燕东科技清洗类设备采购国际招标公告(2)-0610-2140IH011756
燕东科技清洗类设备采购国际招标公告(2)-0610-2140IH011756
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | BEOL recycle回收片清洗设备 | 1台 | 实现半导体集成电路硅片制造流程中“后道回收片湿法清洗”的工艺。 | 招标编号:0610-2140IH011756 |
2 | SiN Wet bench(氮化物去除)设备 | 1台 | 实现半导体集成电路硅片制造流程中“氮化物湿法去除”的工艺 | 招标编号:0610-2140IH011756 |
3 | PRECLN-GATE bench-RCA栅氧前清洗设备 | 1台 | 实现半导体集成电路硅片制造流程中“栅氧前湿法清洗”的工艺 | 招标编号:0610-2140IH011756 |
4 | RSSTRP Bench(Pre-Metal Clean)去胶清洗设备 | 2台 | 实现半导体集成电路硅片制造流程中“光刻胶湿法去除”的工艺 | 招标编号:0610-2140IH011756 |
5 | Al Etch (铝刻蚀)设备 | 1台 | 实现半导体集成电路硅片制造流程中“金属Al湿法蚀刻的”的工艺 | 招标编号:0610-2140IH011756 |
6 | 背金前清洗机设备 | 2台 | 实现半导体集成电路硅片制造流程中“背面Si湿法腐蚀”的工艺 | 招标编号:0610-2140IH011756 |
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