Dry HDC (干式清洗机)招标公告
Dry HDC (干式清洗机)招标公告
中国电子进出口总公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2014-08-08在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:深圳市华星光电技术有限公司第8.5代TFT-LCD(含氧化物半导体及AMOLED)生产线设备采购
资金到位或资金来源落实情况:资金已落实
项目已具备招标条件的说明:具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0714-1440CSOTT203/44
招标项目名称:华星光电第8.5代TFT-LCD(含氧化物半导体及AMOLED)生产线建设项目
项目实施地点:中国广东省深圳市
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
0714-1440CSOTT203/42 | MET HDC (物理成膜前清洗机)CVD HDC (化学成膜前清洗机) | 4台/8台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of cleaning TFT-glass before sputter。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价: 人民币10000 元或USD 1700 |
0714-1440CSOTT203/43 | Anneal Oven (低温退火炉) | 2台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of Anneal Oven for ITO anneal。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价: 人民币2000 元或USD 325 |
0714-1440CSOTT203/44 | IGZO OVEN (高温退火炉) | 1台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of Exposure System for CF process。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价: 人民币2000 元或USD 325 |
0714-1440CSOTT203/45 | DryHDC (干式清洗机) | 5台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于removing dust on one side of substrate surface。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价: 人民币2000 元或USD 325 |
0714-1440CSOTT203/46 | DryHDC (干式清洗机) | 2台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于removing dust on one side of substrate surface。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价: 人民币1000 元或USD 165 |
0714-1440CSOTT203/47 | (Cu)Chemical Solution Concentration Monitors(铜酸分析仪) (ITO)Chemical Solution Concentration Monitors (草酸分析仪)Photo Resist Solution Concentration Monitors (光阻分析仪) | 4台/2台/5台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于chemical concentration measuring Copper ion and H2O2/ oxalic acid/ PR and H2O。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价: 人民币1000 元或USD 165 |
0714-1440CSOTT203/48 | 显影液回收系统(Developer Recycle System Equipment) | 2套 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of Array Photo Developer Recycle System。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价: 人民币3000 元或USD 500 |
0714-1440CSOTT203/49 | 玻璃拆包机(Dense unpack) | 2台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of Glass Unpack。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价: 人民币2000 元或USD 325 |
0714-1440CSOTT203/50 | 玻璃投料清洗机(Dense Cleaner)彩膜清洗机(CF Photo Cleaner)彩膜氧化铟锡前清洗机(CF Pre Cleaner) 彩膜氧化铟锡后清洗机(CF Post Cleaner)彩膜返修机(CF Rework) | 10台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于玻璃投料清洗(Dense Clean)&彩膜清洗(CF Photo Clean)&彩膜氧化铟锡清洗(CF ITO Clean)&彩膜返修(CF Rework)。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价: 人民币10000 元或USD 1700 |
0714-1440CSOTT203/51 | 彩膜预烘机(CF HPCP) | 5台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of CF HPCP System。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价: 人民币3000 元或USD 500 |
0714-1440CSOTT203/52 | 彩膜光学膜厚测量机(CF Thickness) | 5台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of CF Thickness System.。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价: 人民币3000 元或USD 500 |
0714-1440CSOTT203/53 | 彩膜显影机(CF Developer) | 5台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of CF Developer System。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价: 人民币5000 元或USD 850 |
0714-1440CSOTT203/54 | 彩膜掩模板清洗机(CF Mask Cleaner) | 1台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of CF Mask Clean。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价: 人民币2000 元或USD 325 |
0714-1440CSOTT203/55 | 彩膜后烘机(CF Oven)彩膜氧化铟锡后烘机(CF ITO Oven) | 5台/1台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD of CF Oven System。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价: 人民币5000 元或USD 850 |
0714-1440CSOTT203/56 | LC Photo-Alignment UV Main Cure(配向紫外线液晶照射机) | 3台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD 工艺中TFT和CF基板对组后使用紫外线照射液晶。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价: 人民币5000 元或USD 850 |
0714-1440CSOTT203/57 | Cell Cutting Scriber (玻璃基板切割机) | 3台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD母板切割,并将面板及残材分离排出。指定非交错式切割机型。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构坚固,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价: 人民币10000 元或USD 1700 |
0714-1440CSOTT203/58 | Cell Cutting Scriber(Big) (大尺寸玻璃基板切割机)Cell Cutting Scriber(Max) (超大尺寸玻璃基板切割机) | 1台/1台 | 设备用途及基本要求:本设备主要用于TFT LCD母板切割,并将面板及残材分离排出。指定非交错式切割机型。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构坚固,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 招标文件售价: 人民币3000 元或USD 500 |
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