项目编号：0714-1440ETC02304
设备名称及数量：金属膜热蒸发镀膜机 1套
一 招标内容
1、设备名称及数量 ：金属膜热蒸发镀膜机 1套
2、设备基本要求
主要组成 (Main Contents)
金属膜热蒸发镀膜机由真空系统（真空腔室＋高真空排气系统）、蒸发镀膜系统（含电子枪＋离子束源）、膜厚监控系统、基片架及旋转系统和镀膜自动控制系统组成，要求一体化集成，稳定性好、操作方便。
4.1 真空系统
4.1.1 真空室尺寸：不小于650 mm×650 mm×900 mm（H）；真空室腔体采用优质不锈钢，真空室门、外壁、底板均配有循环冷却水管，门上有不少于1个观察窗（用于观察蒸发源、基片架等），并配有防强光和电子束辐射的玻璃和观察窗防污挡板；
4.1.2 抽气系统：由分子泵+干泵组成；抽速由制造商根据真空排气性能自行配置；
4.2 蒸发镀膜系统
*4.2.1 MarkⅡ离子源：离子源均匀作用范围为基片架截面的95%以上，离子源工作稳定性好，可连续工作4小时；
4.2.1.2 离子源功率：大于3 kW，阳极电流大于5A；
4.3膜厚监控系统
4.3.1 石英晶体控制器：采样测量时间≤100ms，测量石英晶体频率6MHz。可提供不少于2个探头进行物理厚度监控，以适应长时间镀膜需求；
4.4 基片架及旋转系统
4.4.1 基片架及驱动机构：基片架驱动装置采用磁流体密封。采用平面行星基片架（公转加自转），行星盘数量不少于3个，行星盘装卸方便.基片架载重量：≥30kg；基片架转速：0～30rpm可调；
二 获取招标文件的办法和时间
投标人可从2014年1月23日起至2014年2月12日9:00时至16:00时止（北京时间）（节假日除外）到中国电子进出口总公司21层2112室购买招标文件。本招标文件每套售价为 800 元人民币（含招标文件及电子版一份）售后不退（所有和投标有关的费用均不接受个人名义汇款）。

三 接受投标时间、投标截止时间及开标时间
1、接受投标时间：于2014年2月13日上午9:30时(北京时间)
2、开标时间：于2014年2月13日上午9:30时(北京时间)

四 投标地点和开标地点：
陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号科园商务酒店
五 招标代理机构：中国电子进出口总公司
详细地址:北京市复兴路17号国海广场A座21层
邮 编: 100036
联 系: 人: 苏广、侯丽娟
邮 箱：houlijuan@ceiec.com.cn
电 话: (010) ********, ********
传 真: (010) ********
开户名称:中国电子进出口总公司
人民币开户行:中国银行总行营业部
人民币账号: ********4584