现将《关于加快半导体设备和材料产业发展的若干政策（试行）》进行公示，公示时间为7个工作日，如有意见请与投资促进中心联系。联系电话：****-********；联系人：李鹏辉

关于加快半导体设备和材料产业发展的若干政策（试行）

为强化创新引领、加速产业集聚，协同绍兴集成电路产业发展、参与长三角半导体供应链建设，在现有“1+9”政策体系基础上，就加快半导体设备和材料产业集聚发展制订如下政策：

一、适用范围

本政策适用在我区注册设立、具有独立法人资格、主营业务（设备和材料占企业销售收入总额的比例不低于30%或设备和材料销售收入总额超过1亿元）为半导体（集成电路和分立器件范畴）设备和材料企业。重点包括：

1.集成电路和分立器件制造专用设备：主要包括专用光刻机（6英寸/8英寸/12英寸集成电路生产线所用）、刻蚀机、离子注入机、退火设备、单晶生长设备及精细加工设备、外延设备、薄膜生长设备、化学机械抛光设备、封装设备、测试设备等；

2.集成电路和分立器件制造材料：主要包括光刻胶及配套试剂、CMP材料中的研磨液及配套化学品和研磨垫材料、通用湿电子化学品和功能湿电子化学品、专用清洗液、电子特种气体、高纯金属有机化合物（MO源）、电子级酚醛树脂、电子级环氧树脂、高端靶材、引线框架、合金键合线、半导体用石英坩埚、金刚线等。

二、主要内容

1.鼓励企业加大创新投入。对企业牵头建立技术创新中心（协同科研院校、创新团队、产业链上下游联合创新）,研发设备（限本政策涉及领域设备，不含配电、基建等基础设备）3年内投资亿元以上（首期设备投资不低于50%）的，以2020年度缴纳的税费为基数实行分档累进奖励；予以每年缴纳税费较基数增长30%—50%部分的区域效益50%奖励，增长50%—80%部分的区域效益80%奖励，增长80%以上部分的区域效益100%奖励，专项用于创新研发。对新创办企业，以亩均税费35万元为基数或每平米税费500元为基数，超基数区域效益部分予以全额奖励，专项用于企业创新研发。

2.鼓励各类创新资源通过设立研发机构、产业链协同等途径推动产业创新、成果转化，对符合条件的半导体设备和材料项目给予优先科研立项（包括“揭榜挂帅”立项）。

3.加大人才激励，对企业年薪收入超过50万元的专业人才，个人所得税实际纳税额（含用人单位代扣代缴部分）区域效益部分全额给予奖补。

4.鼓励首台套、首批次推广，对设备类企业研制销售的首台套（前3台套）按每台套销售额（不含税，以发票时间、金额为准，下同）的10%给予奖励，单个企业每年累计最高不超过2000万元；对材料类企业研制销售的首批次材料按当年材料销售额的8%给予奖励，单个企业每年累计最高不超过1000万元。首台套、首批次以省级及以上相关部门认定年度的销售开票额为准。

5.加大项目投入支持，企业年度实际设备（限本政策涉及领域相关设备，不含配电、基建等基础设备）投资额在1000万元以上的，按年度设备投资额的12%标准给予补助，单个企业每年最高不超过3000万元。

6.对半导体设备和材料企业通过第三方融资担保机构获得的1年期以上贷款融资，按其支付给担保机构融资担保费额的一定比例给予补助。担保费率低于2%的，按融资担保费额的50%比例补助；担保费率高于（含）2%的，按2%的担保费率所需融资担保费额的50%比例补助；每家企业年度资助金额最高不超过200万元。

7.鼓励本地企业并购重组区外半导体设备和材料产业项目（不包括股权关联企业），对并购实际出资额在1000万元以上的，在完成重组资产产权过户、在我区实现产业化后，按并购实际出资额的2%给予奖励，最高不超过500万元。社会资本并购重组区外半导体设备和材料产业项目并在我区实现产业化的参照执行。

8.鼓励配套集成电路生产、封装、测试企业（限符合国发〔2020〕8号文件规定享受税收优惠政策的企业），对首年度销售额达到500万元以上，自取得第一笔生产经营收入之月起1年内，按销售额的10%给予奖励，单个企业最高不超过500万元。

9.鼓励开展上下游整合、产业链合作，对区内企业首次向本地无关联的生产制造企业采购设备（含零部件）和材料超过500万元的（不含税，以发票时间、金额为准），按照当年度采购额的2%给予采购方补助，单个企业最高补助额度不超过100万元。对区内企业引进的产业链上下游企业（经事先备案）并实现向本地无关联企业销售的，按首年度销售额的1%给予销售方奖励，单个企业最高奖励额度不超过100万元。

10.创新审批服务，半导体设备和材料产业涉及特种工艺、品种审批等特殊要求的，按照控总量、控末端排放、控大类的原则进行审批服务。

三、其他事宜

1.本《政策》与区其它同类政策、本《政策》内同一事项涉及不同条款的，按照“就高不重复”的原则执行。对本《政策》中涉及可计量条款，可根据企业申请按季兑现、分进度兑现。

2.单个企业年度享受本《政策》补助（奖励）最高不超过该企业当年区域效益的50%；本《政策》适用期内的新办企业不受此限。

3.本《政策》由区府办负责解释，具体工作由杭州湾上虞经济技术开发区承担，相关实施细则另行制订。

4.本《政策》从2021年9月日起开始试行，试行期3年。