南昌高新微电子科技园SPTS溅射台及深槽刻蚀机维修项目单一来源采购征求意见公示

南昌高新微电子科技园SPTS溅射台及深槽刻蚀机维修项目单一来源采购征求意见公示

一、项目信息

采购人:南昌高新置业投资有限公司

项目名称:南昌高新微电子科技园SPTS溅射台及深槽刻蚀机维修项目

拟采购的货物或服务的说明:南昌高新微电子科技园SPTS溅射台及深槽刻蚀机维修、保养恢复、备件购买及清洗等全部工作。

拟采购服务的预算金额:257万元

采用单一来源采购方式的原因及说明:溅射台属于物理气相沉积(PVD)装置,通过轰击靶材,使基片镀上一层金属层,是半导体研制方面的关键器件,属于高精密半导体专业设备。其溅射室、靶材和控制系统的设计制造和相关配件(如控制模块、匹配机、晶圆旋转盘、校准模块、冷泵压缩机等)关联密集知识产权和技术积累,如非原厂商,在维修调试、模块更换和配件补充方面,难以使设备达到正常使用水平,保证其正常运转。考虑到业主已购置使用SPTS科技有限公司的相关设备,根据《政府采购法》第三十一条第一款规定,建议项目采用单一来源采购方式,从原厂商处采购相应的设备维修服务和匹配的配件。

刻蚀机是微纳制造,尤其是微电子IC(集成电路)制造方面的关键设备,属于高精密半导体专业设备。其设计、制造和相关设备配件(如配套直流和射频电源、配套磁浮分子泵等)方面关联密集知识产权和技术积累,如非原厂商,对设备的维修调试、模块更换和配件补充方面,难以恢复或达到正常使用水平,考虑到业主已购置使用SPTS科技有限公司的相关设备,根据《政府采购法》第三十一条第一款规定,建议项目采用单一来源采购方式,从原厂商处采购相应的设备维修服务和匹配的配件。

二、拟定供应商信息

名称:SPTS Technologies Ltd

三、公示期限

2022年02月24日至2022年03月02日(公示期限不得少于5个工作日)

四、其他补充事宜:

??无

五、联系方式

1.采购人

联 系 人:南昌高新置业投资有限公司

联系地址:江西省南昌市青山湖区火炬大街559南昌高新置业投资有限公司

联系电话:****-********

2.采购代理机构

联系人:江西首信招标咨询有限公司

联系地址:南昌高新技术产业开发区恒大中心写字楼B座417室

联系电话:****-********

链接:https://pan.baidu.com/s/1uKexXiqYyzza0wQT-_-TNQ

提取码:ktf2


联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 科技园 微电子 刻蚀

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