高真空磁控溅射镀膜设备（JJ2021003946）采购公告

招 标 正 文
 

高真空磁控溅射镀膜设备（JJ2021003946）采购公告

项目名称高真空磁控溅射镀膜设备项目编号JJ********46
公告开始日期163*****38000公告截止日期163*****00000
采购单位南开大学付款方式合同签定生效后，预付合同总额的 40%；货物到达需方指定地点并安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付合同总额的 60%余款。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求无到货时间要求合同签定生效后3个工作日内
预 算无
收货地址南开大学八里台校区
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
高真空磁控溅射镀膜设备1台无
品牌沈阳科诚
型号CK-400
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算无
技术参数及配置要求仪器名称：高真空磁控溅射镀膜设备；生产厂家：沈阳科诚真空技术有限公司；品牌：沈阳科诚；规格型号：CK-400;具体配置：仪器由由溅射真空室腔体，磁控溅射系统，样品台系统，真空泵机组，配气系统，设备机架，电控系统组成，真空室前门可与手套箱对接。1、溅射真空室腔体:1套1)外形：优质304不锈钢D形前后开门真空室腔体1套，内部尺寸长D400 *高400mm，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门，前后门各配DN100视窗1套；2)底部：3英寸普磁靶接口1套，3英寸强磁靶接口1套，CF25照明接口2套，JTFB-1200涡轮分子泵接口1套，美国MCVAC水冷膜厚探头接口1套；3)顶部：样品台接口1套，气动挡板接口1套，GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀接口1套；4)左侧：JCDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀接口1套，预留法兰若干；5)腔体漏率：整体漏率优于5×10-10Pa.m3/S，保压12小时，压强小于10Pa。2、磁控溅射系统：1套1)磁控靶：3英寸普磁靶1套（可溅射非磁性材料，厚度5mm以内），3英寸强磁靶1套（可溅射磁性材料，1.5mm以内），靶头可摆动调节溅射角度，实现聚焦溅射，靶头内部水冷，气动靶材挡板；2)靶挡板：各溅射靶配独立挡板，以保证镀膜的工艺性（预溅射、单层膜、多层膜、掺杂膜等镀膜防止交叉污染和干扰等）3)直流脉冲溅射电源1000W，数字式直流电源数显可调控1台；4)美国AE射频电源1台：600W，自动匹配。3、样品台系统：1套1)基片旋转：采用磁流体密封，保证密封可靠性，转速5～20转／分，通过触摸屏控制连续可调；2)基片工位：安装4英寸基片1片；3)基片加热：基片台加热温度500℃，采用电阻铠装加热器及绝缘、屏蔽等，具有真空条件下加热快、抗氧化、寿命长等优点，采用日本岛电PID 可编程智能温度控制仪，可以设定分段升温速率、保持温度、保持时间，并通过热电偶的反馈信号及加热，电源调功调压控制，实现加热温度自动控制；4)基片偏压：加载负偏压对样品进行离子轰击，清洁工具表面，提供膜基结合力，提供1000W脉冲偏压电源1台；5)基片升降：电动升降，衬底与靶材间距80-130mm，通过触摸屏连续可调；6)基片挡板：采用磁流体配气缸形式，平稳开合。4、真空泵机组：1套1)DDC-JQ40-KF真空电磁充气阀1台；2)KF40泵阀连接软管1套；3)GDQ-J40B-KF高真空气动挡板阀1台；4)FF-200/1200 型系列复合分子泵1台；5)CCQ-200CF电动超高真空插板阀1台；6)CDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀1台；7)GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀2台；8)RBM-350电容薄膜真空变送器1台；9)美国英福康MPG400真空计1台（一低一高，测量范围：1×105～1×10-7Pa）。5、配气系统：1套（3路工艺气体流量控制，如Ar，O2，N2等）1)D07-26C,100SCCM/50SCCM/20SCCM质量流量控制器3套；2)GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀1台；3)φ6电磁截止阀3套；4)φ6不锈钢管路1套。6、设备机架：1套1)40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑；2)3英寸万向轮4件，移动调整；3)M16地脚4件，锁紧定位。7、电控系统：1套（电气控制采用设备机架和电控柜内置）1)烘烤照明电源：1台；2)总控制电源（配10英寸触摸屏，PLC控制器，控制样品台，磁控靶挡板，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等）：1台；8、其他技术参数：1)缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能；2)膜厚不均匀性：≤±5%（80×80mm 范围内,3 英寸靶）；3)供电：～220V两相供电系统（峰值6KW）；4)供水：小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～25℃；5)供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门；6)极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间优于35分钟（充干燥氮气），关机12小时真空度≤10Pa。
售后服务按国家法定或行业要求提供售后服务。

报价地址：https://www.yuncaitong.cn/publish/2021/11/25/20KWEKVKL4CW43UG.shtml

标签: 磁控溅射 镀膜 真空

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