浙江省国际技术设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2021-11-24在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:详见招标文件
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:****-********8031
招标项目名称:科研仪器设备（第一百二十批）
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	电感耦合等离子体金属刻蚀机	1套	该设备主要由刻蚀腔体、进样室、下电极、射频等离子体源及自动匹配单元、气路系统、真空系统、冷水机、控制单元等组成。设备功能：通过感应耦合（ICP）方式产生高密度等离子体，在Si衬底或化合物半导体的金属薄膜电极上形成数百纳米至微米一下的电极图案结构，可以根据反应气体的配比、反应的压力衬底温度、在掩膜材料的帮助下，对金属暴露区进行选择性的刻蚀，即将光刻胶掩膜或介质硬掩膜制成的图形转移刻蚀到金属电极上。
2	电感耦合等离子体化合物刻蚀机	1套	该设备主要由刻蚀腔体、进样室、下电极、射频等离子体源及自动匹配单元、气路系统、真空系统、冷水机、控制单元等组成。设备功能：通过感应耦合（ICP）方式产生高密度等离子体，在化合物半导体材料或薄膜上形成数百纳米至微米一下的图案结构，可以根据反应气体的配比、反应的压力衬底温度、在掩膜材料的帮助下，对化合物材料进行选择性的刻蚀，即将光刻胶掩膜或介质硬掩膜制成的图形转移刻蚀到化合物材料或薄膜上。
3	低温等离子增强化学气相沉积设备	1套	反应腔上电极加热，不低于200℃，下电极电阻，不低于400℃；配备有观察窗口，本底真空1E-4Pa，漏率≤ 1E-8mPaM3/s；自动真空进样装置（LoadLock）可传载8英寸及以下样片，本底真空≤10Pa，漏率：≤ 1E-8PaM3/s；样品台支持加工8英寸圆片，4英寸、3英寸、2英寸以及更小其他小尺寸不规则衬底的载片设计。

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）投标人须为具有独立法人资格，有能力提供招标文件所规定的货物及服务的制造商或其唯一授权的代理商。
2）投标人或制造商须具有完善的售后服务体系。
3）对招标文件第一分册中注明可能导致投标文件被拒绝的条款的任何偏离将否决其投标。

是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2021-11-24
招标文件领购结束时间:2021-12-01
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：浙江省国际技术设备招标有限公司（中国杭州市凤起路334号同方财富大厦14楼1401室）
招标文件售价:￥600/$100
其他说明:邮购须另加60元人民币或100美元；购买标书时间：每天(节假日除外)9:00 时至16:00时(北京时间)。
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2021-12-15 14:30
投标文件送达地点:浙江省国际技术设备招标有限公司1412开标厅
开标地点:浙江省国际技术设备招标有限公司1412开标厅
6、投标人在投标前应在必联网（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（https://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:西湖大学
地址:浙江省杭州市西湖区云栖小镇石龙山街18号
联系人:柳老师
联系方式:****-********
招标代理机构:浙江省国际技术设备招标有限公司
地址:浙江省杭州市凤起路334号同方财富大厦14层
联系人:赵炎君、吴东嶂
联系方式:0086-***-********，********
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):中国工商银行杭州市武林支行
招标代理机构开户银行(美元):中国工商银行杭州市武林支行
账号(人民币):****************843
账号(美元):****************178
9、其他补充说明
其他补充说明:联系邮箱：********1a143b4a4d********1698fbf9">[emailprotected]

,浙江,杭州市,西湖区,杭州,0571-