序号

仪器名称

技术参数与要求

数 量

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超高真空分子束外延-低温扫描隧道显微镜联合系统

*1. 快速进样室本底真空优于1.3′10-5 Pa；

*2. 分子束外延系统主腔室极限真空度优于 3′10-10 Torr；

*3. 样品台具备直接给样品加热、电子束加热两种加热方式，同时具备样品冷却功能。当用电子束加热样品台时，温度可达到1800 K。使用液氦时样品台温度低于30K, 使用液氮时温度低于100K；

4. 样品水平旋转范围±180°，样品台Z方向移动范围不小于100mm。并具备样品温度测量功能等；

*5. 低温扫描隧道显微镜X/Y/Z方向扫描范围：对于室温和5K，分别大于2mm/2mm/250nm和0.6 mm/0.6 mm /70nm；

*6. 低温扫描隧道显微镜XY方向分辨率：室温下优于0.05 nm，5K下优于0.01nm； Z方向分辨率：室温下优于0.02 nm，5K下优于0.01nm；

*7. 稳定性：77K下XY方向的漂移小于0.5 nm/hour，5K小于0.2 nm/hour；

8. 噪音水平：5K下低于2 pm；

*9. 最小隧穿电流小于100 fA；

*10. 扫描头能量分辨率好于0.1meV；

11. 具有光纤导入口和可扩展的光学测量功能；

*12. 运行温度：使用液氦时温度范围为2-80K，液氮时温度范围为77-RT；

13. STM控制系统：Nanonis V4.5 SPM控制器，包括软件和计算机，用于STS谱线测量的锁相放大器包含在内；

14. 超高真空插入室，带有1K冷台，材料为SUS316非磁性不锈钢；

15. 低温扫描隧道显微镜具有AFM、MPF、EFM、KFM等功能模式；

16. 具备样品原位蒸镀功能、针尖清洗功能和样品表面清洁功能。

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