设备：有机薄膜真空沉积系统一、仪器用途：该设备为全进口的电脑程控的全自动化有机薄膜真空沉积系统，可用于有机光电器件的科学研究：有机发光二极管、有机太阳电池和有机薄膜晶体管；利用该设备配置的旋涂机，还可以用于导电聚合物和胶体量子点光电器件的科学研究。具体而言，能够进行器件优化、薄膜厚度、掺杂浓度、比率调控和封装技术等方面的科学研究。二、技术指标和参数（带*者为必须具备指标）：2．1整个系统需要建造在不锈钢焊接底盘上，并配备有平衡可调的支座 系统整体尺寸范围应：8英尺（长）× 6英尺（高）× 40英寸（宽）2．2衬底支架装载4片衬底，每片衬底可制备4个器件，*2．3衬底装置配备12种掩膜板，能够通过电脑软件控制掩膜板的选择和位置，并且掩膜板的更换不能够妨碍薄膜沉积过程2．4电脑程控的直流齿轮马达可驱动衬底装置以30转/秒的速度旋转，以确保沉积薄膜的均匀性2．5蒸发源数量为12，可装载蒸发舟*2．6配备四台可电脑程控的低电压、高电流的供给电源，以便实现四种材料的共蒸发，其中一台为3.3千瓦供给电源，另外三台为1.5千瓦供给电源*2．7高电流开关允许电脑对蒸发源进行有效控制，该功能可以通过编制的薄膜沉积电脑程序实现；2．8蒸发源到衬底的标称距离：12英寸*2．9全自动电脑程控工艺控制系统：多层薄膜沉积、衬底切换、掩膜板切换、电源开关、真空泵开关控制、薄膜厚度、组分比率、掺杂浓度监控*2．10沉积速率和厚度控制电脑程控仪，借助四个石英微晶天平传感器，对有机材料实现低达0.0005纳米/秒的稳定沉积速率控制，从而实现极低的薄膜掺杂率（100:1）*2．11真空腔体使用304不锈钢建造，腔体内部尺寸为12英寸ｘ12英寸ｘ21英寸,腔体配备前后两扇门：前门为滑动式门，以便于与含有惰性气氛的手套箱相连接；后门为外摆式门，便于对腔体内部的各个机械装置进行日常维护2．12真空系统由连接水冷压缩机的8英寸低温泵和机械泵组成，真空压力计由离子压力计和对流式压力计组成*2．13快速真空抽滤装置：从惰性气氛开始，系统可以在15分钟以内抽滤至低于1*10E-6 Torr的真空度；*2．14真空沉积系统配备有手套箱，该手套箱装备单柱气体净化系统，确保手套箱内部的水汽和氧气含量小于1ppm，水汽传感器和氧气传感器可以实时监测系统内部的水汽和氧气含量，手套箱配有直径8英寸的送样腔体，手套箱整体工作区域为1.2米三．仪器配置：3.1不锈钢真空腔体1台3.2可装载4片衬底的衬底支架1只3.3 供给电源（3.3 kW）1台3.4供给电源（1.5kW） 3台3.5沉积速率和厚度控制仪1套3.6品牌电脑1台3.7掩膜板1套3.8低温泵（8英寸） 1台3.9手套箱1台3.10石英微晶天平传感器 4套3.11旋涂机 1台四、技术服务要求：4.1 供应商必须提供仪器的现场安装调试并达到投标书指标要求的技术性能，并同时在现场对用户进行操作培训。4.2仪器在调试验收合格后，提供壹年免费保修服务，在保修期内，所有服务及配件全部免费，保修期外，仪器终身维修。4.3供应商在中国应设有保税库，保证能更及时地为用户提供备品备件。*4.4供应商在国内必须设有分析仪器培训，免费为用户提供仪器的基本原理、操作、日常维护及基础分析仪器理论课程，并为用户不少于两人的国内免费培训，培训期间提供食宿。*4.5供应商为用户提供免费的电话咨询及技术服务。五、售后服务：5.1供应商应具有可靠的供货实力，在中国境内有维修站，并具有高素质的专业维修队伍。5.2在接到用户维修请求后，应能在24小时内作出快速响应，并在72小时内到达现场。5.3 仪器整机保修期为12个月（从最终验收合格后起）。六、数量：1套七、专家论证意见： 技术专家1论证意见：郑州大学材料科学与工程学院的低碳及环境材料河南省国际联合实验室是国家和河南省光电子材料和器件的研发基地。所需采购的有机薄膜真空沉积系统是高精度、全自动化的有机薄膜沉积系统，对有机材料可实现低达0.0005纳米/秒的稳定沉积速率控制，实现极低的薄膜掺杂率（100:1）研究，由于对实验过程的精度要求高，国内各种设备不能满足科研要求，国外厂家中，仅有美国Trovato公司生产的Trovato 300C真空沉积系统可以满足使用要求，因此建议进行单一来源采购。专家签名：杨成浩技术职称：教授2013年12月2日技术专家2论证意见：进口真空沉积系统为全自动电脑程控工艺控制系统：多层薄膜沉积、衬底切换、掩膜板切换、电源开关、真空泵开关控制、薄膜厚度、组分比率、掺杂浓度监控等，鉴于国内厂家没有能力生产此类设备，国外公司中，只有美国Trovato公司生产的Trovato 300C真空沉积设备可以满足实验室科研需要，特此建议进行单一来源采购。专家签名：张辉技术职称：副教授2013年12月2日技术专家3论证意见：进口仪器可配备四台可电脑程控的低电压、高电流的供给电源，能够实现四种材料的共蒸发，为研究共蒸发两种以上的薄膜材料性能提供了可能性，因为国内相关设备生产商不能生产该设备，国外设备生产商中，只有美国Trovato公司生产的设备可以满足实验室科研需要，建议以单一来源的形式采购Trovato 300C真空沉积系统。 专家签名：李双喜 技术职称：高工 2013年12月2日技术专家4论证意见：进口仪器可进行快速真空抽滤：从惰性气氛开始，系统可以在15分钟以内抽滤至低于1*10E-6 Torr的真空度，基于国内相关设备生产商没有能力生产此类设备，国外设备生产商中，也仅仅美国Trovato公司生产的设备可以满足科研需求，建议将Trovato 300C真空沉积系统作为单一来源进行采购。专家签名：李东栋技术职称：副研究员2013年12月2日法律专家：论证意见：该仪器不属于国家限制进口产品，符合国家产业结构，符合国家法律法规。专家签名：潘永建技术职称：律师 2013 年12月2日姓名工作单位技术职称备注杨成浩华南理工大学教授技术专家1张辉浙江大学副教授技术专家2李双喜郑州机械研究所高工技术专家3李东栋中科院上海高等研究院副研究员技术专家4潘永建河南郑大律师事务所律师法律专家