晶圆盒清洗机国际招标公告(1)-项目编号:0613-214522154200/02
晶圆盒清洗机国际招标公告(1)-项目编号:0613-214522154200/02
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 硅片光学检测显微镜 | 2 | Meet 0.13um process | / |
2 | 晶圆盒清洗机 | 2 | 1.实现55纳米级别清洗使用化学品对光阻进行去除以达到需要的要求 | / |
3 | 晶圆清洗机 | 5 | 1.实现55纳米级别清洗去除颗粒能力强 | / |
4 | 晶圆测试机 | 6 | 1.电流测试能力pA级2.电容测试能力pF级3.多site并行,测试能力>=8site | / |
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