半导体蒸镀仪（JJ2021002363）采购公告

招 标 正 文
 

半导体蒸镀仪（JJ2021002363）采购公告

项目名称半导体蒸镀仪项目编号JJ********63
公告开始日期163*****22000公告截止日期163*****00000
采购单位南开大学付款方式合同签定生效后，预付合同总额的 40%；货物到达需方指定地点并安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付合同总额的 60%余款。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求无到货时间要求合同签定生效后3个工作日内
预 算无
收货地址南开大学八里台校区
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
半导体蒸镀仪1台无
品牌沈阳科诚真空技术有限公司
型号KC-ZD400
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算无
技术参数及配置要求一、设备性能：镀膜设备以蒸发源为主体，适用于实验室制备金属单质、氧化物等，也可用作教学及生产线前期工艺试验等，整套设备操作简便，综合功能多，扩展空间大，适合及满足大专院校的教学与科研工作。二、设备基本结构： 镀膜设备由真空室腔体，蒸发源系统，样品台系统，真空泵机组，膜厚检测系统，设备机架和电控系统组成，采用一体化的设计方案，整套设备结构紧凑、布局简洁，避免实验设备外观凌乱的现象。三、设备技术指标：1、真空室腔体：1套1)外形：优质304不锈钢D形前后开门真空室腔体1套，内部尺寸长D400 *高500mm，前门采用横拉方门可与手套箱连接，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，门配DN100视窗1套；2)底部：蒸发源接口2套，Hipace700分子泵接口1套以及美国MCVAC水冷膜厚探头接口1套, CF25照明接口2套；3)顶部：样品台接口1套，气动挡板接口1套；4)侧壁：JCDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀接口1套，GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀接口1套；5)腔体漏率：整体漏率优于5×10-10Pa.m3/S，保压12小时，压强小于5 Pa。2、蒸发源系统：1套1)蒸发源2套：水冷铜电极2组，兼容蒸发舟（钨、钼，钽舟）和螺旋丝，可蒸镀金属和氧化物等，采用气缸挡板，翻盖开关，1KW直流电源2台，数字显示，蒸发电源可以通过软件控制，也可以手动控制；2)隔板：蒸发源采用隔板分隔，避免交叉污染，部分隔板可免工具拆卸。3、样品台系统：1套1)基片旋转：采用磁流体密封，保证密封可靠性，转速5～20转／分，通过触摸屏控制连续可调；2)基片升降：衬底与蒸发源间距150-250mm，电动升降，通过触摸屏控制连续可调；3)基片挂架：采用冷水机接入水冷盘，130*130mm插入式样品托架，可承载100*100mm基片1片；4)基片挡板：采用磁流体密封，在基片旋转的任意角度均可挡住或打开，通过软件控制，旋转开关，速度平稳。4、真空泵机组：1套1)DDC-JQ40-KF真空电磁充气阀1台；2)KF40泵阀连接软管1套；3)GDQ-J40B-KF高真空气动挡板阀1台；4)Hipace700分子泵1台；5)CCQ-150CF气动超高真空插板阀1台；6)CDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀1台；7)GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀1台；8)ZDF-5227数显真空计1台（测量范围：1×105～1×10-5Pa）。5、膜厚检测系统：1套1)膜厚仪：采用美国英福康SQM310C石英晶振膜厚监控仪1台，模式：顺序镀膜；2)膜厚探头：美国MCVAC进口水冷膜厚探头1套，6MHz，采用快速卡扣式结构更换晶振片，避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片，采用胶圈锁紧密封结构。6、设备机架：1套1)40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑；2)3英寸万向轮4件，移动调整；3)M16地脚4件，锁紧定位。7、其他电控系统：1套（电气控制采用设备机架内置）1)烘烤照明电源：1台；2)总控制电源1台，配10英寸触摸屏，PLC控制器，样品台及挡板控制器，蒸发源挡板控制器，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等。8、其他技术参数：1)缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能；2)供电：～220V两相供电系统（峰值3KW）；3)供水：小型循环制冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃；4)供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门；5)极限真空：优于3×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间小于10分，充干燥氮气。四、技术服务及质量保证1)按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输；2)提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书；3)在甲方现场验收后，一年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修支核收工本费及差旅费，终身维修支核收工本费及差旅费。五、现场安装具备的条件1)电源220V 50Hz 功率大于5KW，波动范围：小于±6％，配置多路接线插座；2)可靠地线, 对地电阻小于2Ω；3)安装场地面积大于2.5M2,高度要求高于2.4M；4)要求安装场地的标准温度为20℃～24℃，标准相对湿度为50%～60%；5)要求有普通氮气，压强要在2～3个大气压之间；6)外排废气管道。六、培训1)培训时间：2～3天；培训人数：2～3人2)培训内容及要求：a)了解设备的工作原理、组成及各部组件、控制系统的工作原理和使用方法，熟练掌握整套系统的操作规程；b)能够对设备的一般故障进行诊断和简单维修，进行易损件的更换；对设备能够进行日常的维护和保养
售后服务按国家法定或行业要求提供售后服务。

报价地址：https://www.yuncaitong.cn/publish/2021/09/16/20KTMMFDZ2JERT53.shtml

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 半导体

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