附件：一、项目情况、技术参数：I.仪器用途：本系统将主要用于化合物半导体薄膜、异质结构以及量子结构的外延生长，利用所生长的异质结构和量子结构制作电子器件以及诸如高效太阳能电池、发光二极管、发光晶体管之类的光电器件。II.技术指标和参数：2.1真空腔室：（1）本系统包括五个超高真空腔，即MBE沉积室（带液氮冷却罩）/处理室/进样室/抽气室/溅射沉积室（双层水冷）。（2）采用无磁性316L（1.4404）不锈钢加工制成，真空退火，电化学抛光处理。（3）MBE沉积室含10个DN63CF法兰安装扩散源炉，2个DN200CF法兰安装抽气泵和电子束蒸发源；溅射沉积室含6个DN100CF法兰安装溅射靶枪和样品台，1个DN250CF法兰安装快进门。2.2本底真空：（1）MBE沉积室：?1?10-10 mbar；（2）处理室：?5?10-9 mbar；（3）进样室：?5?10-7 mbar；（4）溅射沉积室：?5?10-9 mbar。2.3真空泵配置：（1）MBE沉积室：离子泵1台（抽速600 l/s），钛升华泵1台，磁悬浮涡轮分子泵1台（抽速1600 l/s），无油干泵1台（抽速10 l/s）；（2）溅射沉积室和进样室:共用一套真空泵组合系统，包括离子泵1台（抽速75 l/s），磁悬浮涡轮分子泵抽速1600 l/s，无油干泵1台（抽速10 l/s）。2.4 MBE沉积室和溅射沉积室相关配置：MBE沉积室：（1）金属扩散炉：4套（其中2套坩埚容积35cc，2套SUMO坩埚容量200克），最高加热温度1400?C，温度稳定性： /-0.1℃，其中铝炉要求用cold lip，其它用hot lip。（2）金属掺杂源炉1套，锥形5cc坩埚。（3）气体射频原子源：1套，射频原子源正常工作时检测到的离子流低于10pA ，作到真正输出的零离子流组分的原子流。（4）4x7cc超高真空电子束蒸发源1套，含8kW数字化电源、坩埚驱动器和冷却罩。注：以上源炉全部集成挡板，原位水冷功能。（5）样品操纵台：衬底的尺寸为2英寸，面内旋转，转速0-30 RPM连续可调；Z方向50mm行程，SiC加热器，C型热电偶，衬底加热温度：≥ 1100℃，集成挡板，样品架控制单元。（6）反射高能电子衍射仪：1套，具有远程控制功能，通过远程控制可实现聚焦，电子束偏转以及电子闸门。溅射沉积室：3英寸靶材超高真空磁控溅射靶枪3套，1英寸1200 oC氧气加热器1套。2.5 MBE源炉安装方位：（1）金属源炉和射频原子源到衬底距离为190mm，与中垂线夹角为38°，源炉在真空室内有效长度为270mm。（2）电子束源到衬底的距离为282.4mm，水平安装，真空室内有效长度为11英寸。2.6其它相关配置：（1）高真空计：3套，分别全量程（大气压-1x10-11 mbar）测量MBE沉积室/处理室-进样室/溅射沉积室工作压力。（2）气体质量流量计: 4套，满量程20SCCM，精度?0.01SCCM，流量计控制器：1套。（3）600W全自动射频电源：2套，含匹配器。（4）超高真空插板阀：5套。（5）超高真空磁耦合进样杆：1套。III．附件及零配件（备件及消耗品，包括专用工具）铜垫圈，法兰，高纯金属源材料，安装和维护系统所需要的工具。IV．技术服务条款4.1 安装、调试与培训供应商须提供仪器的现场安装调试并达到要求的技术性能，并同时在现场对用户进行操作培训。4.2 验收：按相关部件技术指标的规定进行验收：4.3 保修期保修期为安装验收合格之日起一年，在保修期外硬件出现的问题，接到用户通知后二十四小时内给予答复，两个工作日内给与解决方案并到达用户现场解决问题。重大问题或其它无法立刻解决的问题应在一周内解决或提出明确的解决方案，如因卖方原因不能及时修复，保修期将相应顺延。设备保修期满前1个月，卖方免费负责一次全面的检查、维护，并写出正式报告，如发现潜在问题，应负责排除，提供维护操作手册和维修图。V．包装要求及运输方式应使用崭新坚固之木箱（标准出口包装），适合于空运、海运或陆运等长途运输方式；适合气候变化；抗震、防潮、防雨、防锈、防冻。投标商应对任何由于不当包装或防护措施不利而导致的商品损坏、损失、锈蚀、费用增长等后果负责。VI．数量：1套二、单一来源原因及相关说明郑州大学材料科学与工程学院中英纳米多功能材料研究中心目前承担国家自然科学基金委“面向能源的光电转换材料”国家重大研究计划项目1项（********），面上项目3项和青年项目2项。根据课题开展需求急需采购分子束外延系统一套，主要用于化合物半导体薄膜、异质结构以及量子结构的外延生长，利用所生长的异质结构和量子结构制作电子器件以及诸如高效太阳能电池、发光二极管、发光晶体管之类的光电器件。要求该设备主要技术指标如下：系统采用模块化设计理念，可以灵活扩展而采用金属源、气体源、掺杂源和电子束蒸发源实现6-10种不同材料的共同蒸发；腔体材料采用无磁性不锈钢加工而成，电化学抛光及真空退火处理，腔体漏气率优于10-10 mbar l/s；系统采用无油干泵和磁悬浮涡轮分子泵抽气，要求能够完全排除泵体运转产生的油污和耗损粒子污染；射频原子源正常工作时检测到的离子流低于10pA，作到真正输出的零离子流组分的原子流；金属源炉加热温度高于1300?C，温度稳定性 /-0.1℃；衬底加热温度高于1000℃，加热器在1x10-6 mbar氧气氛下能连续工作10小时以上，且其寿命高于5年；2”衬底沉积外延层材料均匀度高于99%。经我们充分调研，目前在售的欧美公司生产的分子束外延整套系统价格高达100万美金以上，且其源炉束流密度稳定性差，性能方面尚不能满足我们的课题需求，系统可扩展性低。国内还没有厂商能够生产单分子层结构分子束外延系统的能力。 分子束外延系统为美国Kurt J. Lesker公司根据我们相关课题需求定制研发的一款新型多功能分子束外延系统，能完全满足我们的课题需求，性价比高，因此申请单一来源采购方式。三、专家论证意见表：单一来源采购专家论证意见表时间：2013 年12月25日采购单位郑州大学项目名称 分子束外延系统专家1论证意见专家姓名：袁国栋工作单位：中科院半导体所职称：研究员分子束外延系统是制备单原子层结构量子材料及新型化合物半导体材料和器件的必备设备。目前欧美公司生产的该类系统整机价格高于100万美金、甚至千万以上，且系统束流密度、温度稳定性差，难以实现单原子层量子结构的生长，性能方面不能满足特定的课题需求，需要特殊化定制研发。 分子束外延系统为美国Kurt J. Lesker公司根据郑州大学课题需求定制研发的新型分子束外延系统，系统扩展性灵活，配置丰富，样品加热温度高于1000度，金属源炉温度稳定性偏差仅 /-0.1℃，2英寸样品沉积均匀性高于99%，性价比高。目前国内厂商还不具备生产单原子层可控分子束外延系统的能力，因此建议进行单一来源采购。专家2论证意见专家姓名：万国江工作单位：西南交通大学职称：教授 分子束外延系统为美国Kurt J. Lesker公司根据郑州大学课题需求专门定制研发的一种新型低成本高性能、扩展性灵活的分子束外延系统，源炉加热温度高达1400度，温度稳定性偏差仅 /-0.1℃，在2英寸基片上外延生长材料的均匀性高达99%，且其价格仅为国外同类产品的一半，为国家节省了大批外汇资金。鉴于国内真空设备厂家还尚未掌握MBE束流稳定性控制的难题，特此建议进行单一来源采购。专家3论证意见专家姓名：罗林保工作单位：合肥工业大学职称：教授制备原子尺度超晶格结构新型光电转换材料和器件是材料科学和物理科学研究的热点，相关材料和器件的生长离不开高性能的分子束外延系统，基本需要用户根据课题需求进行定制化生产。美国Kurt J. Lesker公司根据郑州大学课题需求定制研发的新型 分子束外延系统配置丰富，能够实现金属源、气源、电子束蒸发源、掺杂源的共同生长，系统稳定性好，源炉加热温度偏差仅 /-0.1℃，在2英寸基片上外延生长材料的均匀性高达99%。该类系统目前国内无产品提供，国外在售的整机系统价格昂贵/性能偏低，均不能满足郑州大学承担的国家重大研究计划课题需求。因此，建议将 分子束外延系统作为单一来源进行采购专家4论证意见专家姓名：文峰工作单位：海南大学职称：教授 分子束外延系统采用模块化设计理念，可以灵活扩展而采用金属源、气体源、掺杂源和电子束蒸发源实现10种不同材料的共同蒸发，是制备不同种类的化合物半导体及其器件的理想设备，系统性能优异、配置丰富。目前国内厂商尚不具备此类产品的生产能力，国外设备生产商中，只有美国Kurt J. Lesker公司研发的新型 分子束外延系统可以满足郑州大学所承担的国家重大研究计划的科研项目需求，建议以单一来源的形式采购 分子束外延系统。法律专家论证意见专家姓名：潘永建工作单位：河南郑大律师事务所职称：律师该仪器不属于国家限制进口产品，符合国家产业结构，符合国家法律法规。