ZSDWJ2021-018-原子层沉积系统网上竞价采购公告

招 标 正 文
 

ZSDWJ2021-018-原子层沉积系统网上竞价采购公告

项目名称原子层沉积系统项目编号ZSDWJ2021-018
公告开始日期163*****03000公告截止日期163*****00000
采购单位中国石油大学(华东)付款方式货到验收付款
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后10个工作日内到货时间要求无
预 算298000.0
收货地址无
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
原子层沉积系统1台无
品牌瑶纳电子
型号D100-4882
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算298000.0
技术参数及配置要求一、功能及用途要求主要用于精确调控催化剂的界面结构，制备高性能催化剂。二、技术要求1.全抛光一体式不锈钢反应器1.1 反应器内径为150毫米，满足基片尺寸4英寸要求；1.2 反应器须便于进行温度均匀性调控且温度稳定性好，加热温度：室温~400 oC，控制精度±0.1 oC；2.不锈钢管路2.1 不锈钢载气管路、前体管路和尾气管路；2.2 前体管路配置4路源，每路采用高质量耐高温、高速专用电磁阀门；2.3 配备进口VCR接口、不锈钢原料瓶和2个进口VCR接口隔膜阀，用于易燃易爆前体；2.4 配置4个加热套，对进气管路和3路源进行加热，可加热至200 oC，精度±0.1 oC，升温速度可控。选用耐高温VCR接口大通径球阀，避免粉末前体堵塞管路；3.沉积厚度均匀性偏差：< +/- 1%（以三甲基铝和水为前体沉积Al2O3为参考，沉积温度150 oC）；4.臭氧系统配置高浓度臭氧发生器、O2/O3气体管路和精密数字流量计，控制精度±0.3 sccm，臭氧产量最高须达到7 g/h，另外，配置重复性良好装置；5.温控系统采用8通道高精度PID温控系统，节能高效，温控精度±0.1 oC；6.气动控制采用8通道集成高速阀岛，其中1路用于控制尾阀、4路用于控制前体源（最大可扩展至7路源）； 7.采用高速机械真空泵，抽速3L/s，极限压力须达到6×10-3 mbar，配备KF快接接口，方便装卸；配油雾过滤器，用于吸附过量的反应物并保护真空泵；8.工作压力为1毫巴以上，通过程序控制载气流量，宽范围可调；9.控制系统软件9.1 本设备须由电脑控制，方便程序升级、更新、沉积工艺加载和保存;9.2 沉积软件须为高度集成整合界面，可在同一界面对沉积参数进行控制;9.3程序可自动记录沉积参数（截屏保存）、气压、沉积线路等，利于长久保存、方便查询及故障检查；9.4 程序须Close type和Flow type两种模式可选：程序可任选两种模式中的一种，一键设定；9.5 沉积序列设置方便，可交替循环，实现多层交替复合膜、多层多组分变化的梯度膜的沉积;9.6 程序设计有最高气压限制、温度范围限定，可防止CVD反应。三、附件、备件和消耗品3.1 配备1套耐高温球阀，可加热至200 oC，为VCR接口。3.2 配备不锈钢试剂瓶4只，均为VCR接口，防腐蚀、耐高温，密封性良好。3.3 配置主流商用笔记本电脑1台，安装适用于设备控制的Windows系统，并配备相配套的设备软件控制系统，可于同一操作界面对温度、压力、流量计阀门自动切换进行同时控制，确保自动化运行。
售后服务商品承诺:原厂全新未拆封正品;技术服务1 供应商确保在使用者的实验室内安装调试仪器直至用户认可仪器符合技术性能为止。2 仪器在调试通过后必须有12个月的保修期。3 供应商必须为买方两位人员提供至少三天的培训时间，培训内容包括仪器的基本原理、操作及一般仪器维护保养知识。4 制造商在国内的技术服务中心（包括维修中心）应当提供所有的服务包括备用零件及消耗品（以人民币结算），且低于市场价进行供应。5使用者可以随时咨询本公司技术服务人员。设备交付使用后，如有技术改进，免费进行系统升级。;

报价地址：https://www.yuncaitong.cn/publish/2021/12/15/20KX7DDMEKS6VHQG.shtml

标签: 沉积系统 原子层

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