序号

仪器名称

技术参数与要求

数 量

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超高真空超低温强磁场扫描隧道显微镜

*1. XY方向扫描范围：对于RT和4.2K，分别大于2和0.6 mm；

Z方向扫描范围：对于RT和4.2K，分别大于250和70 nm；

*2. Z方向分辨率：室温下优于0.02 nm，4.2K下优于0.01nm；

XY方向分辨率：室温下优于0.05 nm，4.2K下优于0.01nm；

*3. 稳定性：77K下XY方向的漂移小于0.5 nm/hour，4.2K小于0.2 nm/hour；

4. 噪音水平：4.2K下低于2 pm；

*5. 最小隧穿电流小于100 fA；

6. 样品台：在XY平面内，样品能够在±0.5 mm范围内粗动；

7. 快速进样室本底真空优于1.3′10-5 Pa；

*8. 制备室和转换室本底真空优于1.3′10-8 Pa；

*9. 当用电子束加热样品台时，温度可达到1800 K。使用液氦时样品台温度低于30K, 使用液氮时温度低于100K；

*10. 超导磁体中心最强磁场不小于8T，磁力线垂直样品表面；

11. 磁体电源：磁场最大电流为60A；

*12. 运行温度：使用液氦时温度范围大于2-80K，液氮时温度范围为77-RT。

13. STM控制系统：Nanonis V4.5 SPM控制器，包括软件和计算机，具有内部锁相功能；

14. 超高真空插入室，带有1K冷台，材料为SUS316非磁性不锈钢。

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角分辨光电子能谱系统

*1. 能量分辨率不低于1.8 meV；

*2. 角度分辨率优于0.1°；

*3. 能量扫描范围应满足0.5eV~1000eV；

4. 通过能范围应满足1eV~200eV；

*5. CCD的能量通道数不低于1000；

*6. CCD的角度通道数不低于700；

7. 信号探测采用数字化2维CCD探测器；

8. 具备角分辨和角积分两种扫描模式；

9. 可调变的入射光狭缝数不小于9；

10.透镜的焦点距离不小于30 mm；

11.透镜接收角不小于35°；

*12. 分析器平均半径不小于200 mm；

*13.紫外光源强度：对HeI，不低于2×1016 cps;

*14. 分辨率(FWHM)：优于1 meV(He I); 优于2 meV(He II)；

15. XY移动精度：手动优于5 μm, 马达驱动优于1 μm；

16. XY移动距离不低于25 mm；

17. 倾斜范围：-45o到15o（闭路）; -45o到90o（开路）;

18. 进样腔室，主要是为从大气到真空系统进样品和样品存储；

19. 真空度：48小时150°C烘烤后好于2′10-8 mbar；

*20. 要求与超高真空分子束外延设备实现无缝集成。

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超高真空分子束外延设备

1.系统由制备室和快速进样室组成；

2. 制备室侧面留有多个接口，用于安装膜厚及沉积速率监测仪、RHEED、观察窗、剩余气体分析仪、超高真空微漏阀、样品传递磁力杆等附件；

*3. 制备室的本底真空优于5×10-10 Torr，进样室本底真空优于5×10-8 Torr；

4.制备室底部可以安装8个DN40CF接口的蒸发源；

5. 真空泵组包括300L/s离子泵、300L/s涡轮分子泵和一个无油干泵，另包含一个钛升华泵；

*6. 安装RGA100 剩余气体分析仪，四极型，法拉第杯，质量范围为1-100 amu；

*7. 带有MCP的BDL600-IR 低能电子衍射-俄歇能谱仪，电子束能量：5eV-3000 eV，电子束电流：20 pA-200 nA，束斑大小：100- 250微米；

*8. 膜厚监控及沉积速率测量系统，晶体直径：14mm，频率范围：6MHz，频率分辨率：±0.12 Hz at 4 reading/sec；

*9. 要求与角分辨光电子能谱系统实现无缝集成。

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