采购项目

脉冲激光沉积组件激光器

采购项目负责人

邢献然

拟采购货物或服务的

详细说明

准分子激光器 1台（”#”指标为重要指标）

1）波长: 248nm

2）#脉冲能量：≥750mJ

3）平均功率: 7.5W

4）最大重复频率: 10Hz

5）脉冲宽度: 20 ns

6）#能量稳定性(1 Sigma): ≤0.75%

7）光斑大小(V×H): 24×10 mm²

8）光束发散角(V×H): ≤3×1 mrad²

9）#指向稳定性(1 sigma)：≤50 μrad

单一来源

采购原因

及

相关说明

为开展科研课题研究，已搭建一台脉冲激光沉积PLD450腔体（资产编号E*******)，由于无配套激光器，系统无法开展工作，现拟采购激光器，用于固态靶材气化，实现脉冲激光沉积，关键技术指标包括脉冲能量稳定性和光束指向稳定性。目前COMPex准分子激光器≤ 0.75 %的脉冲能量稳定性及≤ 50μrad的光束指向稳定性明显优于其它品牌准分子激光器。

经充分市场调研及专家论证，目前仅美国Coherent(相干)公司生产的COMPex系列准分子激光器技术指标能达到工作需要且与原有脉冲沉积系统兼容，鉴于相干（北京）商业有限公司为Coherent Inc在中国大陆境内的分支机构（独家代理机构），现申请通过单一来源方式执行采购。

拟成交

供应商

名称： 相干（北京）商业有限公司

地址：北京市海淀区科学院南路2号融科资讯中心B座10层1006-1009室

公示期限

2022年1月30日至2022年2月11日（不少于5个日历日）

招采中心

联系方式

联系地址：北京市海淀区学院路30号北京科技大学招标与采购管理中心货物与服务采购科（办公楼106室）

联系人：秦老师

联系电话：***-********