力学与安全工程学院光机电与生医微系统制造平台仪器设备采购项目等1项
力学与安全工程学院光机电与生医微系统制造平台仪器设备采购项目等1项
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将力学与安全工程学院光机电与生医微系统制造平台仪器设备采购项目等1项政府采购意向公开如下：
| 序号 | 意向编号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | CGYX********0 | 力学与安全工程学院光机电与生医微系统制造平台仪器设备采购项目 | 根据力学与安全工程学院光机电与生医微系统制造平台建设需求，本年度需采购微机电制程相关设备、各种真空部件以及各种自动化检测相关部件。1.经调研，微机电系统制程相关设备有联通制程系统需包含中间可放置自动传输机械手的真空腔体及程控真空矩形阀门，在不破真空情况下周边衔接包含溅射或蒸发等各种物理气相沉积镀膜功能、等离子体增强化学气相沉积功能、反应离子及电感耦合蚀刻功能，且所有功能及设备部件都要能让使用者自行编程控制及撷取各种制程参数，并有相关尾气处理、稳压及不断电保护装置、恒温冷却系统、动力电配置、匀胶机、高精度切割机等周边配备。 2.各种真空部件包括有多种形式订制的真空腔、可程控的矩形阀、多种真空泵(用以达到各种腔体内的真空度要求)、真空用晶圆传输的无油机械手、真空内无油伸降装置、真空内无油线性传输装置、各种真空规、各种膜厚仪、各种尺寸真空法兰、各种真空视窗、各种真空板阀、各种真空用航空接头等。3.自动化检测相关部件有晶圆用机械手、工业机械手、精密长行程滑台及精密短行程滑台、控制电脑、高强度紫外光源、工业相机、拼接显示屏、显微镜等，均须备有可编程的功能。 | 682 | 2021年10月 | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
郑州大学招投标办公室
2021年09月16日
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