上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目国际招标公告(1)-4197-2140SHJT0001/308
上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目国际招标公告(1)-4197-2140SHJT0001/308
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-2140SHJT0001/307 | 铜金属层化学机械研磨机;低温快速退火工艺生产机台;高温快速退火工艺生产机台;解耦等离子体氮化工艺生产机台;中束流离子注入工艺生产机台;高束流离子注入工艺生产机台 | 1;1;1;1;1;1 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2140SHJT0001/308 | 高张应力氮化硅化学气相沉积机;绝缘层氧化硅化学沉积机;抗反射层/硬掩膜/高深孔氧化硅化学气相沉积机;镍硅金属/氮化钛沉积物理气相沉积机;金属有机物气相沉积机;高密度等离子体化学沉积机设备配套软件 | 1;1;1;1;1;2 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 |
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