可控合成二氧化钒微纳米线及其应用研究设备招标公告
可控合成二氧化钒微纳米线及其应用研究设备招标公告
( 可控合成二氧化钒微纳米线及其应用研究设备 )需求公示 项目名称
可控合成二氧化钒微纳米线及其应用研究设备 是否预选项目
否
采购人名称
南方科技大学 采购方式
公开招标
财政预算限额(元)
*******
项目背景
二氧化钒是一种典型的强关联电子材料,其在略高于室温下(68℃)的一阶金属-绝缘体相变引发了人们极大的兴趣。伴随相变的发生,二氧化钒的结构由单斜型(低温绝缘相)向金红石型(高温金属相)转化。与此同时,二氧化钒展现出在光反射/透射急剧的变化和电阻率上几个量级的减小以及在体积上1%的变化。这些伴随相变发生的转换特性,逐渐受到了越来越多国内外研究人员的关注。相对于多晶的二氧化钒薄膜,单晶微纳米线能够展现出新的相变物理以及特殊的单畴相变,从而引发出新颖的应用例如温度计、功率计、致动器和固体热机等等。
投标人资质要求
1)具有独立法人资格;
2)本项目不接受联合体投标,不允许分包。
3)近三年内(即从2011年 6 月至本项目招标公告发布之日)无行贿犯罪记录,投标人须提供由供应商营业执照住所地的检察机关出具的《行贿犯罪档案查询告知函》扫描件,原件备查;
货物清单
序号采购计划编号 货物名称 数量单位备注财政预算限额(元)
1 PLAN-2014-136001-000022 可控合成二氧化钒微纳米线及其应用研究 1.0 批 *******.0
具体技术要求
一.微区拉曼光谱仪:
A. 采购货物配置功能要求
1. 拉曼光谱仪主机
1.1 拉曼光谱仪主机整体性好,机箱为框架式结构,激光光源,显微镜,光路光学元件,光谱仪及CCD探测器等主要部件都刚性地固定于一个整体性机箱内和机箱上,光学稳定性好。
1.2 光谱仪
1.2.1 *反射式设计,无色差矫像差,焦长≥ 750mm。
1.2.2 通光效率:大于30%
1.2.3 *光谱分辨率:可见全波段好于0.65cm-1;紫外波段(325nm)好于1.6 cm-1。
检测条件:可见波段采用氖灯测量,10×物镜,1800g/mm光栅,光栅在+1级条件下工作,狭缝或者针孔宽度为30微米。实验时将氖灯置于显微镜下,测量谱线为 585nm ,全半高宽(FMHW)≤ 0.65 cm-1;
紫外波段采用汞灯,15×紫外物镜,2400g/mm光栅,光栅在+1级条件下工作,狭缝或者针孔宽度为30微米,实验时将汞灯置于显微镜下,测量谱线365nm的全半高宽(FMHW)≤ 1.6cm-1。
1.2.4 *光栅:可见波段配置600g/mm和1800g/mm两块光栅,实现不同分辨率切换;紫外配置2400g/mm光栅,在330nm处优化。
1.2.5 灵敏度:硅三阶峰的信噪比好于10:1,共焦和非共焦状态下均能观察到硅的四阶峰;
检测条件:使用单晶硅片,波长532nm,曝光时间100s,累加次数3次,binning小于等于2,光栅刻线为600g/mm,显微镜头为×100倍。
1.2.6 光谱重复性:≤±0.2 cm-1
检测条件:使用单晶硅片,波长532nm激光激发,20次重复测量硅线(520cm-1)。
采用100×物镜,扫描范围100-4000cm-1。
1.3 共焦技术
1.3.1 * 采用针孔共焦(真共焦方式),共焦深度连续可调;
1.3.2 软件调节共焦孔径在10-1000 ?m范围内连续可调;
1.3.3 与100×物镜联用,空间分辨率横向(光斑直径)好于1 ?m,纵向好于2?m。
1.4 显微镜
1.4.1 * 开放式显微镜,同光谱仪耦合成一刚性整体。显微镜平台底座可拆卸,以适应较大的样品,可配接液氦制冷机冷台,液氮变温冷热台、高压反应样品池及其它附件。聚焦方式采用调节显微物镜,不调节样品台;
1.4.2 物镜:10×(0.25,10.6mm),20X (0.4, 12.0mm),100×(0.9,0.21mm),15X紫外物镜(0.32, 8.5mm);
1.4.3 反射照明、彩色摄像头;
1.4.4 325nm激光斑可以通过摄像头显示在计算机屏上,并且同时看到白光像和激光斑;
1.5 *无色差设计,在整个光谱范围内,无色差。采用矫像散Czerny Turner反射式光路设计,切换波长时无需更换光谱仪内的光学元件;
2 激光器及光学元件
2.1 532nm 激光器及光学元件
2.1.1 532nm激光器,功率50mW;
2.1.2 532nm干涉滤光片,滤除激光等离子线。Edge瑞利滤光片,低波数到50 cm-1。
2.1.*3 532nm陷波滤光片(notch filter,OD=6), 在彩色摄像头前滤掉532nm的激光
2.2 325nm激光器及光学元件
2.2.1 325nm He-Cd激光器,30mW,TEM00模式;
2.2.2 325nm干涉滤光片,滤除激光等离子线。Edge瑞利滤光片,低波数到200 cm-1;
2.2.3 *325nm激发下,拉曼频移范围200-4000cm-1,显微PL测量到330nm-700nm。
2.3 所有激光器全自动切换
3. XYZ自动平台
3.1 XY自动平台, 扫描范围:X = 75 毫米,Y = 50 毫米;
3.2 最小步长0.1微米;
3.3 带手动操作杆,控制器计算机接口卡,电子驱动和软件;
3.4 可对样品测量部位自动定位并进行拉曼成像;
3.5 用软件可连接摄像头采集的图像,扩展了显微镜的视场,适合于大范围成像;
3.6 Z轴微动平台, 最大移动距离与物镜工作距离有关.最小步长0.1微米。
4. *摄像机滤光片系统用于观察相结构变化
适用于532nm激发
5. *光波导测试系统附件
实现激发和收集激光光斑不同位置,且可以调整相应光斑距离
6. 检偏和扰偏器
6.1 紫外半玻片,放在入射激光光路,改变入射激光偏振方向;
6.2 可见半玻片(400-700nm),放在入射激光光路,改变入射激光偏振方向;
6.3 格兰偏振片(350 nm-2300 nm);放在拉曼收集光路
6.4 扰偏器(230nm-2500nm);放在拉曼收集光路
7. 多功能原位扫描成像附件
7.1 *紫外-可见-红外面扫描附件,提供两种扫描模式;
7.2 大光斑平均模式,激光能量均匀分布在大光斑区域,大小可调。
7.3 *点扫描模式(可在共焦模式下):采用XY两维扫描器点扫描,获得拉曼成像。最小步长50nm。
7.4 *适用于325nm,532nm;可扩展适用于更多激发波长(300-1000nm)
8. 双激光系统
8.1 1064nm激光器300mW;
8.2 第二束激光引入光学耦合元件
8.3 与拉曼系统原有激光可以共点测试
9. 双束激光多功能调制系统:
实现在样品表面固定一个激光束,调制第二个激光束位置,收集第三点信号的功能。
10. CCD探测器
10.1 * MPP(一级)1024×256像元一英寸优质芯片开放电极式CCD;
10.2 探测范围:220-1100nm;
10.3 芯片尺寸:26.6×6.7 ?m;
10.4 量子效率在550nm > 40%;
10.5 暗噪声< 0.005电子/秒/像元,读出噪声< 4.7电子/像元。
11. *自动准直模块,用以对光路进行自动优化
12. 计算机及软件
12.1 世界著名厂家生产的机型,Pentium CPU主频好于3.0G,Windows操作系统。Windows下光谱专业软件包 - 包括仪器控制,数据采集、计算和处理及曲线拟合等各项功能;
12.2 两种以上数据采集模式:多窗口信号采集和连续扫描信号采集。在连续扫描采集功能中,有在一个像元上取多个数据点的功能,以便能准确计算峰值。
B、产品质量和安装调试检验标准:
1.保修期一年,在保修期内,任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题,厂家负责免费维修。保修期后,厂家提供终身维修,并保证零配件的供应。
2.安装、培训:厂家将负责在用户单位安装与调试,并进行操作演示、数据处理等培训。
3.交货期:收到L/C后1个月。
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二.半导体特性分析系统:
A、采购货物配置功能要求:
1. 半导体特征测试仪
- *系统总体要求:系统具备四个直流I-V测试模块和一个C-V测试模块
- *具备远端前置放大器,能将SMU的分辨率扩展至 0.1fA;
- 具备高级半导体测试的新型脉冲与脉冲式I-V功能;
- 集成示波与脉冲测量功能的新型示波卡;
- 内置PC和Stress/Measure;
- 支持C-V仪、开关矩阵与脉冲发生器等多种外围设备;
- *支持先进的半导体模型参数提取。
2. 精密微电流源
- *低电流量程:2nA到100mA(满量程)
- *交流电流量程:1pA到100mA
- *脉冲宽度最短可至5us
3. 纳伏表
- *电压范围从10nV到100V
- *支持抵达50us的脉冲I-V测量
- *电阻范围从10nΩ到100MΩ
- 热电偶温度范围从-200℃到1820℃
4. 直流电源
- *单路直流电源,86W,0~72V,0~1.2A,CV/CC
- 0.03%基本电压输出准确度和0.05%基本电流准确度提供高质量测试数据
- *极高的输出分辨率和测量分辨率(1mV和0.1mA)适于测试低功率电路和器件
B、产品质量和安装调试检验标准:
1.保修期一年,在保修期内,任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题,厂家负责免费维修。保修期后,厂家提供终身维修,并保证零配件的供应。
2.安装、培训:厂家将负责在用户单位安装与调试,并进行操作演示、数据处理等培训。
3.交货期:签订采购合同后4个月内。
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三.探针台:
A、采购货物配置功能要求:
1.金相显微镜指标要求:
气动移动支架
移动范围:50mm×50mm
放大倍率:20X-400X
可以直接接CCD系统
LED光源照明
2.探针台主机
可真空吸附探针座
平整度:<3μm
3.探针座(positionaer)
四组真空吸附的探针座
X/Y/Z 分辨率 <2μm
*微调精度:200tpi(约350nm/°)
*X/Y/Z行程范围:12.mm×12.5mm×12.5mm
四套三轴(Triax)探针头部及线缆,空载漏电流<100fA
4.样品台(chuck)
可装载6英寸以内样品
样品真空吸附
平整度 3μm
*可以360°转动
X/Y移动范围:155mm×155mm
*Z方向高度调整范围:10mm
*提供Roll-out功能
*线性拉出(Roll-out)距离:90mm
方便、无风险样品装载
5. 台板(Platen)
Platen可调节位移:40mm
*Platen 微调高度:200μm(便于更换样品时,针尖与样品的分离)
6. 其他要求
为保证产品可靠性,以及后期维护保障
*产品必须由原厂工程师安装培训
*产品制造商必须是专业探针台制造商
7. 扩展需求
今后根据需求可扩展光纤探针,激光器、射频附件等。
B、产品质量和安装调试检验标准:
1.保修期一年,在保修期内,任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题,厂家负责免费维修。保修期后,厂家提供终身维修,并保证零配件的供应。
2.安装、培训:厂家将负责在用户单位安装与调试,并进行操作演示、数据处理等培训。
3.交货期:签订采购合同后4个月内。
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四.连续流显微型低温恒温器:
A、采购货物配置功能要求:
1. 工作温度范围:4.5K-475K(液氦),80K-475K(液氮)
2. 初始降温时间:25分钟内到10K(液氦)
3. 制冷剂消耗率:<1.1L/hr@5K(液氦),<0.1L/hr@80K(液氮)
*4. 采用环形热交换器,样品台振动<20nm,30分钟内的漂移<60nm(提供测试数据)
*5. 控温稳定性:优于50mK
*6. 恒温器总高度<67mm,恒温器底板直径<178mm
*7. 熔融石英窗口直径>25mm,厚度<1.6mm,样品台直径>19mm,到窗口的距离自定义
8. 样品台底座上装有硅二极管温度计和50欧姆控温加热器
*9. 样品台侧面增加一个硅二极管温度计
10. 配有10针电学接头和4根低温测试引线
*11. 提供高效液氦传输管线,内置流量控制阀,工作压力<1.2bar,无需泵抽或其它控制器
*12. 提供高精度控温仪,双通道,双加热器,含Ethernet、GPIB、USB接口
13. 提供50L液氮杜瓦,配置压力表、安全减压阀、加压阀,与传输管线的匹配密封接口
*14. 提供100L液氦杜瓦,全不锈钢结构,静态日蒸发率1%,含复合压力表、减压阀、安全阀、连接3/8” & 1/2”液氦管线的匹配接头、可锁定脚轮、差分式液面计。
B、产品质量和安装调试检验标准:
1.保修期一年,在保修期内,任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题,厂家负责免费维修。保修期后,厂家提供终身维修,并保证零配件的供应。
2.安装、培训:厂家将负责在用户单位安装与调试,并进行操作演示、数据处理等培训。
3.交货期:签订采购合同后4个月内。
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五.气体流量、压力控制仪表:
A、采购货物配置功能要求:
1. 质量流量控制器(MFC)(量程20SCCM 1个;量程100SCCM 1个;量程200SCCM 2个; 量程500SCCM 2个;)
1) VITON密封
2) 可覆盖量程范围:10~50000sccm;
3) 最大入口压力:150PSIG;
4) 标准入口出口压力差范围: 10~5000sccm (10~40PSID); 10000sccm~20000sccm(15~40PSID); 30000~50000sccm(25~40PSID);
5) *可控制的范围:2% ~100%(全量程);
6) *控制精度:±1%(设置点) 在20%~80%范围内; ±0.2%(全量程)在2%~20%范围内;
7) *重复性: ±0.3%读数;
8) *分辨率:0.1%(全量程);
9) *响应速度:500毫秒;
10) 操作环境温度:10~~50摄氏度;
11) *对外部的漏率(scc/sec He):<10-9
2. 质量流量控制器显示控制终端一
1) *四通道(可承载4路MFC);
2) *PID压力控制功能;
3) *LCD显示;
4)*可以选择气体类型,自动进行校正
5)*可以配合1.中MFC联合使用
3. 质量流量控制器显示控制终端二
1) *四通道(可承载4路MFC);
2) *LED 显示;
3)*可以根据选择气体类型,手动进行校正
4)*可以配合1.中MFC联合使用
4. 微皮拉尼真空计;
1) *测量范围:1.0*10ˉ5 到 1000 Torr 或1.3*10ˉ5 到 1300 Mbar 或1.3*10ˉ3到 130000 Pascal
2) 操作温度:0-40℃
3) *测量精度:5*10ˉ4 到 10ˉ3 Torr为±10%,1*10ˉ3 到 100 Torr为±5%,100Torr 到 大气压 为±25%
4) *可重复性:10ˉ3 到 100Torr为读数值的±2%
5) *法兰口径:KF16;
6) *带显示单元。
5. 微皮拉尼/压电复合真空计(带显示)
1) 组成:微皮拉尼和压电规两部分组成;
2) *测量范围1*10ˉ5 到 1000 Torr (微皮拉尼)-760Torr到760Torr(压电规)
3) 操作温度:0~40℃
4) 测量精度(Pirani部分):
5 X 10-4 to 1 X 10-3 Torr ±10% of reading
1 X 10-3 to 100 Torr ±5% of reading
100 Torr to Atm ±25% of reading
测量精度(Piezo 部分):
-10 to +10 Torr ±10% of reading
-100 to -10 Torr ±8% of reading
-760 to -100 Torr ±1% of reading
+10 to 100 Torr ±5% of reading
5) 重复性(Pirani部分)
1 X 10-3 to 100 Torr ±2% of reading
重复性(Piezo 部分)
-760 to +10 Torr ±1% of reading
7) *最大压力限制:1500Torr
8) 法兰:KF16
9) *带显示。
6. 微皮拉尼/压电复合真空计
1) 组成:微皮拉尼和压电规两部分组成;
2) *测量范围1*10ˉ5 到 1000 Torr (微皮拉尼)-760Torr到760Torr(压电规)
3) 操作温度:0~40℃
4) 测量精度(Pirani部分):
5 X 10-4 to 1 X 10-3 Torr ±10% of reading
1 X 10-3 to 100 Torr ±5% of reading
100 Torr to Atm ±25% of reading
测量精度(Piezo 部分):
-10 to +10 Torr ±10% of reading
-100 to -10 Torr ±8% of reading
-760 to -100 Torr ±1% of reading
+10 to 100 Torr ±5% of reading
6) 重复性(Pirani部分)
1 X 10-3 to 100 Torr ±2% of reading
重复性(Piezo 部分)
-760 to +10 Torr ±1% of reading
7) *最大压力限制:1500Torr
8) *法兰:KF16
7. 真空计控制器。
1) *可显示范围:1.0 X 10-10 to 1,500 Torr (transducer dependent);
2) *压力单位:Torr, mbar, Pascal,三种单位可选;
3) 操作温度:5~40℃
4) *显示: LED.
5) *可配合6.进行使用
B、产品质量和安装调试检验标准:
1.保修期一年,在保修期内,任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题,厂家负责免费维修。保修期后,厂家提供终身维修,并保证零配件的供应。
2.安装、培训:厂家将负责在用户单位安装与调试,并进行操作演示、数据处理等培训。
3.交货期:签订采购合同后4个月内。
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六.分子泵
A、采购货物配置功能要求:
对涡轮分子泵系统的基本要求是:(1台)
1. 可一键式按钮启动/关闭泵,实现简单的自动化操作。
2. 分子泵转速以百分比显示,易于准确读取。
3. *搭载的WRG真空计,无需单独的真空计控制器而花费额外成本 。
4. 分子泵可以通过时间延迟,或压力延迟启动,实现大型系统的自动启动。
5. *采用集成式空气冷却器冷却内部电源和泵/控制器,运行安静。
6. *极限真空低于5 x 10-8 mbar
7. *抽速大于等于1.2 m3/hr
B、产品质量和安装调试检验标准:
1.保修期一年,在保修期内,任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题,厂家负责免费维修。保修期后,厂家提供终身维修,并保证零配件的供应。
2.安装、培训:厂家将负责在用户单位安装与调试,并进行操作演示、数据处理等培训。
3.交货期:签订采购合同后4个月内。
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七. 锁相放大器:
A、采购货物配置功能要求:
本项目对锁相放大器的基本要求是:
1. *要求频率范围在1mHz 到102.4kHz;
2. 要求具有高于100dB的动态保留和高于0.01度的相位分辨率;
3. 要求稳定性不低于5ppm/℃;
4. *要求相位分辨率不低于0.01度;
5. 要求具备GPIB 和RS-232 两种接口;
6. *要求具有自动获取,自动定相,自动存储,自动补偿功能。
B、产品质量和安装调试检验标准:
1.保修期一年,在保修期内,任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题,厂家负责免费维修。保修期后,厂家提供终身维修,并保证零配件的供应。
2.安装、培训:厂家将负责在用户单位安装与调试,并进行操作演示、数据处理等培训。
3.交货期:签订采购合同后4个月内。
商务需求
1.交货要求
1.1交货期的要求:签订合同后120天(日历日)内。
1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。
2.售后服务的要求
2.1货物免费保修期 1 年,时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。在保修期内,一旦发生质量问题,投标人保证在接到通知24小时内赶到现场进行免费修理或更换。
2.2投标人应按其投标文件中的承诺,进行其他售后服务工作。
3.关于验收
3.1投标人货物经过双方检验认可后,签署验收报告,产品保修期自验收合格之日起算,由投标人提供产品保修文件。
3.2当满足以下条件时,采购人才向中标人签发货物验收报告:
a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。
b、货物符合招标文件技术规格书的要求,性能满足要求。
c、货物具备产品合格证。
4.质保期
4.1 验收交付后连续正常使用累计满一年。质保期内,在非人为因素情况下,一切维修换 件保养费用和备品备件均由投标人免费提供。如货物因自身故障致停用时间累计超过20天时,则质保期在状态恢复正常时重新计算或对故障设备予以重新更换。
4.2 质保期后,供应商须提供一年保修期,保修期内,提供免费技术咨询及维护,如须更换故障零部件,则只收取优惠的零件费。保修期满后对设备进行终生维修。
5. 付款方式
5.1 合同生效后支付合同总额的50%作为合同预付款,供货方按进度履行合同义务后此预付款抵作货款;
5.2 主要设备到达安装现场并安装、调试验收合格后支付合同总额的45%;
5.3余额 5%作为质量保证金在设备验收合格后正常运行一年后支付,或收到厂商银行开具的5%质保函后直接支付。
评标信息
序号
评分项
权重
1
价格
≥30
2
技术部分
53-64
序号
评分因素
权重
评分方式
评分准则
1
技术保障措施
3
专家打分
在投标文件中详细说明保障措施,评标委员会根据响应情况进行横向比较,按优81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。
2
施工安全保障措施
(可选)
3
专家打分
在投标文件中详细说明保障措施,评标委员会根据响应情况进行横向比较,按优81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。
3
交货期(完工期)
2
专家打分
在投标文件中详细说明交货期(完工期),评标委员会根据响应情况进行横向比较,按优81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。
4
售后服务承诺
10-15
专家打分
评标委员会根据投标文件中售后服务承诺情况进行横向比较,按优81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。不满足招标文件要求的得0分。
5
样品
(可选)
2
专家打分
(一般性、标准化程度高、市场竞争充分的采购项目不允许要求投标人提供大样,特殊的或有特别工艺要求的方可要求投标人提供样品。样品需求只能将设计图纸作为参考,不得放图片和照片)
评标委员会根据样品情况进行横向比较,按优81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。
6
技术响应情况
28-49
专家评分
在投标文件中详细说明响应情况,评标委员会根据响应情况按优81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。
3
综合实力部分
4-5
序号
评分因素
权重
评分方式
评分准则
1
投标人近三年同类业绩
2
专家评分
提供3个同类业绩即得满分,提供2个得60分,提供1个得30分,未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每一个完工项目的合同和验收报告,否则不得分。
2
社保情况
1
专家评分
请提供近三个月社保证明书扫描件,原件备查。根据总人数评分:优81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。未提供的得0分。
3
纳税情况
1
专家评分
请提供近一年度纳税证明扫描件,原件备查。根据纳税总金额评分:优81-100分;良61-80分;中31-60;差0分。未提供的得0分。
4
奖励、奖项、资质、资格
(可选)
1
专家评分
请提供奖励证明扫描件,原件备查。横向比较优81-100分;良61-80分;中31-60;差0分。未提供的得0分。
4
供应商社会责任
2-10
序号
评分因素
权重
评分方式
评分准则
1
公益慈善
1
专家评分
提供近3年社会公益慈善和见义勇为情况证明材料,未提供的不得分。
2
不良行为记录
1
专家评分
深圳企业信用网和政府采购行政处罚记录查询企业不良记录,有不良记录的不得分,没有不良记录的得满分。
3
履约评价
(可选)
3
专家评分
根据投标人提交的履约评价及中心履约评价库中资料打分。优得100分,良得80分,中的60分,差的0分。
4
环保执行情况
(可选)
3
专家评分
近三年有一次受到环境主管部门处罚的得0分,无处罚的得满分。投标人提交承诺函,若虚假应标将被废标并报主管部门处理。
5
总部经济
(可选)
1
专家评分
投标人总部在深圳得100分,不在深圳得0分。提供相关政府部门出具的深圳总部企业认定的证明材料,未提供的不得分。
6
节能环保
(可选)
1
专家评分
1、财政部、国家发展和改革委员会制定的《节能产品政府采购清单》;
2、财政部、环境保护部制定的《环境标志产品政府采购清单》
上述清单以截图及网址为准,未提供的不得分。
其它
货物采购部
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工程采购部
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服务采购部
********
预选采购部
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中心传真
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