SiO2/SiN沉积系统国际招标公告(1)-0618-224TC220200Q/03
SiO2/SiN沉积系统国际招标公告(1)-0618-224TC220200Q/03
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 超精密卧式飞刀铣削车床 | 1 | 飞刀盘直径大于300mm | 0618-224TC220200Q/02 |
2 | SiO2/SiN沉积系统 | 1 | 片内非均匀性:≤±4% | 0618-224TC220200Q/03 |
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