采购人（盖章）

中北大学

采购项目所属项目名称

山西省优势学科建设

采购项目名称及金额

晶圆键合机 万元

申请

理由

√□1.中国境内无法获取：□2.无法以合理的商业条件获取： 3.其他。

论证专家基本情况

姓名

性别

职称

从事专业

工作单位

联系电话

胡杰

男

副教授

微纳测试

太原理工大学

135*****827

李鹏伟

男

副教授

微纳测试

太原理工大学

152*****807

王军民

男

教授

微纳测试

山西

大学

138*****349

桑胜波

男

副教授

微纳测试

太原理工大学

137*****863

沈宁

女

副教授

民商法

中北

大学

139*****519

拟采购采购进口产品基本情况、申请理由

晶圆键合机是实现系统微型化和系统更高集成度的关键工艺设备，尤其是先进的MEMS、MOEMS制造的关键设备之一。该设备主要应用于微机电系统极限环境可靠性测试试验中的封装测试过程，为各种微机电器件提供不同类型的键合封装，为检验不同材料、键合条件对可靠性的影响提供键合技术支持。该设备作为本项目中功能材料微纳传感器件加工的核心设备，工艺独特性强，应用频繁，是本项目建设的核心仪器。

专家论证情况及意见

五位论证专家（四位技术专家，一位法律专家）针对EVG510半自动晶圆键合机中，国内产品无法满足科研生产所需精度及动态范围测试，国际产品的测试精度、范围、可靠性、覆盖性可以满足实验要求，使用寿命长，可以达到实验要求，进行了技术和法律论证。

其他事项

无