南方科技大学SUSTech-JC-2022-00046竞采采购公告
项目名称 | 原子层沉积设备采购项目 |
项目编号 | SUSTech-JC-2022-00046 |
成交方式 | 最低价成交 |
采购方式 | 公开竞采 |
公告开始时间 | 2022-01-11 15:57:40 |
公告结束时间 | 2022-01-18 15:57:40 |
预算(元) | 880000.00 |
备注 | |
采 购 明 细 |
序号 | 名称 | 数量 | 单位 |
1 | 原子层沉积设备(核心货物) | 1 | 套 |
品牌 | 奥极因、FHI、SUPERALD | 型号 | SJ-N8、FA100、E200SP | 技术规格及参数 | 1. 工作条件 1.1 电源电压:AC 380V±10%,50Hz,三相五线 1.2长时间连续工作(满足7×24,即每周7天、每天24小时运行) 2. 设备基础规格 2.1适用于8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸及破片加工 2.2设备运行过程中,整机外壳温度均不高于60℃,以保证操作的安全性 2.3.1真空腔材质为316L不锈钢,漏率≤ 5×10-10mbar·L/s,腔体表面经过电解抛光处理 2.3.2 样品台室温至500℃可控,尺寸不小于φ200mm,可放样品高度不小于10mm 2.3.3腔体进气方式:前驱体蒸汽通过喷淋头进入真空腔,蒸汽自上而下流经衬底 *2.3.4腔体开关方式:可通过界面操作系统自动开关腔门,配备安全互锁检测功能,确保腔门在安全状态下开关;耐腐蚀O-ring密封 *2.3.5腔体具备快速开关真空隔离装置,防止前驱体气体和等离子体活性自由基交叉污染,避免污染电感耦合等离子体反应装置 2.3.6 真空腔体上方具备独立的反应气扩散区域,配备活动式结构,腔体上方所有结构可完全打开,便于清洁 2.3.7 反应腔体内部配备可更换式内衬,维护时便于更换 2.3.8设备本底真空度≤5×10-3 Torr 2.4.1 至少配备7路前驱体源管路:2路常温源、4路加热源(不低于150℃)、1路高温加热源(不低于200℃) 2.4.2 每个前驱体源气路至少配备1个源瓶(≥250mL)和2个进口阀门 2.4.3 阀门配备安全互锁检测功能,在真空腔门打开时处于强制关闭状态,防止前驱体暴露在空气中 2.4.4 至少配备2路反应物管路,反应物包含H2O、NH3、等,每路反应物管路分别配备1个ALD专用阀门,阀门最高耐温不小于180℃ ,ALD专用阀门其隔膜材质为钴基超级合金,阀体材质为316L VIM-VAR不锈钢,密封处泄漏率不大于1 × 10-9 std cm3/s 2.4.5 反应物NH3管路需加配微调阀,微调阀采用带金属阀座的垫圈用于本体密封,机体材料为316不锈钢 2.4.6 反应物H2O管路配备1个经过电解抛光处理且体积不小于75mL的不锈钢源瓶 2.4.7 前驱体管路配有载气(N2或Ar),载气管路前端需配备计量调压阀、气动阀等 2.4.8 吹扫管路采用1个质量流量控制器和1个进口阀门(阀门最高耐温不小于150℃)用于控制惰性气体 2.4.9 管路及接头均采用EP级电解抛光不锈钢材料,所有气体管路连接处采用金属VCR密封 *2.4.10 管路排布符合工业标准,从源瓶到真空腔的所有管路配备加热箱,保证管路、阀门等位置受热均匀 2.5 源瓶系统:室温至150℃可控,控制精度:±1℃ *2.6 加热箱:室温至150℃可控,控制精度:±1℃,要求所有管路放置在加热箱内实现一体式加热,加热箱内管路温度均匀性±3℃ 2.7采用固态继电器用于控制加热,符合 UL、CSA、ROHS标准 2.8真空泵采用双级油封式旋片真空泵,抽速60m3/h,噪音不大于60dB 2.9真空测量:至少配备2个真空压力计,包含一个高真空压力计(量程范围:0.005-10Torr)和一个大气真空压力计(量程范围:0.5-1000Torr) 2.10真空压力计采用薄膜规,要求高精度,长寿命,必须对腐蚀性介质具有极高的耐受性,可在工艺进行的同时进行压力监测,,精度:±0.25%读数;响应时间:<20ms;分辨率:≤0.005%FS;符合CE,ROHS 规范 3. 设备软硬件规格 3.1控制系统配备工控机和PLC,工控机配备SSD固态硬盘,安装正版操作系统;PLC可支持2ms扫描周期 3.2输入设备配备鼠标、键盘和触摸显示器,显示器尺寸不小于19inch,可360度自由旋转,可调视距、视角、自由悬停 3.3界面操作系统支持历史数据、报警日志的存储和导入导出功能 3.4界面操作系统需实时展示系统加热状态、所有阀门开关状态、腔室压力状态 3.5界面操作系统具备配方编辑功能,可对工艺参数沉积温度、循环次数、脉冲时间等进行编辑 3.6用户可设定设备及工艺运行时的报警参数,包括但不限于温度、压力、流量等 3.7用户可设定设备及工艺运行时的提醒参数,包括前驱体源用量追踪及提醒功能 3.8界面操作系统具备用户权限管理功能,可根据用户级别设定使用权限,针对操作人员分级管理 3.9界面操作系统支持多个配方交替运行,实现单一和多层薄膜材料的制备 3.10界面操作系统可自动完成Thermal-ALD和PEALD的单一或多层配方运行 3.11界面操作系统配备独立的维护界面,所有管路具备自动清洗功能,确保ALD阀门与真空腔之间的管路没有前驱体残留 3.12阀门配备电磁阀,电磁阀响应时间<5ms,带过电压保护回路,带动作指示灯 3.13电气硬件互锁设计包含CDA等硬件互锁(Interlock)功能,防止误操作的发生,保证设备和人身安全 4. 等离子体系统 4.1 采用电感耦合(ICP)远程等离子体激发源 *4.2 配备射频电源,频率13.56MHz,功率不小于1000W,冷却方式为风冷。功率输出稳定度及功率调节精度不大于10W,功率转化效率不小于65%,,杂散功率抑制不小于-60dBc,谐波抑制不小于-50dBc 4.3 配备自动匹配器,可自动进行阻抗匹配,缩短匹配时间 4.4 配备自动匹配器集成步进马达和驱动器,集成VI传感器,传感器具备检测射频功率输出端参数功能,匹配时间不大于3s 4.5 配备4路气体管路,包含N2、O2、H2、NH3 4.6 每路气体管路配备1个进口阀门和1个质量流量控制器 *4.7 等离子体工艺启辉窗口,功率范围30-1000W,压力范围0.05-1.0Torr 5. 热阱加热器 5.1设备配备热阱加热器用于处理反应残余气 5.2热阱加热器内部阱芯可更换 5.3热阱加热器最高可加热温度不小于400℃,控温精度±1℃ 6.工艺及服务 6.1.1 提供Al2O3工艺配方 6.1.2工艺验收标准:8英寸(Φ200mm)单晶硅片基底上沉积30nm Al2O3薄膜,薄膜的不均匀性<2%(均匀九点) 6.1.3具备独立的工艺部门,为客户提供原子层沉积工艺技术支持. | 售后及质保要求 | 1.质保期:中标人提供制造商免费质保【1】年。 2.维修响应时间:提供设备报修电话及联系人,招标人报修后,【2】小时内响应,【24】小时内派员上门现场维护,并在【72】小时内解决问题,如在规定时间内不能解决设备故障,应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。 |
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付款方式 | 货到指定地点、安装验收合格并提供全额发票后付95%的货款;余款5%待质保期满且无质量问题并经学校确认后支付。 |
交货期 | 合同签订后180天内(自然日) |
1. 欢迎有意向的供应商登录系统参与竞采;
2.未注册的供应商请先注册成为竞采平台供应商后参与项目竞采;
3. 如对项目有疑问或质疑,请于项目截止前1个工作日登录系统在线提交咨询或质疑,逾期不受理。