所提供设备上门维修只收取零配件成本费，不收取人工费、维修费等其他费用。用户送修收取维修费、配件费。
2
维修响应及故障解决时间
保修期后，一旦发生质量问题，保证在接到通知48小时内赶到现场进行修理或更换。
3
备品备件
所投备零配件成本优惠价格保障长期、有效的供应。
（三）其他商务条款偏离表
1
关于交货
1.1交货地点：南方科技大学理学院新大楼
1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。
★1.3签订合同后270天（日历日）内交货。
2
关于验收
2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。
2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：
a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。
b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。
c、货物具备产品合格证。
3
关于违约
3.1中标人不能交货的，需偿付不能交货部分货款的5%的违约金并按主管部门相关规定处理。
3.2中标人逾期交货的，将被没收履约保证金并按主管部门相关规定处理。
3.3中标人所交付产品、工程或服务不符合其投标承诺的，或在投标阶段为了中标而盲目虚假承诺、低价恶性竞争，在履约阶段则通过偷工减料、以次充好而获取利润的，将被没收履约保证金，并被履约评价工作实施机构评为履约等级“差”并按主管部门相关规定处理。
4
关于付款
★合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款；设备到达指定安装现场并安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65%；尾款5%待免费保修期满且无质量问题并经学校确认后支付。
5
项目（产品）要求
若所投产品为进口，则投标人必须提供由设备制造商或授权的中国总代理签署的合法有效的保修、维修承诺函（免费保修期满足招标文件要求）扫描件，原件备查；若所投产品为国产产品，则无需提供。
6
报价要求
投标总价必须是完成该项目的一切费用总和，包括设备费、运输费、装卸费、保险费、技术培训费、设备安装费、调试费、售后服务费、国家规定的各项税费等全部费用。

评标信息

序号
评分项
权重
1
价格
30
2
技术部分
53
序号
评分因素
权重（%）
评分方式
评分准则
1
技术规格偏离情况
50
专家打分
投标人应如实填写《技术规格偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得100分；“▲”为重要技术参数，每负偏离一项扣8分；其余技术参数每负偏离一项扣4分，扣完为止。正偏离不加分。
注：技术参数中要求提供相应证明文件的，应按要求提供证明文件，否则该项参数视为负偏离。
2
技术保障措施
3
专家打分
评分内容：
在投标文件中根据技术需求提供详细的技术保障措施（包括技术团队、方案、人员、实施进度、相关配套措施等。）。
评分标准：满足以上5个方面得50分；满足4个方面得30分；满足3个方面得10分，其他情况不得分。
在此基础上，专家根据各供应商的具体响应内容进行进一步评审，评价为优加50分；评价为良加30分；评价为中加10分；评价为差或未提供得0分，如评价为差，专家需书面说明理由。
优评分标准：技术保障措施逻辑清楚、内容完善，科学性、专业性、可操作性强；
良评分标准：技术保障措施逻辑清楚、内容完善，科学性、专业性、可操作性较强；
中评分标准：技术保障措施逻辑清楚、内容完善，科学性、专业性、可操作性一般；
差评分标准：技术保障措施逻辑不清或内容不全，科学性、专业性、可操作性较差；
3
商务需求
9
序号
评分因素
权重
评分方式
评分准则
1
免费保修期内售后服务条款偏离情况
3
专家评分
投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣3分。
2
免费保修期外售后服务条款偏离情况
2
专家评分
投标人应如实填写《商务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣50分，扣完为止。正偏离不加分。
3
其他商务条款偏离情况
4
专家评分
投标人应如实填写《商务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，“★”为实质性条款，负偏离将导致其投标无效；其余商务条款每负偏离一项扣25分，扣完为止。正偏离不加分。
4
诚信情况
5
序号
评分因素
权重
评分方式
评分准则
1
诚信
5
专家评分
投标人在参与政府采购活动中存在诚信相关问题的，本项不得分，未出现相关诚信问题的得满分。以深圳市政府采购中心供应商库中的处罚记录为准。投标人无需提供任何证明材料，由工作人员向评委会提供相关信息。
5
综合实力
3
1
投标人近三年同类业绩（以合同时间为准，截止日为本项目公告发布之日）
3
专家打分
提供3个同类设备在高校或科研单位的销售业绩即得满分，提供2个得60分，提供1个得30分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每一个完工项目的合同和验收报告（均加盖合同甲方公章或业务章）扫描件，原件备查，否则不得分。

其它

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*******" target="_blank">1.政府采购申报书-通用货物类（210602版）（发布版）.docx

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