原子层沉积系统招标公告
原子层沉积系统招标公告
| 项目名称 | 原子层沉积系统 | 项目编号 | JJ********42 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2021-10-15 10:09:18 | 公告截止日期 | 2021-10-18 10:00:00 |
| 采购单位 | 南开大学 | 付款方式 | 合同签定生效后，预付合同总额的 40%；货物到达需方指定地点并安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付合同总额的 60%余款。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 合同签定生效后3个工作日内 | |
| 预算总价 | 未公布 | ||
| 收货地址 | 南开大学津南校区信息西楼619 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 原子层沉积系统 | 1 | 台 | 无 |
| 品牌 | 纳峰 |
|---|---|
| 型号 | NCE-200R |
| 技术参数及配置要求 | 1）8英寸反应腔体，腔体高度6mm； 2）基底加热温度至350度； 3）5路完全独立的反前驱体洁净管路，其中2路为加热管路，可加热至250度，3路为室温使用管路。（管路可后续升级，最多可达7条完全独立前驱体管路）ALD阀门为全进口洁净阀； 4）智能前驱体分散装置一套； 5）洁净惰性载气（N2或Ar）管路，含高精度气体质量流量计（MFC） 6）进口压力传感器，检测范围：1000 至 5*10-4 Torr； 7）系统控制硬件设施一套，系统控制软件一套。 |
| 售后服务 | 按国家法定或行业要求提供售后服务。 |
南开大学
2021-10-15 10:09:18
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