物理系极低温强磁场扫描隧道显微镜系统、矢量磁场超低温扫描隧道显微镜需求公示招标公告-采招网

物理系极低温强磁场扫描隧道显微镜系统、矢量磁场超低温扫描隧道显微镜需求公示招标公告

招标
广东省-深圳市
发布：2021-11-16
截止：--
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招标正文

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物理系极低温强磁场扫描隧道显微镜系统、矢量磁场超低温扫描隧道显微镜需求公示招标公告

( 物理系极低温强磁场扫描隧道显微镜系统、矢量磁场超低温扫描隧道显微镜采购 )需求公示

项目名称

物理系极低温强磁场扫描隧道显微镜系统、矢量磁场超低温扫描隧道显微镜采购

是否预选项目

否

采购人名称

南方科技大学

采购方式

公开招标

财政预算限额（元）

********.00

项目背景

建立具有高研发水平的基础研究平台。南方科技大学物理系院士领导的课题组在超导机理、及它们的电子结构和能隙研究领域进行了长期研究，有着世界领先的研究水平，建立先进的研究条件和人才培养基地是非常必要的，目前的研究水平处于国际先进和国内领先的地位。建立先进的实验室对凝聚态物理研究领域形成一支富有创新能力、掌握国际先进技术和具有创新的高素质人才队伍有很重要的意义

投标人资质要求

（1）具有独立法人资格或具有独立承担民事责任的能力的其它组织（提供营业执照或事业单位法人证等法人证明扫描件，原件备查）。
（2）本项目不接受联合体投标，接受投标人选用进口产品参与投标。
（3）参与本项目投标前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）。
（4）参与本项目政府采购活动时不存在被有关部门禁止参与政府采购活动且在有效期内的情况（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）；
（5）具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条第一款的条件（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）。
（6）未被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）。

货物清单

序号	采购计划编号	货物名称	数量	单位	财政预算限额(元)
1	PLAN-2021-44**-******01-02116	物理系极低温强磁场扫描隧道显微镜系统、矢量磁场超低温扫描隧道显微镜采购（一）	1.0	批	*******.0
2	PLAN-2021-44**-******01-02120	物理系极低温强磁场扫描隧道显微镜系统、矢量磁场超低温扫描隧道显微镜采购（二）	1.0	批	*******.0

具体技术要求

序号	货物名称	招标技术要求
	矢量磁场超低温扫描隧道显微镜
1	快速进样室
	真空度	1.1没有烘焙的情况下真空度≥5×10-5Pa
	安放台	1.2安放台能够安放4个样品架和4个针尖架。
	传送杆	1.3一根磁力传送杆用于在快速进样室和制备室之间传送针尖和样品。
	快进门	1.4用于取放针尖和样品。可以更换为标准的刀口法兰密封方式以实现更好的真空度。
	漏气阀	1.5手动漏气阀，尺寸为ICF70，连接6mm塑料管。
2	制备室
★	真空度	2.1真空度≥3.0×10-8Pa
	样品操纵台	22 操纵台上能够安放4个样品架和4个针尖架。在样品加热台上能够进行直流加热和电子束轰击加热。
	样品加热
▲		2.3.1直流电加热：1300 deg. C
▲		2.3.2电子束轰击加热：1500 deg. C 5分钟 1000 deg. C 1小时
		2.3.3 样品尺寸：4*4mm
		2.4可旋转的操纵台：用于RHEED和样品生长，加热台（位于操纵台下方）
		2.5 温度监测：无调控样品温度的传感器。需要用户使用高温计进行温度的监测。
	观察窗	2.7 2个ICF114 和3个ICF70观察窗。
	扩展法兰口	2.8 1个ICF 70和ICF152法兰用于安装RHEED，1个ICF70用于针尖生长，一个ICF70用于离子枪，一个ICF70用于晶振，一个ICF152安装窗口用于观察，1个ICF114法兰用于生长，6个ICF70法兰用于生长，增加一个ICF70用于移动腔体，1个ICF114和2个ICF70法兰用于观察，4个ICF70法兰作为扩展法兰。位置可根据客户的需求进行调整。
	传送调整机构	2.9 X移动台
	针尖生长	2.10 探针高压生长（参考物理所高组）
	样品操纵台的动作	2.11 运动方向：Z和Θ，X，Y方向不包括在内，用户升级X,Y方向。
	传送杆	2.12使用磁力传送杆，在制备室和转换室之间进行样品和针尖的传送。
3	转换室	3.1材料为不锈钢304，腔体外径为114mm，内壁电化学抛光处理。
	真空度	3.2 真空度≥3.0×10-8Pa
▲	安防台	3.3 固定在磁力传送杆上的安放台能够安放4个样品架和4个针尖架。
	传送杆	3.4 使用带有重力平衡装置的磁力传送杆，在转换室和STM扫描头之间进行针尖和样品的传送。
	法兰	3.5 2个ICF70观察窗，3个ICF70扩展法兰用于生长或者导入气体。
4	杜瓦
	液氦杜瓦
		4.1.1 制冷功率50 μW@100mK。
▲		4.1.2配有液氦液面计及正压安全阀。液氦消耗冷小于0.4 L/H
★	磁铁	4.2 磁场强度x-y-z（z为平行针尖方向）方向不低于1.8-1.8-8T。
	磁铁控制器	4.3最大输出电流：120安培。
5	插入室
★	最低温度	5.1最低温度小于40mK（0T磁场）。
	自动气体循环控制系统	5.2 自动气体循环控制系统。所有的泵及电动阀门都通过软件控制。
	温度控制器	5.3温度传感器采用RuO和Cernox。所有的系统温度通过软件监测和控制
	扫描头	5.4材料无磁性的材料。
	减震	5.5 内部减震采用螺旋弹簧减震方式。
	XY方向扫描范围	5.6 在 4.2K/400mK温度下大于0.6/0.6微米。
	Z方向工作范围	5.7在 4.2K/400mK温度下大于70/60纳米。
▲	Z向分辨率	5.8 <0.02nm
▲	XY方向分辨率	5.9 <0.05nm
▲	温飘	5.10 4.2K情况下小于0.5nm/hour
★	噪音	5.11 40mK情况下，topo信号（FFT）小于1pm/√Hz
▲	能量分辨率	5.12 在40mK温度下的能量分辨率优于0.1meV
6	▲STM控制器	6.1 SPM控制器
7	真空系统
	真空规	7.1 包含3个离子真空规。共用多通道真空规控制器。
	真空阀门	7.2 2个ICF114手动闸板阀分别连接在快速进样室和制备室之间、以及制备室和转换室之间。ICF70的手阀连接在插入室和转换室之间。1个气动角阀连接在分子泵与快速进样室之间。
	离子泵控制器	7.3 7米长离子泵控制器连接线及2根10米长TSP连接线。
	分子泵及干泵	7.4 至少6m长控制线。
8	减震台	8.1减震台高度改为有坑实验室方案。四条气垫腿安装有被动减震装置。
	材料	8.1.1采用非磁性不锈钢304.
	台面尺寸	8.1.21500L×1200W×1000H mm
	重量	8.1.3 700Kg
	氮气或者压缩空气	8.1.4氮气瓶及10Kg/cm2 的减压阀需由用户自行准备，通过外径6mm的塑料管进行联接。
9	配件
	样品架	9.1 3个直流电加热型样品架，3个电子束轰击加热型样品架。
	探针架	9.2 5个。
	探针	9.3 包含10根铂铱针尖。
	样品安装工具	9.4 1套。
	照明光源	9.5 LED照明光源及ICF70卡套：2套
	液氦输液管	9.6 1根。
	烘烤系统	9.7 腔上安装加热丝及温度传感器，另外有10根加热带。
10	追加配件
	电子束轰击针尖加热（EBT100）	10.1 用于针尖清洁。包含一个高压控制器
	3KV（Specs离子枪及电源）	10.2安装于制备腔，对针尖和样品进行清洁。。
	安装于转换腔的低温解离台	10.3该装置安装于转换室，液氦的情况下30K以内，液氮冷却到90K以内，并且可以使用解离杆对样品进行解离。
▲	升级六电极	10.4 扫描头以及样品架均升级为六点电极
	样品操纵台的动作	10.5 运动方向：Z和Θ，X，Y方向不包括在内，用户升级X,Y方向。
	极低温超高真空极低温强磁场扫描隧道显微镜

1	快速进样室	1.1材料为不锈钢304，腔体外径为114mm，内壁需进行电化学抛光处理。
	真空度	1.2没有烘焙的情况下好于5×10-7Torr，烘焙后的情况下好于1×10-8Torr。
▲	安放台	1.3固定在磁力传送杆上的安放台能够放置4个样品架和4个针尖架。
	传送杆	1.4一根磁力传送杆用于传送针尖和样品。（传送位于快速进样室和制备室之间）
	快进门	1.5尺寸为ICF114,用于取放针尖和样品。标准的刀口法兰可以实现更好的真空度。
	漏气阀及角阀	1.6尺寸为ICF70，连接6mm塑料管。1个气动角阀用于快速进样室，可连接分子泵。
2	制备室	2.1材料为不锈钢304，腔体外径为203mm，内壁需进行电化学抛光处理。
	真空度	2.2烘焙后真空度≥3×10-10Torr
	安放台	2.3安放台上能够安放4个样品架和4个针尖架。安放台上有一个样品架可以进行加热。
★	样品加热	2.4直流电加热：1300 deg. C
		2.4.1电子束轰击加热：1000 deg. C
		2.4.2 电子子束样品尺寸：4*4mm，高度1mm
		2.5可旋转的操纵台(电子束加热或者直接通电流加热无法同时进行）：用于RHEED和样品生长，加热台（位于安放台下方）可以旋转让样品朝下。
	传送杆	2.6使用磁力传送杆，在制备室和观察室之间进行样品和针尖的传送。
★	扩展法兰口样品架	2.7 1个ICF 114和5个ICF70法兰用于生长，3个观察窗，1个ICF70和1个ICF152法兰用于安装RHEED，1个ICF70法兰用于真空规，4个ICF70法兰作为扩展法兰。法兰的规格、位置可根据客户的需求进行调整。离子泵和减震台之间的腔体增加ICF152法兰口，使用盲板封住，客户自行安装手阀以及分子泵 2.8 旗形样品托
3	观察室	3.1适用JT系统的样品架
	真空腔	3.2材料为不锈钢304，腔体外径为353mm，内壁需进行电化学抛光处理。
	真空度	3.3烘焙后液氮温度下真空度≥5.0×10-10Torr(室温）　2.0×10-10Torr(液体窒素温度以下）
		/安装后第一次烘焙需要两周
		/通常烘焙需要一周
	辐射防护屏	3.4SPM台由双层防护层包围。
	液氦容器	3.5 10升液氦容器被安装在观察室的杜瓦腔里。
▲	液氦维持时间	3.6 在没有任何样品交换下，关闭隔热层上的开关的条件下，液氦的维持时间长于120个小时。（3T的磁场情况下）
	液氮容器	3.7 13升液氮容器，维持时间超过100个小时。（3T的磁场情况下）
★	系统温度	3.8 使用液氮制冷最低温度：78K；使用液氦制冷最低温度：小于5K，扫描头安装有加热器，可以做变温实验。增加JT功能情况下1.4K以下
	变温部分	3.9 杜瓦和扫描头之间安装有加热块，液体He使用時　5K-50K, （JT配置的情况下1.4K-50K)液氮情况下78K-100K，
	温度传感器	3.10 温度传感器冷台和样品台上，4K到室温。包含温度显示器。
	液氦液面计	3.11 测量液氦余量
	SPM台	3.12内部减震，SPM台由螺旋弹簧悬挂安装。
	SPM扫描台	3.13 SPM扫描台安装在SPM冷台上，由XY粗动压电平台，Z粗动压电平台和精细扫描管压电组成。探针扫描类型
	样品台	3.14样品架安装在XY粗动偏压台上，样品可移动范围为直径2 mm，通过使用软件和远程控制，步长为50-100nm的控制可得到实现。
	Z方向精度	3.150.05纳米（78K温度下），0.01纳米（5K温度下）
	XY方向精度	3.160.1纳米（78K温度下），0.05纳米（5K温度下）
★	扫描范围	3.17室温下：最大的XY扫描范围：4.0um4.0um，feedback Z:500nm@±220V 5K以下：最大的扫描范围：1.0um1.0um，feedback Z:150nm@±220V 最大电压为230V
★	位置传感器	3.18通过电容来定位针尖移动位置。
	能量分辨率	3.19 低温下（1.4K以下）能量分辨率优于0.5meV;
	温飘	3.20 温度稳定后，78K温度下XY方向小于<2nm/hour，5K温度下<0.5nm/hour； 5K以下的最小电流<2pA
▲	噪音	3.21 5K以下情况下，topo信号（FFT）小于2pm/√Hz
	样品架	3.22 3个DC样品架和3个EB样品架,此为标准件。
	针尖架	3.23 5个
▲	变温功能	3.24 内蔵机械式温度开关结构，阻断STM头和杜瓦之间的热传导低温温度控制器：PID制御控制加热控温
★	JT冷却功能	3.25 ？用于冷却到液氦温度以下的JT冷却装置最低温度低于1.4K ＊由于流入的热量增加，液氦和液氮的维持时间将比没有JT冷却功能的情况下短。？JT冷却的氦气循环装置用于JT冷却环流的泵，气体处理以及循环冷却的阀门单元
★	3T超导磁铁	3T（20A）超导磁铁和控制电源最大磁场：垂直于样品表面的3T ＊液氦和液氮的保留时间将比没有磁铁功能的情况下短，因为磁铁引线的热流入增加。
	真空系统
	真空规	3.26 包含3个离子真空规安装于快速进样室，制备室和观察室。
	真空阀门	3.27 2个ICF114手动闸板阀分别连接在快速进样室于制备室之间以及制备室于观察室之间；1个ICF152的气动角阀连接在分子泵与快速进样室之间。
	离子泵及钛泵	3.28 组合泵安装于观察室。
		3.29组合泵安装于制备室。
		3.离子泵控制器及2个TSP控制器。
	分子泵及干泵	3.31 250L/sec的分子泵和>100L/min的涡旋真空泵安装于快速进样室；
4	减震台	4.1 四条气垫腿安装有被动减震装置。
	台面尺寸	4.2 1000mm W×800mm D×750mm H
	重量	4.3700Kg
	氮气或者压缩空气	4.4 氮气瓶及10Kg/cm2 的减压阀需由用户自行准备，通过外径6mm的塑料管进行连接。
5▲	SPM控制器	5.1 SPM控制器
6	配件
	液氦输液管	6.1 1根。
	探针	6.2包含10根铂铱针尖。
	样品安装工具	6.3 1套。
	工具箱	6.4 1个。
	照明光源	6.5 LED照明光源及ICF70卡套：1套
	直流电源	6.6 直流电源（APS100）
	烘烤系统	6.7加热丝及sensor安装在真空腔上，另外提供7根加热带
	安装手册	6.8 1套。
7	追加配件
	电子束轰击针尖加热（EBT100）	7.1用于针尖清洁。包含一个高压控制器。
	电子束加热样品加热电源EBM100	7.2 高压加热电源用于电子束样品加热；高压：0-1.5keV，发射电流0-100mA可控，带灯丝电源，用于发射电流。
	3Kv离子枪及电源	7.3 安装于制备腔，对针尖和样品进行清洁。。
	制备室的低温生长台	7.4在X、Y、Z方向移动和角度旋转调节的低温生长台； 7.4.1液氦制冷：40K以下； 7.4.2液氮制冷：100K以下；
	5电极升级	7.5 样品架上有5个电极触点和相应的STM样品架插座的支架。支架的耐热性低于200°C，不可能进行直流加热和电子束加热。数量2个样品架

商务需求

序号	目录	招标商务需求
（一）免费保修期内售后服务要求
1	维修响应及故障解决时间	在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知24小时内响应，72小时内赶到现场进行修理或更换。
★2	关于免费保修期	1.1货物免费保修期1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。
……	其他	投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。
（二）免费保修期外售后服务要求（可选）
1	质保期外	设备供应商提供终身维修服务，并保证质保期满后不低于五年的零配件及消耗品的供应。
2	技术支持	在保修期外，一旦发生质量问题，中标人接到用户报修信息，24小时内做出技术支持反应。
（三）其他商务要求
★1	关于交货	1.1交货地点：南方科技大学……
		1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。
		1.3矢量磁场超低温扫描隧道显微镜需签订合同后550天（日历日）内交货。极低温超高真空极低温强磁场扫描隧道显微镜签订合同后460天（日历日）内交货。
2	关于验收	2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。
2	关于验收	2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告： a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。 b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。 c、货物具备产品合格证。
3	关于违约	3.1在设备生产或装卸、运输过程中，由于人力不可抗拒的事故，如战争、大火、洪水、台风、地震或其他合同双方认可的事件，导致卖方交货迟延或不交货，卖方对此免责。如发生上述情况，卖方须立即通知买方并如在此后的14天内空邮送达买方一份由事件发生地政府主管当局或工商会出具的事件证明。在此情况下，卖方仍有义务采取一切必要措施从速发货。如事件延续10周以上，买方有权取消合同并要求卖方两周内退还所有的合同预付款。
		3.2除上述3.1款规定的不可抗力外，如卖方未能按合同规定及时交货，买方同意卖方延期交货除非卖方同意由付款行从款项中扣除一笔支付给买方的罚金。该罚金不超过延迟交货总值的5%。罚款率按每7天收取0.5%，不足7天的均按7天计算。如卖方超过合同规定10周仍未交货，买方有权取消合同并要求卖方在两周内退还所有的合同预付款。但是，买方必须持有最终用户的书面同意买方撤销合同，此撤销方可生效。即使取消合同，卖方仍须立即向买方支付上述罚金。
		3.3中标人所交付产品、工程或服务不符合其投标承诺的，或在投标阶段为了中标而盲目虚假承诺、低价恶性竞争，在履约阶段则通过偷工减料、以次充好而获取利润的，将被没收履约保证金，并被履约评价工作实施机构评为履约等级“差”并按主管部门相关规定处理。
★4	关于付款	合同生效后支付合同总额的70%作为进度款；设备到达指定安装现场30天内完成安装、调试验收，出示验收报告后支付合同总额的25%；尾款5%待验收合格1年后支付。

技术规格偏离表

序号	货物名称	招标技术要求	投标技术响应	偏离情况	说明
	矢量磁场超低温扫描隧道显微镜
1	快速进样室
	真空度	1.1没有烘焙的情况下 5×10-5Pa
	安放台	1.2安放台能够安放4个样品架和4个针尖架。
	传送杆	1.3一根磁力传送杆用于在快速进样室和制备室之间传送针尖和样品。
	快进门	1.4用于取放针尖和样品。可以更换为标准的刀口法兰密封方式以实现更好的真空度。
	漏气阀	1.5手动漏气阀，尺寸为ICF70，连接6mm塑料管。
2	制备室
★	真空度	2.13.0×10-8Pa
	样品操纵台	22 操纵台上能够安放4个样品架和4个针尖架。在样品加热台上能够进行直流加热和电子束轰击加热。
	样品加热
▲		2.3.1直流电加热：1300 deg. C
▲		2.3.2电子束轰击加热：1500 deg. C 5分钟1000 deg. C 1小时
		2.3.3 样品尺寸：4*4mm
		2.4可旋转的操纵台：用于RHEED和样品生长，加热台（位于操纵台下方）
		2.5 温度监测：无调控样品温度的传感器。需要用户使用高温计进行温度的监测。
	观察窗	2.7 2个ICF114 和3个ICF70观察窗。
	扩展法兰口	2.8 1个ICF 70和ICF152法兰用于安装RHEED，1个ICF70用于针尖生长，一个ICF70用于离子枪，一个ICF70用于晶振，一个ICF152安装窗口用于观察，1个ICF114法兰用于生长，6个ICF70法兰用于生长，增加一个ICF70用于移动腔体，1个ICF114和2个ICF70法兰用于观察，4个ICF70法兰作为扩展法兰。位置可根据客户的需求进行调整。
	传送调整机构	2.9 X移动台
	针尖生长	2.10 探针高压生长（参考物理所高组）
	样品操纵台的动作	2.11 运动方向：Z和Θ，X，Y方向不包括在内，用户升级X,Y方向。
	传送杆	2.12使用磁力传送杆，在制备室和转换室之间进行样品和针尖的传送。
3	转换室	3.1材料为不锈钢304，腔体外径为114mm，内壁电化学抛光处理。
	真空度	3.2 3.0×10-8Pa
▲	安防台	3.3 固定在磁力传送杆上的安放台能够安放4个样品架和4个针尖架。
	传送杆	3.4 使用带有重力平衡装置的磁力传送杆，在转换室和STM扫描头之间进行针尖和样品的传送。
	法兰	3.5 2个ICF70观察窗，3个ICF70扩展法兰用于生长或者导入气体。
4	杜瓦
	液氦杜瓦
		4.1.1 制冷功率50 μW@100mK。
▲		4.1.2配有液氦液面计及正压安全阀。液氦消耗冷小于0.4 L/H
★	磁铁	4.2 磁场强度x-y-z（z为平行针尖方向）方向不低于1.8-1.8-8T。
	磁铁控制器	4.3最大输出电流：120安培。
5	插入室
★	最低温度	5.1最低温度小于40mK（0T磁场）。
	自动气体循环控制系统	5.2 自动气体循环控制系统。所有的泵及电动阀门都通过软件控制。
	温度控制器	5.3温度传感器采用RuO和Cernox。所有的系统温度通过软件监测和控制
	扫描头	5.4材料无磁性的材料。
	减震	5.5 内部减震采用螺旋弹簧减震方式。
	XY方向扫描范围	5.6 在 4.2K/400mK温度下大于0.6/0.6微米。
	Z方向工作范围	5.7在 4.2K/400mK温度下大于70/60纳米。
▲	Z向分辨率	5.8 <0.02nm
▲	XY方向分辨率	5.9 <0.05nm
▲	温飘	5.10 4.2K情况下小于0.5nm/hour
★	噪音	5.11 40mK情况下，topo信号（FFT）小于1pm/√Hz
▲	能量分辨率	5.12 在40mK温度下的能量分辨率优于0.1meV
6	▲STM控制器	6.1 SPM控制器
7	真空系统
	真空规	7.1 包含3个离子真空规。共用多通道真空规控制器。
	真空阀门	7.2 2个ICF114手动闸板阀分别连接在快速进样室和制备室之间、以及制备室和转换室之间。ICF70的手阀连接在插入室和转换室之间。1个气动角阀连接在分子泵与快速进样室之间。
	离子泵控制器	7.3 7米长离子泵控制器连接线及2根10米长TSP连接线。
	分子泵及干泵	7.4 至少6m长控制线。
8	减震台	8.1减震台高度改为有坑实验室方案。四条气垫腿安装有被动减震装置。
	材料	8.1.1采用非磁性不锈钢304.
	台面尺寸	8.1.21500L×1200W×1000H mm
	重量	8.1.3 700Kg
	氮气或者压缩空气	8.1.4氮气瓶及10Kg/cm2 的减压阀需由用户自行准备，通过外径6mm的塑料管进行联接。
9	配件
	样品架	9.1 3个直流电加热型样品架，3个电子束轰击加热型样品架。
	探针架	9.2 5个。
	探针	9.3 包含10根铂铱针尖。
	样品安装工具	9.4 1套。
	照明光源	9.5 LED照明光源及ICF70卡套：2套
	液氦输液管	9.6 1根。
	烘烤系统	9.7 腔上安装加热丝及温度传感器，另外有10根加热带。
10	追加配件
	电子束轰击针尖加热（EBT100）	10.1 用于针尖清洁。包含一个高压控制器
	3KV（Specs离子枪及电源）	10.2安装于制备腔，对针尖和样品进行清洁。。
	安装于转换腔的低温解离台	10.3该装置安装于转换室，液氦的情况下30K以内，液氮冷却到90K以内，并且可以使用解离杆对样品进行解离。
▲	升级六电极	10.4 扫描头以及样品架均升级为六点电极
	样品操纵台的动作	10.5 运动方向：Z和Θ，X，Y方向不包括在内，用户升级X,Y方向。
	极低温超高真空极低温强磁场扫描隧道显微镜

1	快速进样室	1.1材料为不锈钢304，腔体外径为114mm，内壁需进行电化学抛光处理。
	真空度	1.2没有烘焙的情况下5×10-7Torr，烘焙后的情况下1×10-8Torr。
▲	安放台	1.3固定在磁力传送杆上的安放台能够放置4个样品架和4个针尖架。
	传送杆	1.4一根磁力传送杆用于传送针尖和样品。（传送位于快速进样室和制备室之间）
	快进门	1.5尺寸为ICF114,用于取放针尖和样品。标准的刀口法兰可以实现更好的真空度。
	漏气阀及角阀	1.6尺寸为ICF70，连接6mm塑料管。1个气动角阀用于快速进样室，可连接分子泵。
2	制备室	2.1材料为不锈钢304，腔体外径为203mm，内壁需进行电化学抛光处理。
	真空度	2.2烘焙后3×10-10Torr
	安放台	2.3安放台上能够安放4个样品架和4个针尖架。安放台上有一个样品架可以进行加热。
★	样品加热	2.4直流电加热：1300 deg. C
		2.4.1电子束轰击加热：1000 deg. C
		2.4.2电子束样品尺寸：4*4mm，高度1mm
		2.5可旋转的操纵台(电子束加热或者直接通电流加热无法同时进行）：用于RHEED和样品生长，加热台（位于安放台下方）可以旋转让样品朝下。
	传送杆	2.6使用磁力传送杆，在制备室和观察室之间进行样品和针尖的传送。
★	扩展法兰口样品架	2.7 1个ICF 114和5个ICF70法兰用于生长，3个观察窗，1个ICF70和1个ICF152法兰用于安装RHEED，1个ICF70法兰用于真空规，4个ICF70法兰作为扩展法兰。法兰的规格、位置可根据客户的需求进行调整。离子泵和减震台之间的腔体增加ICF152法兰口，使用盲板封住，客户自行安装手阀以及分子泵 2.8 旗形样品托
3	观察室	3.1适用JT系统的样品架
	真空腔	3.2材料为不锈钢304，腔体外径为353mm，内壁需进行电化学抛光处理。
	真空度	3.3烘焙后液氮温度下5.0×10-10Torr(室温）　2.0×10-10Torr(液体窒素温度以下）
		/安装后第一次烘焙需要两周
		/通常烘焙需要一周
	辐射防护屏	3.4SPM台由双层防护层包围。
	液氦容器	3.5 10升液氦容器被安装在观察室的杜瓦腔里。
▲	液氦维持时间	3.6 在没有任何样品交换下，关闭隔热层上的开关的条件下，液氦的维持时间长于120个小时。（3T的磁场情况下）
	液氮容器	3.7 13升液氮容器，维持时间超过100个小时。（3T的磁场情况下）
★	系统温度	3.8 使用液氮制冷最低温度：78K；使用液氦制冷最低温度：小于5K，扫描头安装有加热器，可以做变温实验。增加JT功能情况下1.4K以下
	变温部分	3.9 杜瓦和扫描头之间安装有加热块，液体He使用時　5K-50K, （JT配置的情况下1.4K-50K)液氮情况下78K-100K，
	温度传感器	3.10 温度传感器冷台和样品台上，4K到室温。包含温度显示器。
	液氦液面计	3.11 测量液氦余量
	SPM台	3.12内部减震，SPM台由螺旋弹簧悬挂安装。
	SPM扫描台	3.13 SPM扫描台安装在SPM冷台上，由XY粗动压电平台，Z粗动压电平台和精细扫描管压电组成。探针扫描类型
	样品台	3.14样品架安装在XY粗动偏压台上，样品可移动范围为直径2 mm，通过使用软件和远程控制，步长为50-100nm的控制可得到实现。
	Z方向精度	3.15好于0.05纳米（78K温度下）， 0.01纳米（5K温度下）
	XY方向精度	3.16好于0.1纳米（78K温度下）， 0.05纳米（5K温度下）
★	扫描范围	3.17室温下：最大的XY扫描范围：4.0um4.0um，feedback Z:500nm@±220V 5K以下：最大的扫描范围：1.0um1.0um，feedback Z:150nm@±220V 最大电压为230V
★	位置传感器	3.18通过电容来定位针尖移动位置。
	能量分辨率	3.19 低温下（1.4K以下）能量分辨率优于0.5meV;
	温飘	3.20 温度稳定后，78K温度下XY方向小于<2nm/hour，5K温度下<0.5nm/hour； 5K以下的最小电流<2pA
▲	噪音	3.21 5K以下情况下，topo信号（FFT）小于2pm/√Hz
	样品架	3.22 3个DC样品架和3个EB样品架,此为标准件。
	针尖架	3.23 5个
▲	变温功能	3.24 内蔵机械式温度开关结构，阻断STM头和杜瓦之间的热传导低温温度控制器：PID制御控制加热控温
★	JT冷却功能	3.25 ？用于冷却到液氦温度以下的JT冷却装置最低温度低于1.4K ＊由于流入的热量增加，液氦和液氮的维持时间将比没有JT冷却功能的情况下短。？JT冷却的氦气循环装置用于JT冷却环流的泵，气体处理以及循环冷却的阀门单元
★	3T超导磁铁	3T（20A）超导磁铁和控制电源最大磁场：垂直于样品表面的3T ＊液氦和液氮的保留时间将比没有磁铁功能的情况下短，因为磁铁引线的热流入增加。
	真空系统
	真空规	3.26 包含3个离子真空规安装于快速进样室，制备室和观察室。
	真空阀门	3.27 2个ICF114手动闸板阀分别连接在快速进样室于制备室之间以及制备室于观察室之间；1个ICF152的气动角阀连接在分子泵与快速进样室之间。
	离子泵及钛泵	3.28 组合泵安装于观察室。
		3.29组合泵安装于制备室。
		3.离子泵控制器及2个TSP控制器。
	分子泵及干泵	3.31 250L/sec的分子泵和>100L/min的涡旋真空泵安装于快速进样室；
4	减震台	4.1 四条气垫腿安装有被动减震装置。
	台面尺寸	4.2 1000mm W×800mm D×750mm H
	重量	4.3700Kg
	氮气或者压缩空气	4.4 氮气瓶及10Kg/cm2 的减压阀需由用户自行准备，通过外径6mm的塑料管进行连接。
5▲	SPM控制器	5.1 SPM控制器
6	配件
	液氦输液管	6.1 1根。
	探针	6.2包含10根铂铱针尖。
	样品安装工具	6.3 1套。
	工具箱	6.4 1个。
	照明光源	6.5 LED照明光源及ICF70卡套：1套
	直流电源	6.6 直流电源（APS100）
	烘烤系统	6.7加热丝及sensor安装在真空腔上，另外提供7根加热带
	安装手册	6.8 1套。
7	追加配件
	电子束轰击针尖加热（EBT100）	7.1用于针尖清洁。包含一个高压控制器。
	电子束加热样品加热电源EBM100	7.2 高压加热电源用于电子束样品加热；高压：0-1.5keV，发射电流0-100mA可控，带灯丝电源，用于发射电流。
	3Kv离子枪及电源	7.3 安装于制备腔，对针尖和样品进行清洁。。
	制备室的低温生长台	7.4在X、Y、Z方向移动和角度旋转调节的低温生长台； 7.4.1液氦制冷：40K以下； 7.4.2液氮制冷：100K以下；
	5电极升级	7.5 样品架上有5个电极触点和相应的STM样品架插座的支架。支架的耐热性低于200°C，不可能进行直流加热和电子束加热。数量2个样品架

商务规格偏离表

序号	目录	招标商务条款	投标商务条款	偏离情况	说明
（一）免费保修期内售后服务条款偏离表
1	维修响应及故障解决时间	在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知24小时内响应，72小时内赶到现场进行修理或更换。
2	关于免费保修期	1.1货物免费保修期1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。
3	其他	投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。
（二）免费保修期外售后服务条款偏离表
1	质保期外	设备供应商提供终身维修服务，并保证质保期满后不低于五年的零配件及消耗品的供应。
2	技术支持	在保修期外，一旦发生质量问题，中标人接到用户报修信息，24小时内做出技术支持反应。
……
（三）其他商务条款偏离表
1	关于交货	1.1交货地点：南方科技大学
		1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。
		1.3矢量磁场超低温扫描隧道显微镜签订合同后548天（日历日）内交货。极低温超高真空极低温强磁场扫描隧道显微镜签订合同后457天（日历日）内交货。
2	关于验收	2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。
2	关于验收	2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告： a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。 b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。 c、货物具备产品合格证。
3	关于违约	3.1在设备生产或装卸、运输过程中，由于人力不可抗拒的事故，如战争、大火、洪水、台风、地震或其他合同双方认可的事件，导致卖方交货迟延或不交货，卖方对此免责。如发生上述情况，卖方须立即通知买方并如在此后的14天内空邮送达买方一份由事件发生地政府主管当局或工商会出具的事件证明。在此情况下，卖方仍有义务采取一切必要措施从速发货。如事件延续10周以上，买方有权取消合同并要求卖方两周内退还所有的合同预付款。
		除上述3.1款规定的不可抗力外，如卖方未能按合同规定及时交货，买方同意卖方延期交货除非卖方同意由付款行从款项中扣除一笔支付给买方的罚金。该罚金不超过延迟交货总值的5%。罚款率按每7天收取0.5%，不足7天的均按7天计算。如卖方超过合同规定10周仍未交货，买方有权取消合同并要求卖方在两周内退还所有的合同预付款。但是，买方必须持有最终用户的书面同意买方撤销合同，此撤销方可生效。即使取消合同，卖方仍须立即向买方支付上述罚金。
		3.3中标人所交付产品、工程或服务不符合其投标承诺的，或在投标阶段为了中标而盲目虚假承诺、低价恶性竞争，在履约阶段则通过偷工减料、以次充好而获取利润的，将被没收履约保证金，并被深圳市政府采购中心评为履约等级“差”并按主管部门相关规定处理。
		3.4质量瑕疵的补救措施和索赔投标人提供的货物不符合质量标准或存在货物质量缺陷，采购人有权根据法定质量检测部门出具的检验证书向投标人提出索赔。
		3.5在质量保证期内，如果投标人对缺陷货物负有责任而采购人提出索赔，投标人应按照采购人同意的下列一种或多种方式解决索赔事宜： a、投标人同意退货并将货款退还给采购人，由此发生的一切费用和损失由投标人承担。 b、根据货物的质量状况以及采购人所遭受的损失，经过双方商定降低货物的价格。 c、投标人应在接到采购人通知后七天内负责采用符合合同规定的规格、质量和性能要求的新零件、部件和设备来替换有缺陷的部分或修补缺陷部分，其费用由投标人负担。
		3.6如果在采购人发出索赔通知后十天内投标人未作答复，上述索赔应视为已被投标人接受。如果投标人未能在采购人发出索赔通知后十天内或采购人同意延长的期限内，按照上述规定的任何一种方法采取补救措施，采购人有权从应付货款中扣除索赔金额或者没收质量保证金，如不足以弥补采购人损失的，采购人有权进一步要求投标人赔偿。
4	付款方式	合同生效并收到相应发票后支付合同总额70%作为进度款；设备到达指定安装现场30天内安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的25%；余款5%设备验收合格1年后支付。

评标信息

序号	评分项				权重
1	价格				30
2	技术部分				52
	序号	评分因素	权重	评分方式	评分准则
	1	技术保障措施	2	专家打分	在投标文件中详细说明保障措施（包括技术团队、技术方案、技术人员、场地、车辆等），评审委员会根据相应情况进行横向比较，按优100分，良80分，中60分，差0分打分。
	2	技术规格偏离情况	50	专家打分	投标人应如实填写《技术规格偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得100分，标注“▲”项参数每负偏离一项扣9分，未标注“▲”项参数每负偏离一项扣4分，扣完为止。优于招标要求的技术参数项不加分。
3	商务需求				8
	序号	评分因素	权重	评分方式	评分准则
	1	免费保修期内售后服务条款偏离情况	4	专家评分	投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣35分。
	2	免费保修期外售后服务条款偏离情况	1	专家评分	投标人应如实填写《免费保修期外售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣50分。
	3	其他商务条款偏离情况	3	专家评分	投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣25分。
4	诚信情况					7
	序号	评分因素	权重	评分方式		评分准则
	1	诚信	5	专家评分		投标人在参与政府采购活动中存在诚信相关问题且在主管部门相关处理措施实施期限内的，本项不得分，否则得满分。投标人无需提供任何证明材料，由工作人员向评审委员会提供相关信息。
5	综合实力					3
	1	投标人近三年同类业绩（以合同时间为准，截止日为本项目公告发布之日）	3	专家打分		提供3个同类业绩或代理投标的生产厂家业绩即得满分，提供2个得60分，提供1个得30分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每一个完工项目的合同和验收报告（均加盖合同甲方公章或业务章）扫描件，原件备查，否则不得分。

其它

附件

*******" target="_blank">极低温强磁场扫描隧道显微镜系统、矢量磁场超低温扫描隧道显微镜.zip

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 扫描隧道显微低温强磁场需求公示

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