仪器设备名称

8inch wafer切割机

购置平台

研发中心

1.设备名称及数量

二手8inch wafer切割机一台

2.设备用途和总体功能要求

根据需求将8inch硅片进行切割

3.技术规格和要求：

备注：“*”表示设备规格的必要条件，必须达到该规格。

DFD-651 Specifications

切割单元

Cutting Section

X-Axis

切割速度0.1~450mm/S

*切割范围210mm或8.27inch

切割宽度范围203.2 mm 或0" to 8"

*切割精度≤3um

Y-axis

补进精度0.0001mm

切割范围210mm或8.28inch

*位置精度0.003mm

y-axis

最大行程26mm

Z-axis

Z轴最大行程25mm

行程精度0.00025 mm

θ-axis

旋转角度

Angle 380°

正转320°，反转60°

马达分辨率0.66 s

机械部分

轴承：空气轴承

电机

直流无刷电机

旋转速度范围6000~60000RPM

Utilities Section

电需求

Input Voltage Three-phase,

200VAC±10%

Power Frequency 50-60 Hz

Grounding The Machine Must be

properly grounded

Maximum Power

Consumption 5.2 kVA

压缩空气需求

压力需求0.5~0.6Mpa

过滤装置 0.0001mm/99.5%

N2需求量

Supply Pressure 0.5 to 0.6 MPa

Connection port Rc (PT) 3/8" female

Maximum Consumption 216 l/min

水需求量

Wheel Coolant:

Pressure 0.3 MPa Water Temperature Room Temp + 2° C Room Temp + 4°

Connection Port Rc (PT) 3/8" Female

轴冷却系统

Pressure 0.2 MPa

Connection Port Rc (PT) 3/8" female

Consumption Flow Rate 3 l/min 0.79 GPM

Cleaning Water

Pressure 0.3 MPa

Connection Port Rc (PT) 3/8" Female

Flow Rate Setting Range 1.0 l/min

Water Drainage

排水系统，

Connection Port Duct Hose50 mm

安全规格：

互锁功能

门/外罩开关、安全插头、异常检知传感器等设有互锁功能。
紧急停止开关（按钮及排布形状按照厂商标准）。

暂停开关：当按下暂停开关机械动作停止动作，并且报警；当暂停开关被释放时原机械动作回复；

安全插头拔下时或者门开关、外罩开关 off（操作时 on），执行紧急停止操作。

安全对策：

1.当装置运行时，为防止操作员的错误操作而装有 inter lock。

2.冷却水压力、冷却水流量、空气压力等发生异常时、发出警告。

设备有事故防止或装置保护的各种异常检出机构。异常检出时，蜂鸣器响起，同时在显示器上表示出异常内容。

警告标签：

在所有危险位置标记；

使用中文和英语；

（包括腐蚀性警告标签，有毒警告标签，烫伤警告标签，机械性损伤警告标签等）。

技术培训及服务要求：

1、设备move in后卖方对买方人员进行技术培训培训次数不少于2次，每次不少于2H，培训次数可根据买方实际需求进行增加。

2、设备最终验收应以买方规格书为最终依据；

3、随设备提供设备的操作说明手册、维护手册和服务手册(可电子版)；

供应商类型：分销商(Distributor)□；制造商(Manufacturer)□;两者都是(Both)□；

公司名称/简称(Name of Company /Brief Name)：

地址(Address)：

电话

(Tel)

传真

(Fax)

电子邮件

(E-mail)

产品介绍：产品名称、产地、产量(Brief Introduction of Products: Name, Goods of Origin Turnout)

交货地点方式币种支付条款

(Delivery Place) (Currency) (Payment Terms)

银行信息

(Bank Information)

银行名称

(Bank Name)

银行地址

(Bank Address)

账号

(Account)

会计号码

(Swift code)

收款单位名称

(Payee )

发票信息

(Invoice Information)

发票类型□17%增值税发票(VAT)□6%增值税发票(VAT)

(Type of Invoice) □4%增值税发票(VAT)□普通发票(General)

税号

(Tax Account)

业务联系人(Contact Person)

业务联系人英文名称：(English Name of Contact Person)

性别(Gender)

电话(Tel)

财务联系人

(Fin Person)

性别

(Gender)

传真

(Fax)

1、上述内容签字盖章才有效；No effect without your signature and stamp.

2、其真实性有法律效应；All the information has legality.