化学气相沉积炉(清设比选20212524号)采购公告

化学气相沉积炉(清设比选20212524号)采购公告

采购项目名称化学气相沉积炉采购项目编号清设比选********
公告开始时间2021-12-01 15:27:48公告截止时间2021-12-04 16:00:00
采购单位清华大学付款方式采用进度付款方式,乙方提交详细的设计方案及相关图纸,项目单位评审通过后,付 40%合同款;设 备制造完成,在乙方验收合格后付 40%合同款;设备运送到位、安装调试完成后付 15%合同款;余额 5%作 为质保金,验收合格满一年无质量问题后一次性付清。
对外联系人本项目不接受咨询联系电话本项目不接受咨询
签约时间要求成交后3个工作日(如不按时签订合同,采购单位有权取消或变更采购结果)交货时间要求签订合同后120个工作日
最高限价未公布
交货地址廊坊清华科技园5号厂房东侧
供应商特殊资质要求

采购清单1
物资名称采购数量计量单位
化学气相沉积炉1
品牌品牌1
型号
品牌2
型号
品牌3
型号
单价
技术参数及配置要求1) 炉膛工作恒温区有效尺寸: Φ 280× H650mm
2) 加热形式:电阻加热,采用可控硅调压电源,单台功率15KW/50HZ
3) 工作温度:最高工作温度:1300?C 常用工作温度:1100?C
4) 空炉冷态极限真空度:≤ 10Pa
5) 空炉冷态压升率:≤ 4Pa/h
6) 空炉抽气达到极限真空时间:≤35min
7) 工作空间温度不均匀度:≤±15℃
8) 满载升温时间 : ≤3 小时
9) 进气压力:常压进气
10) 进排气方式: 下进气, 上下排气
质保期12个月

清华大学

2021-12-01 15:27:48


联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 气相沉积炉 化学

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