高真空电阻蒸发镀膜机（清设比选20212226号）采购公告
高真空电阻蒸发镀膜机（清设比选20212226号）采购公告
| 采购项目名称 | 高真空电阻蒸发镀膜机 | 采购项目编号 | 清设比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | 2021-11-12 02:57:48 | 公告截止时间 | 2021-11-15 03:00:00 |
| 采购单位 | 清华大学 | 付款方式 | 合同签订后付款70%,验收合格后一周付尾款30% |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 |
| 签约时间要求 | 成交后10个工作日(如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后90个工作日 |
| 最高限价 | 未公布 | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学 | ||
| 供应商特殊资质要求 | 无 | ||
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 高真空电阻蒸发镀膜机 | 1 | 台 |
| 品牌品牌1 | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥ |
| 技术参数及配置要求 | 1.真空腔室尺寸：≥Φ350×H400mm； 2.真空极限：≥8.0×10-5Pa; 3.漏率：停泵12小时后，真空≤10Pa; 4.抽速：从大气抽至5.0×10-3Pa所需时间≤15min； 5.基片台：水冷结构；’直径≥120mm；转速0～20转/min；基片台电动升降，调整距离70mm; 6.蒸发源：水冷结构，数量4组；配4套独立气动挡板； 7.蒸发电源：电源1台，可供多组蒸发源切换使用 8.膜厚仪：SQC-310可实现终厚及速率控制方式，膜厚仪探头1只； 9.均匀性：≤±5%（基片台Φ100mm范围内） 10.电器控制：PLC+触摸屏控制，可实现全自动控制方式； 11.辅助设备：冷却循环水机1台，制冷量≥3kw；空气压缩机1台； |
| 质保期 | 12个月 |
清华大学
2021-11-12 02:57:48
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