公告日期：2014-6-9
项目名称：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所ICP刻蚀系统招标项目
项目编号：0714-1440ETC023042
设备数量：1台
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所对下列相关货物进行国际公开招标，现邀请合格投标人提交密封投标。

一招标内容
1、设备名称：ICP刻蚀系统
2、数量：1台
3、概述
该设备主要用于≤8英寸金属、化合物膜材料的刻蚀，例如：Al,AlN,Cr,Ti,Mo,Au,Cu,Pt等。系统主要配置包含有真空工艺室、预真空室（loadlock）、自动传片系统、真空测量和控制系统、工艺气体配送管路和控制系统、ICP电源和自动匹配系统、RF电源和自动匹配器等部分。系统需具备压缩空气、冷却水欠压保护机构、真空互锁功能以及电源缺相报警功能，系统软件应具备分级管理能力，管理员级和操作员级对系统的操作级别应有所不同。对于任何人员的操作行为机器都应留有记录。

二获取招标文件的办法和时间
合格投标人可从2014年6月10日起至2014年6月20日9:30时至16:00时（北京时间）（节假日除外）到中国电子进出口总公司2112室购买招标文件。本招标文件每套售价为800元人民币（含招标文件（范本）第一册、招标文件第二册及电子版一份）售后不退。

三投标截止时间及开标时间
投标截止时间及开标时间：2014年7月2日上午9:30时(北京时间)

四投标地点和开标地点：
北京市复兴路17号国海广场A座新电子大厦19层第一会议室。届时请参加投标的代表出席开标仪式。

五招标代理机构：中国电子进出口总公司
详细地址:北京市复兴路17号国海广场A座21层
邮编:100036
联系人:苏广、李世君
电话:(010)********,********
传真:(010)********
邮箱：suguang@ceiec.com.cn;lishijun@ceiec.com.cn
开户名称:中国电子进出口总公司
人民币开户行:中国银行总行营业部
人民币账号:********4584