燕山大学曝光机系统采购信息公告

公告日期：2013年11月14日-2013年11月18日
公告编号：SX201397号
公示单位：燕山大学资产管理处
地址：河北省秦皇岛市海港区河北大街西段438号
邮编：066004
电话/传真： 150*****255
邮箱：********4@qq.com">********4@qq.com
项目联系人：张鹏 刘玉磊
燕山大学将采购曝光机系统1套，用于硅材料微型谐振式传感器制作等科研实验，具体采购方式及采购时间另行公告。欢迎具备供应商资格要求的单位与项目联系人取得联系,联系时间：2013年11月18日上午9:00—11:00。
一、采购货物名称及数量：曝光机系统
二、主要技术参数如下：
1.* 必须包含匀胶机(KW-2A型或其他)、烘胶台、真空泵等必需附件，以及所用计算机软硬件，保证设备验收后不需另购设备能即用于一般类MEMS制作实验。
2.* 一般实验室条件下(非超净空间)，曝光机分辨率高于1.5μm，曝光强度大于20mw/cm2，对准精度高于±0.8μm，显微系统放大倍数超过200倍。曝光灯为德国进口250W以上，蝇眼曝光头。
3.* 曝光类型至少为单面；曝光面积大于φ100mm；分离量0-50μm；曝光方式为硬接触、软接触；适用掩膜板尺寸为5吋、4吋、3吋、2.5吋中至少三种，配套基片尺寸三种，配套板架三套；曝光定时0-999s；
4.*提供上门安装培训；接受参观学习；设备保修至少一年；提供后期技术支持。
5.找平方式为自动模式。
*表示必须满足

资产管理处
2013年11月13日