微纳电子器件金属薄膜沉积系统（AHU-XNJJ20210640）采购公告

招 标 正 文
 

微纳电子器件金属薄膜沉积系统（AHU-XNJJ20210640）采购公告

项目名称微纳电子器件金属薄膜沉积系统项目编号AHU-XNJJ********
公告开始日期163*****06000公告截止日期163*****00000
采购单位安徽大学付款方式货到验收付款
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求无到货时间要求无
预 算470000.0
收货地址安徽省合肥市蜀山区九龙路111号安徽大学协同创新D楼
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
高真空电子束蒸发镀膜机1套无
品牌无
型号无
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算470000.0
技术参数及配置要求一、技术参数：真空腔室1）真空腔室、连接管道和所有法兰均采用优选的SUS304不锈钢，材料致密放气量小；2）真空腔室为D型圆筒形，尺寸：Φ550×H600mm；3）前开门结构，门孔大小：500mm×550mm。4）前门材料：6061铝，腔门和腔体间橡胶圈密封。5）前门带1个观察窗，可视直径为110mm，带有观察窗挡板。6）锁门方式：手动，上下2个杠杆把手。7）右后侧连接抽气接口，管道直径DN200mm，抽气口带粗过滤防止大物掉落。8）底部一个电子枪安装法兰，一个sws140标准法兰，两者平行安装。9）顶部为基片台模块接口。采用ISO250的标准法兰10）腔体内部安装加热板，对腔体可以进行烘烤，最高加热温度150度，控温精度±1度。11）腔体带一个DN30的观察窗，并在外安装LED灯，用于腔体照明加工工艺与技术指标：12）采用本公司高真空腔室焊接，清洗工艺，采用进口真空系统氦质谱检漏仪全程跟踪检漏，腔体漏率：小于1.0×10-10Pa/m3/s；13）内外表面电解抛光处理。抽气系统1）真空机组采用复合分子泵配合直联旋片泵作为真空抽气系统；2）KYKY分子泵：对氮气抽速大于1200L/s；3) 机械泵：抽速：8L/s；4）极限真空：小于6.7E-5Pa;5）恢复真空速度：用氮气破空，从大气至6.7E-4Pa时间小于40分钟;真空阀门6）采用带预抽管路的真空抽气系统。7）前级阀和预抽阀采用KF40气动角阀8)主阀采用DN200口径的气动插板阀。样品台1）装载一个6英寸样品台;2） 可以根据客户样品形状和大小定制样品托（不超过上述尺寸）；3）样品台旋转：转速0-25rpm连续可调；4）样品台可升降，通过步进电机精确控制升降距离。最大行程10cm；5）样品台选择水冷样品台，水冷不控温；6）带电动挡板，挡板可手动控制，到达设定膜厚自动关闭挡板；电子束蒸发1）加速电压： -4 ~-10kV 2）最大电流： 1A（此时的加速电压是-l0kV） 3）最大加速功率：10kW4）电子束偏转角：270° 5）电子束位置调节宽度： ±20mm 6）电子束扫描宽度：±20mm ；7）电子束扫描频率： X=50Hz, Y=500Hz； 8）工作真空度： 在 7X10-2Pa 以下；9) 冷却水：5～8L／Min 不含坩埚冷却水； 10)体积：长 168×宽 182×高 173 ； 11)重量：约 9Kg ； 12)坩埚：4*6cc； 13)可蒸镀Au、Cr、Ti、AlO3、Pd、Pt；14）带手操器；采用inficon SQM160膜厚仪频率范围 ：1-10 MHz频率分辨率标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec可选择的测量周期 ：0.10 to 2 sec (每级增量0.05 sec) 测量选择 ：1 to 20 readings存储膜系：99种膜系 二、报价要求1、供应商报价时从推荐3个品牌杭州大华、赛威科光电和上海奥铭真空科技有限公司中选择1个进行报价，报价时在竞价网品牌栏目注明所报品牌型号，不注明或者注明其他品牌型号的为无效报价。2、供应商须完全响应技术参数要求。三、质保要求：1、原厂质保一年，须提供供应商所报品牌原厂质保承诺函。2、成交供应商在网上竞价确认后1个工作日内提供所报品牌原厂质保承诺函原件，如成交供应商没有按时提供所报品牌原厂质保承诺函原件则取消其成交资格，由排序第二的有效供应商顺延。四、供货时间：本项目须在2021年12月10日前完成送货安装调试工作。五、付款方式：项目完成验收合格付款。六、质疑与答复：供应商如对该项目采购需求和技术参数有质疑，须按《安徽大学非政府采购项目质疑和投诉管理暂行办法》有关规定和质疑函格式要求（请自行在安徽大学采购与招标信息网站查询下载），在网上竞价截标前提交书面质疑函，书面质疑函扫描件发至邮箱：********8@qq.com 。安徽大学国有资产与实验室管理处（采购管理中心）联系电话：********，联系人：袁老师。逾期不予受理。七、特别提醒：1.供应商须符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件，如分公司投标须有总公司授权并将授权书上传竞价网，否则报价无效。2.根据政府采购法律法规，单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一项目的采购活动。如有上述情况供应商参与同一竞价项目，学校将有权视情节轻重禁止其自处罚之日起1-3年内参加学校各类非政府采购活动并同期从安徽大学供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。3.供应商如有以下任一行为，除承担违约责任外，学校有权视违规情节轻重禁止其自处罚之日起 1-3 年内参加学校各类非政府采购项目资格并同期从安徽大学供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。（1）提供虚假材料谋取中标（成交）或虚假供货的；（2）中标（成交）后无正当理由拖延或弃标、无正当理由拖延或拒不签订采购合同的；（3）不按竞价要求或合同约定履约的；（4）其他违反法律法规和采购规定的。
售后服务公司中标后送货上门，负责安装调试；本台设备要求供应商具有本地化服务能力，本地化服务的能力是指具有以下条件之一：1）在本地注册成立的；2）在本地具有分支机构（含分公司、办事处、售后服务机构等），具有固定的办公场所及人员。备注：“本地”系指：合肥市;

报价地址：https://www.yuncaitong.cn/publish/2021/11/28/20KWJ1GRHCO8263Y.shtml

标签: 薄膜沉积系统 电子器件

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