武汉高芯科技有限公司就lift-off全自动去胶剥离机在高德红外电子采购平台进行询价采购 ，现公开邀请合格投标人进行网上电子投标。

一、项目内容

项目标号：GDHYXJ000897

项目标名：lift-off全自动去胶剥离机

交货地点和时间：

二、投标人资格要求：

lift-off全自动去胶剥离机采购信息公示

一、项目概况

（一）项目编号：********

（二）项目名称：lift-off全自动去胶剥离机采购

（三）项目内容及需求：

1、数量：1台

2、交期：90日历天

3.技术要求：

Lift-off技术要求说明

1.装置概要

1.1机台针对标准晶圆片金属剥离及去胶制程设计。

1.2机台为全自动机台，人工将片盒放到盒站上，机台自动完成工艺过程。

1.3晶圆片通过真空吸附在CHUCK上，电机带动晶圆片做离心式旋转，同时配有高压丙酮，低压丙酮，乙醇，DI完成去胶及金属剥离工艺，使用热氮气吹扫，保证干进干出。

1.4机台可以配置浸泡单元，浸泡单元液体温度，压力可调，保证晶片去胶更彻底。

1.5机台具有对中功能，可以对晶片进行对中，提高设备运转的可靠性。

1.6机台由机器人传送，去胶及金属剥离过程无需人工干预。

1.7机台内部有废液缓存装置，废液排放不影响设备正常运行，并配置温度传感器，可以通过软件设定排放温度。

1.8设备支持SECS/GEM，可选配。

1.9机台中机器人及可能产生静电的零部件，全部接地。

1.10设备设有急停开关，漏电保护器，漏液检测，灭火系统等安全保护措施。

2.机台构造

2.1三个腔体：浸泡腔，工艺腔，清洗腔。

2.2三路药液：丙酮，乙醇，DI。

2.3操作界面：浸泡，剥离及花篮控制单元集成在一块10英寸接触屏（文本界面中音文切换）。可存储100组程序，每组程序可编辑100步程序，单步最大可设置时间3000秒。可分别设置基片的旋转速度，旋转时间，加速度等参数，可在DISPENSER一栏中选择不同的管路进行工作。并可手动控制各单元动作，实现单步操作。

2.4控制系统：设备主控制系统采用PC模块控制，性能可靠稳定。

2.5电机选用高精度伺服系统，转速控制精准。转速范围20-5000rpm可调。

2.6供液系统 配备泵供液。工艺腔带有压力调节功能，侧壁装有可视液位管，可观察液位状态，并有报警功能。

3.设备验收

3.1验收方法：2-4 inch产品Wafer上，分别有三种金属体系：Ti/Pt/Au，TiAlTiAu，In三种剥离体系，进行Lift-off后，要求清洗干净无残留，结构无损伤。

3.2验收标准：

3.2.1制程温度：设定温度±2℃

3.2.2金属残留屑：制程之后用100X显微镜检查无任何金属屑残留

3.2.3PR的残留：制程之后用100X显微镜检查无任何PR残留

3.2.4图形形貌：制程之后用100X显微镜检查无任何图形形貌缺损

3.2.5药液残留：制程之后用100X显微镜检查无任何药液残留

3.2.6可靠性：Uptime≥95%

3.2.7颗粒测试：经过浸泡，去胶，清洗后0.2um颗粒增加值≤30颗（bare wafer）

二、资格要求

（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重大安全生产事故的声明。

7、未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.ccgp.gov.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。

（二）特定资格要求：

1、参与企业必须为货物的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。

2、本次招标不接受联合体投标。

三、供应商资料递交截止时间和地点

（一）截止时间：2021-8-19 17:30

（二）地点：武汉市东湖技术开发区黄龙山南路6号

四、联系事项

联系人： 刘奇涛 电话：***-********

五、监督电话：

审计监察部：***-********

武汉高芯科技有限公司

2021年 8 月 12 日

三、投标人须登录高德红外电子采购平台(http://61.183.139.71:8002)进行投标和开标活动，务必在开标前完成注册并获得投标资格，中标情况将在本网公示。

四、网上投标方法：具体步骤请参照本网站“服务指南”。

五、报名截止时间：2021-08-31 15:29，投标截止及开标时间：2021-08-19 15:29，投标人应于投标截止时间前在高德红外电子采购平台成功递交所有电子投标文件。

六、物理开标地点：

七、有意者可与李云芳联系，业务联系电话：电话： 邮箱：user@mail.cn 。

纪检投诉受理：

高德红外电子采购平台

2021-08-19 15:31