光刻胶涂布和烘烤设备　　招标公告

一、项目名称：光刻胶涂布和烘烤设备
二、招标编号：*******
三、招标人：苏州大学实验室与设备管理处
　　地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼1012室
　　邮编：215021 　　　　　　　传真：****-********
　　联系人：罗老师　　　　　　电话：****-********，********
　　电子邮箱：lrb998@suda.edu.cn
　　技术联系人：楼老师　　　　电话：152*****825
　　电子邮箱：louyimin@suda.edu.cn
四、招标货物品名、数量、主要性能参数基本要求以及相关技术联系人
　第1包：光刻胶涂布和烘烤设备　　1套
　光刻胶涂布和烘烤设备由桌面型光刻胶涂布机和桌面型光刻胶烘烤机组成,用于光刻胶基板制备工艺，要求供应商具有成套提供设备的能力和良好的售后服务支持、维护、备件提供能力。
　（一）桌面型光刻胶涂布机：
　　1.性能指标：
　　　1.1最大旋涂幅面：8英寸圆片；
　　　1.2涂布均匀性：≤±3%
　　　1.3最大转速：≥8000转/分钟；最大加速度：≥4000转/秒；
　　　1.4旋涂控制方式：程序多段控制；触摸屏系统；
　　2.配置要求：
　　　2.1支持基片尺寸：1英寸、2英寸、4英寸、6英寸，方片和圆片；
　　　2.2具备真空和盖子的安全互锁设计；
　　　2.3具备可拆卸内衬碗和废液收集装置。
　（二）桌面型光刻胶烘烤机：
　　1.性能指标：
　　　1.1最大幅面：8英寸圆片，6英寸方片；
　　　1.2温度范围：室温至250摄氏度；
　　　1.3温度均匀性：≤±0.5摄氏度；
　　　1.4温控方式：程序多段控制；触摸屏系统；
　　　1.5烘胶方式：支持接触式、接近式等。
　　2.配置要求：配置顶针方式的基片提升系统。
五、评分标准
　本次招标采用综合评分法, 总分为100分, 具体内容如下：
　（一）技术参数、配置及整体综合性能分（55分）
　　1.技术参数指标（35分）
　　　以投标人提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评标依据，其他情况由评委会专家根据实际情况进行评判。
　　　所投产品不满足招标文件技术条款要求的（偏离）、配置不详，技术参数不清，缺漏项的，每处扣1分。
　　2.配置情况(10分)基本符合招标文件要求得6分，完全符合得8分，优于得9-10分。
　　3.综合性能情况（10分）
　　　3.1所投产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况（评委会认为超出指标有意义的）（5分）。优于项每处加1分，此项最高5分。
　　　3.2投标产品的市场反馈情况（5分）根据所投产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的使用情况反馈以及标注使用所投产品发表的高水平论文情况等综合评定。
　（二）投标报价：35分；
　　1.评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满分35分；
　　2.其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算：投标报价得分＝（评标基准价／投标报价）×35分。
　（三）综合商务（10分）
　　1.投标人综合实力（4分）：
　　　1.1注册资本（2分）；
　　　1.2财务状况（2分）；
　　2.保修期（4分）。保修期1年得2分，在此基础上每增加一年保修期加1分，此项最高4分。
　　3.其它（2分）
　　　3.1投标文件质量（1分）。根据投标文件的规范性、完整性等情况综合评定。
　　　3.2其它优惠措施等（1分）。根据投标人在投标文件中明确的在招标文件要求范围以外，评委会认可的具体的、实在的优惠措施。

六、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试及验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学公开招标采购仪器设备投标人须知》第22条中的要求执行。
七、招标文件价格：标书每份人民币300元（可投标时交纳），售后不退。
八、投标截止时间：2014年1月8 日9:30。各投标人在投标前，须认真阅读《苏州大学公开招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求。并在截止时间之前将投标文件一式8份（其中正本1份，副本7份）送达招标人处。
九、开标时间：2014年1 月8 日9:30。
十、未尽事宜，按《苏州大学公开招标采购仪器设备投标人须知》中的相关条款执行。