序号

采购品目

技术参数及要求

数量

单位

1

纳米压印光刻

机

1．技术参数

1、曝光面积：不小于4 英寸

2、曝光波长：300~400nm

3、分辨力：不大于0.8um

4、对准精度：不大于±0.8um

5、★掩模样片整体运动范围：X：优于15mm;Y:优于15mm

6、掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

7、样片尺寸：直径Φ10mm-- Φ100mm(各种不规则片)

8、厚度 0.1mm--5mm(可扩展为 15mm)

9、曝光方式：定时（倒计时方式）或定剂量

10、具备真空接触曝光、以及接近式曝光等功能

11、照明不均匀性：±3%（Φ100mm 范围）

12、★双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800 倍；物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍；目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍

13、数字设定对准间隙和曝光间隙

14、最大焦厚：不低于400um（SU8 胶）

15、光源平行性：优于3.5 º

16、曝光能量密度：>30mW/cm2,照明面温度<35 º

17、★汞灯功率：不低于350W（原装进口汞灯）

18、★具备压印模块接口，也具备接近模块接口，压印参数为：

（1）压印分辨力：不高于50nm
（2） 压力控制范围：0MPa-0.2MPa，数字设定压力大小；
（3）压印面积：不低于Φ65mm；

19、触摸屏操作，掩模光刻与纳米压印光刻操作界面独立，且可随意切换

20：打印机一台：黑白激光打印机 多功能一体机打印复印扫描功能。打印速度18页/分钟，复印速度18页/分钟。扫描分辨率1200的dpi，位深24位。工作负荷：8000页。处理器速度400MHz。

21.真空泵一台（无油泵）

22.空压机一台（静音泵）

1

2

匀胶机

1、★转速设置范围: 300转/分(或更低) ～11000转/分

2、匀胶时间设置范围: 1～9999秒

3、转速稳定度: ±1%

4、胶的均匀性: ±3%

5、额定转速：11000rpm

6、样片托配备二个。

7、★干泵1台

1

3

快速退火炉

技术参数：：

1. ★额定功率：不低于8KW

2. ★最高温度：不低于1000℃

3. 连续工作：950℃（＜1小时）

4. 加热区长度：不低于250mm

5. 恒温区长度：不低于200mm

6. 控温精度：±1℃

7. 石英管尺寸：不低于φ60

8. 滑动距离：不低于300mm

9. 最大降温速率：900到200的降温速度：15min

10. 炉膛开启自动断电功能，使炉门打开后自动断电。

11. 电炉温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、模糊控制、自整定功能，并可编制各种升降温程序。

1

4

反应离子刻蚀机

1、★设备选用整体优质航空铝材精密加工制造而成，内部做特殊阳极氧化处理。腔体尺寸：不小于Φ300*300mm；

2、★刻蚀电极台：电极台可自动升降，调整刻蚀距离，调节范围：20-70mm,尺寸：不低于Φ200mm；

3、 极限真空：≤5.0*10^-4 Pa（;

4、 抽气速率：从大气抽至6.6*10^-3Pa时间≤30分钟;

5、 系统漏率：优于6.67*10-7Pa·L/s;

6、升压率：停泵关机12小时后真空度小于5Pa;

7、 最大有效刻蚀样片尺寸：不低于Φ6英寸;

8、 4英寸内均匀性：≤±5%;

9、刻蚀速率：Si：大于等于2000nm/min;

PECVD生长的SiO2：大于等于500nm/min;

10、工艺供气：不低于4路供气；

11、分子泵1台，抽速不低于600L/s，

12、★自动压力控制系统1套含进口薄膜真空计

13、★质量流量控制器：不低于4台，标定气体：至少包括氧气、氩气、SF6、CHF3；

14、自动控制系统1套，含PLC模块、工控机、显示器控制软件等；

15、 冷却水系统1套

1

5

扩散炉

2

6

真空烘箱

1、电源电压：220V±10V/50/60HZ

2、输入功率：1400W

3、控温范围：室温+5～250℃

4、波动度：±1℃

5、达到真空度：133Pa

6、定时范围：0～999分钟

7、★容积：不低于53L

8、加热方式：套式加热

9、载物托架：不低于2块

10、★真空泵1台。

2

7

纯水机

1. ★系统产水量(25℃)：不低于15升/小时

2. UP超纯水指标：

3. 电阻率：18.25MΩ.cm@25℃

4. ★电导率：0.054us/cm@25℃(＜0.1us/cm)

5. 重金属离子(ppb)：<0.1ppb

6. 总有机碳(TOC)：<10ppb

7. 细菌：<0.1cfu/ml

8. 微生物/细菌：<1CFU/ml

9. 颗粒物(>0.2μm) ：<1/ml

10. RO反渗透水指标：

11. TDS(总固体溶解度,ppm)：≤进水

TDS×5%(稳定脱盐率≥95%)

12. 二价离子分离率：95%-99%（使用

新RO膜时）

13. 有机物分离率：>99%，当MW>200

Dalton

14. 颗粒和细菌分离率：>99%

15. ★自带便携式TDS测试笔。

1

8

器件自动老化系统

1. ★单点温度稳定性：25～500℃ ±0.5℃/24h

2. ★最大可控升温速度：不低于100℃/min

3.最大降温速度：不低于50℃/min

4.器件检测电流范围：0.001-2A

5.器件检测电压范围：0.001-24V

6.采样时间：0-1ms

功能：

7.适应范围：二极管、三极管、mos管、运放等半导体器件

8.数据记录：自动

9.通信：Rs485

10.显示：老化曲线

11.器件最大尺寸：不低于2英寸

12.过程控制：程序设定

13.软件系统：自动老化控制系统（windows操作系统）

1

9

通风橱

1.台面：采用国产不低于12.7mm厚实芯理化板，镶边至不低于25.4mm厚，耐酸碱、耐腐蚀、易清洗并可抑制细菌；

2.柜体：采用不低于1.0mm厚冷轧钢板制作，表面经酸洗磷化处理（注：钢板进行去油、除锈，使其表面形成一层保护膜，增大上粉率及牢固性）、环氧树脂喷涂以及烘箱高温固化；

3.内衬板：采用不低于5mm厚抗贝特板，具有防水、耐撞击和易清洗维护等特性；

4.导流板：采用不低于5mm厚抗贝特板，合理的三段可拆式导流结构，排风集中、高效，使处于不同高度的有毒气体能够迅速排放；

5.视窗:采用不低于5mm钢化玻璃；

6.地脚:采用钢制万向调整脚，具有承重性能好、防震、坚固耐用等特点；

7.开关:采用微电子触摸式开关；
8.照明:两个荧光灯管，快速启动类型，UL标准。镇流器安装在通风柜外部。照明罩内部白色，高反射的塑料材质。照明装置上面有安全玻璃面板，并且和柜体密封。照明亮度：不低于80candles。
9.标准尺寸：不低于1800*800*2350（长*宽*高）

4

10

实验用品柜

阻燃更衣柜

材质：铁质

9门

尺寸：1900mm*1200mm*400mm

9人位

4

11

实验用品柜

阻燃更衣柜

材质：铁质

2门

尺寸：1900mm*900mm*400mm

2人位

4

12

实验桌椅

单桌尺寸不低于1m*0.6m，

板材厚度不低于2.5cm，

每桌配办公铁质网布坐椅1把。

6

13

药品柜

1、药品柜（试剂柜）四开门样式，上部为透明玻璃开门，下部为不透明板门。

2、上部柜内隔层为阶梯式或平板式。

3、柜体板：柜体：采用抗强酸碱耐化学药品，耐冲击磁白色PP板(原装进口)承制，焊接一体成型，厚度不低于8mm，抗强酸、化学药品，耐冲击，耐腐蚀，不生锈

2

14

服务器

市场常用品牌服务器

CPU：2颗Intel Xeon Silver 4210R 20核40线程 主频2.4G

内存：64G ddr4 2600以上

硬盘：512G+4T

显卡：RTX3070-8G独显

显示器：23寸

Windows系统

满足有限元仿真应用

1

15

柜机空调

市面常用品牌空调

一级能效；

变频冷暖；

高温自清洁；

立式柜机；

3匹 。

1

16

黑白激光打印机

多功能一体机

无线打印复印扫描传真功能。

黑白打印速度不低于20ppm，打印分辨率不低于600*600dpi。

复印速度不低于20cpm，复印分辨率：黑白不低于300*300dpi；彩色不低于400*600dpi。缩放范围25-400%。扫描分辨率不低于1200*1200dpi。扫描速度：黑白不低于7ppm；彩色不低于5ppm。

wifi直连，无线直接打印功能。

1