哈尔滨工业大学招标采购办公室受用户的委托，拟就超高真空互联及样品转移系统项目进行公开招标。欢迎具有此项供货能力、资信良好的供应商前来投标。

一、项目名称：超高真空互联及样品转移系统

二、设备产地：国内

（产地“国内”是指：国内制造及中国关税已经付清的国外制造的产品，具体情况请致电技术联系人）

三、招标方式：公开招标

四、招标编号：HITZB-928

五、采购数量：1

六、采购需求及主要技术指标：

本系统是为了验证样品在超高真空的环境下在不同的测试/制备设备间相互传递的可行性，为将来搭建更大规模的复杂系统做好技术储备和技术验证。整个系统由直线段进样室、直线段传输室和中转室、圆形传样腔、独立的快速进样室、小型分子束外延室等几个部分组成。

1. 系统的总体技术要求：

真空度：在样品传输过程中，样品所经历的环境的真空度必须在10-10 mbar量级。

样品传送时间：考虑到活泼样品在真空中的老化效应，要求样品在不同部分之间的传送时间小于5分钟。

与各种子系统对接的可行性：考虑到未来大型实验装置的功能多样性，子系统来自不同领域的供货商，系统的高度和样品托方向各不相同，本设备在设计和装配时要考虑到适应不同的实验装置，包括样品托的传样方式，传入角度和取放方式。

实验装置的耐用性和便于维护：考虑到大型实验装置的使用特点，本系统的设计和选材要从耐用出发，所使用的设计在国内至少有1~3家类似的使用用户并提供用户清单以便调研。要求提供详细的系统图纸以供审核。

未来的扩展性：本设备是作为大实验装置的子系统，因此必须具有扩展性，供应商必须证明或者演示此系统具有互联和扩展的可能性。此外，供应商应该及时与哈尔滨工业大学就实际使用中的问题及时更新设计，并将更新后的设计与哈尔滨工业大学共享。

2. 系统的总体构成：

直线传输段：直线传输段是本套设备的主动脉，用于大量快速的移动样品，位于直线传输段进样室和圆形传样腔之间。本部分包含了直线段和直线过渡段两部分，直线段连接了直线段快速进样室和过渡段，并且具有和其他直线段连接的法兰接口。直线过渡段连接了直线段和圆形传样腔，并具备短期存放多个样品的停放台。直线传输段还应该包括简单可靠的样品传送方式，如传样杆，直线驱动的样品小车及必要的调整和选择装置等。

直线传输段进样室：直线传输段进样室与直线段相连接，是样品从大气进入超高真空环境的过渡腔体，直线传输段必须能允许传样小车自由便捷的进出，单次传送不少于15个样品托进入超高真空环境。

圆形传样腔：圆形传样腔与直线过渡段相连接，作为样品分配的最终端，圆形传样腔包含了一个不小于700mm的圆形真空腔和可以在腔体内自由转动和伸缩旋转的机械臂。机械臂可以绕形腔体的中心做360度旋转并且可以在轴线方向做自由的伸缩，线性移动的距离不小于720mm，为了配合不同系统的传样需求，机械臂的前段还需配有样品的快速取放装置，可以直接与不同的终端设备的样品台进行样品的交换。为了配合不同的样品系统，机械臂前段的取放装置还必须具有绕轴旋转的功能，可以绕着轴线做360度自由的旋转，以适应样品取向不同的设备。

独立的快速进样室：独立的快速进样室作为一个子模块与圆形传样腔体连接，作为一个后备的样品进入超高真空系统的方式。能单次传入不少于6个样品进入超高真空系统，并且在分子泵组和差分进样门的配置下，极限真空需要好于5x10-9 mbar。

分子束外延设备：分子束外延作为一套终端设备，一方面需要具备分子束外延的样品制备功能，能使这套系统具备单晶生长的能力，另外，能满足后期系统扩展后进行原位的样品分析的需求，因此其样品托设计需要很好的兼容性，能与主流的表面分析设备厂家的产品兼容，如：Specs、Omicron、ThermoFisher、Prevac、VG等。

3. 系统整体的真空要求：

系统包含了多套超高真空腔体，在真空泵的选择包含但不限于分子泵，离子泵，吸附泵等。所有的分子泵和前级泵之间必须搭配有自保护的气动阀门，在停电等非正常状况下能保护分子泵和系统真空不受破坏。

系统的分子泵必须选择Agilent、Edwards或Pfeiffer；对于300L/s抽速及以上的分子泵组必须选择相应的全无油磁悬浮型号；如果有选择吸附泵必须选择来自SAES或者Gamma Vacuum的吸气剂；如果有选择低温冷凝泵必须选择来自住友(Sumitomo)或者CTI（Brooks）的型号；分子泵的前级泵必须选择全无油的涡旋真空泵或者隔膜真空泵组等。

系统的极限真空必须在系统充分烘烤完采用离子规测量得到，离子规及控制器必须来自于Agilent/Edwards/Pfeiffer/Granville Phillips等国际著名品牌。

不同真空系统之间的连接必须采用全金属密封的闸板阀连接，闸板阀必须来自于VAT或者VG Scienta中的一家。

本系统对各个腔体的真空泵和真空指标的具体需求如下：

直线段： 极限真空达到10-11 mbar量级:

i. 1台不小于300L/s的分子泵和不小于6m3/h的无油前级泵；

ii. 1台溅射离子泵；

iii. 1台吸气剂泵或者低温冷凝泵；

iv. 离子泵和吸气剂泵或者冷凝泵的总抽速不小于2000L/s；

v. 与直线段进样室采用口径不小于150mm的闸板阀连接， 与圆形传样腔采用口径不小于60mm的闸板阀连接。

直线传输段进样室：极限真空好于5x10-10 mbar

i. 1台不小于300L/s的分子泵和不小于6m3/h的无油前级泵；

ii. 快速进样门口径不小于150mm并采用双橡胶圈密封技术。

圆形传样腔：极限真空达到10-11 mbar量级

i. 1台复合离子泵（可以是NEG或者TSP复合），总抽速不小于400L/s;

ii. 与独立的快速进样室之间采用口径不小于60mm的闸板阀连接，与分子束外延设备之间采用口径不小于60mm的闸板阀连接。

独立的快速进样室：极限真空好于5x10-9 mbar

i. 1台不小于70L/s的分子泵和1台不小于6m3/h的无油前级泵；

ii. 快速进样门口径不小于60mm并采用双橡胶圈密封技术。

分子束外延设备: 极限真空好于5x10-10 mbar

1台不小于300L/s的分子泵和不小于6m3/h的无油前级泵。

4. 样品的传输与交接要求：

为了尽可能保证样品的活性，样品传输时间应该尽可能的缩短，以下为各腔体内部和腔体之间的传样时间和真空增量要求：

直线传输段进样室到直线传输段，样品小车移动的时间不大于30秒，传送时的真空增量小于5x10-10 mbar；直线传输段，样品小车从进入直线段开始计时，到传送一个样品到直线过渡段的样品停放台上的时间不大于120秒，传送时的真空增量小于5x10-10 mbar；

直线传输段到圆形传样腔，圆形传样腔的机械臂抓取直线过渡段的样品并退回到圆形传样腔内部的时间不大于60秒，传送时的真空增量小于5x10-10 mbar；

圆形传样腔，圆形传样腔从过渡段或者快速进样室抓取样品后送至分子束外延的样品台上的时间不大于60秒，传送时的真空增量小于5x10-10 mbar；

额外传输的需求：

圆形传样腔上必须有一套装置演示机械臂可以在轴向上绕轴旋转，这套演示装置可以和分子束外延装置配合或者单独安装;

圆形传样腔内的机械臂的行程不能小于720mm，并且在端部必须有独立的样品快速抓取装置，可以自由的取放样品；

圆形传样腔的机械臂承重不小于300g，在承重300g的情况下下垂不超过3mm；

圆形传样腔的机械臂应该具有成熟可靠的设计，需要提供不少于三家国内使用类似设计的用户清单以供调研。

5. 各个部分真空室的材料、焊接要求，搭配接口与窗口要求：

直线传输段进样室/直线段/独立的快速进样室必须采用不锈钢SS304及以上的材料加工；圆形传样腔和分子束外延腔体必须采用不锈钢SS316及以上的材料加工；

所有真空法兰需采用内焊的方式，不允许采用外焊或者填料等焊接方式，特别是分子束外延腔体，应该尽量减少焊接的法兰，采用一体成型技术；

所有的快速进样门必须采用双橡胶圈密封的设计，尽可能的减少漏率；

所有的腔体上应该留有足够的观察视窗以便观察样品的传输，所有的超高真空视窗和法兰应该来自英国VG Scienta/ ITL、美国 K.J. Lesker/MDC或者台湾HTC等国际著名品牌。

6. 分子束外延室的基本技术指标：

整套设备主要由真空腔、真空泵、四维样品架、蒸发源、薄膜厚度测量仪、控制器和支架等组成。系统将与圆形传样腔通过一个全金属超高真空闸板阀相连接。样品通过圆形传样腔的机械臂完成传递。

真空腔体上需至少搭配以下接口：

一个不小于100mm口径的CF标准法兰用于安装分子泵组。

一个超高真空标准的法兰用于安装薄膜厚度测量仪。

一个不小于100mm口径的CF标准法兰用于安装多自由度样品台。

一个不小于100mm口径的CF标准法兰用于安装超高真空视窗。

至少7个35mm口径的CF标准法兰用于安装蒸发源。

可扩展的超高真空接口用于扩展高能电子衍射(RHEED)功能。

与圆形传样腔连接的闸板阀接口。

其他必需的符合超高真空标准的接口以便安装离子规及气路等其他必需的配件。

四维样品架：

工作温度：室温到1100 ℃；

XYZ线性移动模块：XY-移动模块行程为+/- 12.5 mm；Z-移动模块行程为75mm；精度0.05mm。

R1旋转模块：绕Z轴360o 旋转，精度0.5o

系统标配三套蒸发源：

一个高温蒸发源：800-1500℃，集成水冷和挡板。

二个低温蒸发源：300-1000℃，集成水冷和挡板。

每个蒸发源配备独立的稳压电源和PID控制器，

温度稳定性：

低温蒸发源1000度以下的不低于+/- 0.3度，取300摄氏度及800摄氏度两个温度点的测试结果做验收。

高温蒸发源1000度以上的不低于+/-0.5度， 取1000摄氏度及1500摄氏度两个温度点的测试结果做验收。

系统采用国际知名品牌的膜厚测量仪，并带行程为100mm 线性移动装置以及控制器。要求测试频率大于10次/秒，并提供不低于0.03Hz的测试精度。需要提供至少两路的可扩展测试通道并且可以与计算机通讯（RS232接口或者USB/网线接口），可以直观的看到晶体的寿命和使用时间。

7. 厂家需求：

厂家需提供近两年内交付的类似设备的用户列表及联系方式，需针对需求提供具体的设计方案和具体的技术解释，需提供确保仪器正常运行所需的管理，运行及维护有关的技术文件和说明书，所有资料必须是中文或英文。

8. 安装调试：

签订商务合同后，一周内提供仪器的详细系统图纸，六个月内交货。仪器到货后，厂家需在接到用户通知后10个工作日内进行安装调试；提供2名用户管理人员的现场操作使用及基本维护的免费培训，系统的调试时间在一个月之内。

9. 验收：

安装，调试及试运行后应达到合同规定的技术指标，无故障运行一个星期后验收。

七、投标商准入资格：

1、具有在境内的独立法人资格以及相关资质证明文件；本次招标如出现一个投标人的二个授权代表来参加本次投标，则该投标人的投标资格将被当场取消,投标保证金不退，本次招标不接受联合体投标，前来投标的单位需要提供基本账户银行资信证明和上一年度经会计师事务所审计的审计报告，银行资信证明必须编制在投标文件中，审计报告编制在投标文件中或开标现场提供原件均可。

2、具备中国政府采购法第二十二条的条件。

八、报名截止时间及相关说明：

1、本次招标公告截止日期为2014年7月17日中午11点整,有意参与投标的供应商请将投标申请表及营业执照复印件（有效年检且复印件年检章清晰）加盖公章快递（或送达）予我们，以便于有效安排开标事宜。本项目预计开标时间8月初（具体时间以招标文件为准）。

2、如果报名情况符合开标条件，标书将在报名截止后以电子邮件的形式发送到您的邮箱，敬请自行查询邮箱并仔细阅读标书，哈工大招标办不再另行通知，如有疑问可致电或到访招标办，请在规定时间交纳标书工本费、投标保证金（标书工本费收取后一概不退）获取投标资格。

3、请于收到电子版标书后，在标书中明确的开标时间前一天（节假日前置）下午14：30分之前到指定地点（哈尔滨市南岗区西大直街92号，哈尔滨工业大学行政办公楼207室招标采购办公室）交纳标书工本费，开标前交投标保证金，未按照要求交纳标书工本费的供应商不能取得投标资格。（如有疑问可致电或到访招标办）

十、联系方式：

招标人：哈尔滨工业大学

招标人地址：哈尔滨市南岗区西大直街92号，哈尔滨工业大学行政办公楼207室招标采购办公室

招标联系人：李占奎 联系电话：0451－********

技术联系人：隋郁 联系方式：0451－********

邮政编码：150001

哈尔滨工业大学

招标采购办公室

二○一四年七月十一日
928-投标申请表-超高真空互联及样品转移系统.doc