序号

设备名称

指标参数

台套数

是否进口

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光催化分解水制氢综合系统

本综合系统包含光解水制氢系统1套，三电极光电催化反应系统2套，增强可见光源和增强紫外光源各1套，制氢和制氧反应反应器各两个， 模拟太阳光滤光片1套紫外区带通滤光片（350nm，365nm和380nm）3片，两种光源备用进口300W氙灯灯泡2只。各部分技术参数如下：
一、光解水制氢系统的技术参数
1.真空度:-0.1MPa；（24h以上，动态气密性测试）2.标准曲线线性回归度：系统在产氢量为100~400ul范围内R2>0.999；
3.系统循环部分体积为150mL；（不含反应器），系统富集能力强；4.定量环容积约1.5ml；5.双七通高真空玻璃阀，无死体积取样机构；（杜绝误抽载气情况）6.系统循环管路部分无金属部件，无电线接入，不产生金属吸附；7.高速循环系统：超短系统混合、循环时间，无源磁力驱动； 8.具有自主知识产权的多孔进/取样器；9.多功能定量缓冲储气瓶装置,系统可变容；10.系统尺寸：不锈钢支撑架，65cm(L)*37cm(W)*73cm(H)，高度可调节；11.便携式免安装系统；
二、三电极光电催化反应系统技术参数
三电极光电催化反应系统两个。其反应器主体材质和.通光窗口材质为高透过性石英玻璃，.顶部上盖材质、紧固螺栓材质和多功能通气管材质为316L不锈钢，电极封盖材质为聚四氟乙烯
其技术参数：
1.反应器总容积：2000ml 2.有效装液容积：1000ml 3.通光窗口直径：70mm 4.法兰直径：200mm 5.反应器耐受压力范围：-0.1MP-0.3MP
6.反应器耐受温度范围：0-100℃ 7.适用电极尺寸：直径小于10mm的电极 8.多功能通气管：标准6mm不锈钢管
三、增强可见光源和增强紫外光源
A.增强可见光源
增强可见光源的含专用300W 氙灯稳流电源；灯箱及散热模组；转向及滤光装置；透射-反射式滤光片；（VISREF）标准电源线一根；电源灯箱七芯连接线一根；灯箱风扇三芯控制线一根；进口300W 氙灯两只。
其技术参数：
1.灯泡功率：300W；2功率调整范围：150W-300W连续可调；3.电源纹波：±0.3%；4.光不稳定性（瞬态）：《±0.5%；5.光不稳定性（周期）：《±6%；（4H）6.最大电流：20A；7.总光功率：50W，可见区19.6W，紫外区2.6W；8.平行光发散角：平均6°；9.平行光光斑直径：30mm-63mm；10.灯泡使用寿命：不低于1000H；11.散热形式：金属扇风机+径向金属散热模组；
B.增强紫外光源
增强紫外光源含专用300W 氙灯稳流电源；灯箱及散热模组；转向及滤光装置；透射-反射式滤光片（VISREF）；标准电源线一根；电源灯箱七芯连接线一根；灯箱风扇三芯控制线一根；进口300W 氙灯两只且在紫外区的光谱连续。
其技术参数：
1.灯泡功率：300W；2功率调整范围：150W-300W连续可调；3.电源纹波：±0.3%；4.光不稳定性（瞬态）：《±0.5%；5.光不稳定性（周期）：《±6%；（4H）6.最大电流：20A；7.总光功率：50W；可见区17.6W，紫外区6.6W；8.平行光发散角：平均6°；9.平行光光斑直径：30mm-63mm；10．使用寿命：不低于1000H；11.散热形式：金属扇风机+径向金属散热模组

1

否

2

微波马弗炉

1．电源 220±10V/50Hz额定功率 4.0KW
2．微波输出功率 0.2~1.45KW连续可调
3．微波频率 2.45GHz±25MHz
4．最高工作温度 1600°C连续工作温度 1550°C 升温速度: 可达1.5oC/秒 以上
5．测温方式 红外测温仪（美国雷泰）
6.测温范围 250℃~1650℃
7．系统精确度 读数±0.5％
8．最大装料空间 120 x120x80mm
9循环冷却水流量 约0.8m3/h
10．循环冷却水压力 0.15~0.2Mpa
11．循环冷却水进水温度 5~30°C
12．循环冷却水总硬度 ≤60mg/L（可用自来水替代）
13．控制系统 嵌入式系统+触摸屏，带数据存储和打印功能；
14．提供手动、自动、恒温控制模式，曲线实时显示。
15．微波泄露水平 ≤2mw/cm2设备外型尺寸 750x750x660mm（长x宽x高）

1

否

3

小型超高真空镀膜机

（标*的为必须满足的条款）
1. 设备名称：小型超高真空镀膜机
2、主要功能描述：通过热阻加热方式实现二源蒸发沉积薄膜；通过石英晶振测厚实现薄膜沉积速率的在线监控进而实现待沉积薄膜厚度的调控。
3、设备主要构成及主要技术参数
3.1 设备主要构成：设备主要由蒸发真空室、热蒸发电极、基片加热台、膜厚控制、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统组成。其中由分子泵+直联机械泵实现真空获得，由高精密复合真空计实现腔室真空测量，由石英晶振测厚仪实现薄膜沉积速率在线监控。
3.2 主要技术参数:
*3.2.1 极限真空度：≤5×10-6 Pa (经烘烤除气后)；*3.2.2系统真空检漏漏率：停机12小时后保持真空度≤1×10-1 Pa；3.2.3 真空腔室内径≥φ265mm，腔室内部设计可拆卸防污板；*3.2.4 腔体、气体管路等均采用优质316L不锈钢材料制造，表面进行特殊工艺抛光处理；3.2.5 接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封3.2.6 可沉积基片尺寸：直径100mm；3.2.7 基片加热温度：≥400°C，3.2.8 基片温度由精密控温仪实现分段程序控温，控温曲线可通过通讯接口进行计算机设定*3.2.9 基片温度控温仪控温精度：±0.1°C3.2.10基片-蒸发源距离100～300mm可调；3.2.11配置手动控制样品挡板组件：1套3.2.12 配置蒸发舟挡板1套，防止污染。3.2.13 配置两个蒸发源舟，蒸发温度可编程分段进行控制。蒸发电源工作电压220V，电流15A，最大输出功率3KW。*3.2.14 膜厚监控：3.2.14.1配置石英晶体膜厚控制仪两台，分别对每个蒸发舟的沉积速率进行监控；3.2.14.2 监控仪监控速率分辨率0.01nm/秒，速率显示范围 0-999.99nm；3.2.14.3 监控厚度0～99.9999微米，厚度显示分辨率 0.1nm；3.2.14.4监测时间显示范围 1分-99小时,时间显示分辨率 1秒；3.2.14.5设置镀膜厚度 0.1nm～99.9999微米,镀膜层数最多到十六层；3.2.14.6 内置52种以上材料密度，声阻抗参数，可任意调用；3.2.14.7工具因子 0.001-99.999可调；3.2.14.8 镀膜巡回次数 0-99次，巡回时间 1分-99分钟；3.2.14.9 带输出接头二个，触点容量为1A/36V；3.2.14.10 配RS-232 计算机接口（串口）3.2.15 系统有断电、停水保护。*3.2.16 配置气动超高真空阀门；*3.2.17小型静音空气压缩机*3.2.18 1P冷水机
*4、提供详细设备设计图；
*5、提供分项报价清单；
6、提供相同和相近设备的业绩证明：设备实物照片、使用单位等。
7、一年质保、终生维护

1

否

4

快速退火炉

1. 设备名称：快速退火炉
2、主要功能描述：通过红外灯加热实现快速加热，获得不低于120℃/秒的升温速度，炉子温度曲线可通过计算机进行多大30段的设定并实时控制、显示设定和实际温度曲线。
3、设备主要构成及主要技术参数：设备由开启式炉体、真空获得和测量系统、加热及控温单元组成。主要性能参数指标如下：
3.1 开启式炉体，可在加热后快速降温；3.2 可通过KF-D25 真空法兰外接真空系统实现真空下热处理；3.3 炉壁内膛应有耐高温氧化铝涂层；3.4 配置直径4英寸石英管作为真空腔体；3.5 可对直径3英寸的样品进行退火处理；3.6 配置厦门宇电或其他国内外大厂制造的程控控温仪，实现最多可达30段的温度控制，控温精度 ±0.5°C，控温仪接口RS484，配置控温软件，可通过计算机实时控制炉子并显示设定和实时温度曲线；3.7 控温仪器带过热和断偶保护功能，自整定功能3.8 炉子最高可加热到1100℃；3.9 最快升温速度：室温～800℃： 50℃/秒；800℃～1000℃： 10℃/秒；3.10最快降温速度：64°C/分（真空环境： 200 mtorr下), 117°C/分 (一个大气压下) ；3.11加热区： 4英寸×12英寸恒温区（ +/-5°C ）；3.12 配置AlN 材料样品托盘1片；3.13 配置进口防腐型数字式真空显示计测量腔室真空度，测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr；3.14 配置流量计实现对石英腔体充气控制，流量调节调节范围 16～160 ml/min；3.15 工作电源要求：单相～220V AC, 50/60 Hz。

1

5

3A太阳光模拟光源

（标*的为必须满足的条款）
1. 设备名称：3A太阳光模拟光源
2. 主要技术参数及要求：
2.1输出太阳常数：0.7-1.1 suns
　　2.2 *氙灯功率：≥550W　　2.3光斑尺寸：2×2英寸　　2.4 *光功率不均匀性：优于±2%　　2.5 *光功率短期稳定性：优于±0.5%　　2.6 *平行度发散全角：优于4.5°　　2.7 *AM 1.5G滤光片，光谱匹配度Class A　　2.8 氙灯灯管备件一个　　2.9 AM 1.5G标准电池一块　　2.10 *一体式设计,不含单独的控制器。　　2.11 *包含Photofeedback恒光强反馈系统，实时监控补偿光强.　　2.12 *内建数字式快门,100ms最小曝光时间,可接TTL控制shutter.　　2.13 系统包含滤网式冷却风扇,门开关安全机制和过热保护装置.2.14 光源工作时间计时器2.15 电源：110/240V AC,50/60Hz
3.安装调试：卖方现场安装、调试系统、并交付使用
4.技术服务及培训：现场对买方操作人员进行免费培训。提供免费技术咨询。
5.交货期：签订合同后3个月
6.保修和售后服务：
保修期为设备验收合格后12个月（但不得超过制造商发货后14个月若此延误非卖方原因造成），保修期内修复该设备所发生的备件费、维修、人工差旅费、备件报关运输费等一切费用都由卖方全部承担。设备运行期间有故障发生时，乙方在24小时内做出处理意见，如果用户不能单独解决，乙方工程师应尽快安排到场解决。保修期内卖方服务反应时间不超过两天，需要到厂处理时，从收到买方传真起三日内到达买方工厂

1

否

6

高温探针台

1、设备名称：高温探针台
2、主要功能描述：在真空环境或保护气氛下对样品进行加热，不同温度下通过腔体电气接口对样品进行电气测量，而实现材料或器件的变温电学特性曲线的测量。
3、设备主要构成及主要技术参数：设备由加热承片台、三维可调探针座、真空腔体、真空泵、控温仪组成。主要性能参数指标如下：
3.1 、加热承片台：
3.1.1 直径不小于60mm；3.1.2 加热承片台四周应设置隔热装置: 3.1.2.1 所用隔热材料可在400℃下长期使用，膨胀率不高于 7.3×10-5/℃，导热率不低于0.08W/（m*K）；3.1.2.2 隔热材料电气特性：垂直击穿电压不低于10KV/mm，绝缘电阻不低于1.0×1013欧姆；3.1.2.3 机械特性：垂直抗压强度182MPa；3.1.3 加热承片台使用316L或其他的抗腐蚀、热形变低的材料制作；
3.2 三维可调探针座：
3.2.1 使用高强度铝合金镁铝7075制作；3.2.2 探针尖装夹部件绝缘特性：垂直击穿电压不低于10KV/mm，绝缘电阻不低于1.0×1013欧姆；3.2.3 探针尖装夹部件机械特性：垂直抗压强度182MPa；3.2.4 设计耐高温塑料垫圈夹持机构，保证高温环境下可调节位置探针机械机构正常工作；3.2.5 使用专用钨丝制作探针
3.3 腔体：
3.3.1 使用316L或其他的抗腐蚀、热形变低的材料制作；3.3.2 使用高温密封垫圈，耐热温度不低于200℃；3.3.3 腔体直径不小于280m；3.3.4 腔体设计可进行样品观察的窗口；
3.4 真空泵：
3.4.1 配置韩国KMC制造的K140PDN型无油活塞泵或性能不低于该真空泵的进口真空泵（随标书提供制造商产品彩色说明书）；3.4.2 极限真空度690 mmHg(负压)；3.4.3 工作电源220～240V/50～60Hz；3.4.4 最大工作压力10 bar；3.4.5 最低工作环境温度：10℃。3.4.6 电机配备热保护器；3.4.7 所用活塞和气缸无需加润滑油、轴承永久润滑。
3.5 控温仪：
3.5.1 配置厦门宇电或其他性能不低于标书要求的国内外大厂制造的程控控温仪（随标书提供产品说明书彩页）；3.5.2 实现最多可达30段的温度控制；3.5.3 控温精度 ±0.5°C；3.5.4 控温仪接口RS232，配置控温软件，可通过计算机实时控制炉子并显示设定和实时温度曲线；3.5.5 控温仪器带过热和断偶保护功能，自整定功能
3.6 控制软件：提供控制软件满足如下功能
3.6.1 实现探针台的加热和温度控制；3.6.2 通过USB-IEEE 488接口电缆实现对keithley 2400-LV数字源表的控制，进行电压、电阻、电流等参数的读取或IV曲线的测量；3.6.3 将所测量的温度、材料或器件的电性能参数保存为文本文件或可供微软excel软件编辑的xls格式文件。
3.7系统综合性能指标：
3.7.1 真空度：- 80KPa 3.7.2承片台温度范围：室温～300℃ 3.7.3探头三维调节范围：±6.5mm（X、Y、Z）3.7.4 探头分辨率：5μm

1

否

7

PCT测试仪

基本配置
1. PCT主机
包括箱体、缓冲容器、管线、阀门、数显压力表
2. 减压阀
用于氢气瓶减压
3. 加热器
4. 真空泵
5. 氢气钢瓶
6. 进气管、反应气管、真空管

性能指标
1. 系统真空度： -0.092Mpa（表压）
2. 高压压力范围：0-6Mpa
3. 样品室尺寸：φ10mm*100mm
4. 加热器温度范围：50~500℃

1

否