快速退火炉国际招标公告(2)
快速退火炉国际招标公告(2)
苏美达国际技术贸易有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2014-04-21在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:包1 芯片点测机 51台
包2 AOI自动光学检测机 1台
包3 研磨机 1台
包4 研磨机 2台
包5 垂直减薄机 1台
包6 快速退火炉 4台
包7 蚀刻机 1台
包8 硅烷自动切换换气柜 2台
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-1440SUMECX96/06
招标项目名称:快速退火炉
项目实施地点:中国江苏省苏州市
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 芯片点测机 | 51台 | X轴:精度:≤8 m/160mmY轴:精度:≤8 m/160mmZ轴:精度:≤10 m | |
2 | AOI自动光学检测机 | 1台 | 载盘旋转角度补偿:度±15瑕疵分辨率:≤5μm | |
3 | 研磨机 | 1台 | 使用主轴:立式主轴Z轴快速移动速度:≥2000mm/min | |
4 | 研磨机 | 2台 | 研磨时间:5pc/lot; ≤25min (双轴加工) | |
5 | 垂直减薄机 | 1台 | 研磨目标尺寸:≤140m | |
6 | 快速退火炉 | 4台 | In-Line 温度检测:K type Thermocouple (0~800℃)Option Pyrometer(500~1250℃) | |
7 | 蚀刻机 | 1台 | 分子泵抽速≥2700升/秒 | |
8 | 硅烷自动切换换气柜 | 2台 | 具有独立的初级过滤器和终端过滤器,出口精度为:≤0.003um |
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