关于蒸镀仪的设备采购公告

因实验室建设需要，本院需对外采购蒸镀仪1台，诚招具有相应资质的供应商或生产商来我院洽谈。

备注：详细技术参数及要求等见附件1；

报名截止日期：2022年3月28日

联系方式：绍兴市质量技术监督检测院

联系地址：绍兴市上虞区沥海镇花宫道8号

联系人：王先生祝先生

联系电话：0575-******** ********

附件1：

一、总体要求：应满足ISO *****-7-2015《塑料薄膜和片材水蒸汽透过率的测定第7部分：钙腐蚀方法》标准中对蒸镀仪的相关要求。

二、技术参数及要求

1、品牌：国产

2、数量：1套

3、设备用途：用于塑料薄膜表面镀钙，钙膜厚度10nm-500nm可控，钙金属应在10-2Pa以下蒸发。衬底温度应保持足够低，以防止试样发生热损伤。沉积掩膜技术应用于钙膜面积控制。

4、设备配置要求：至少应包括真空腔室、旋转升降水冷基片台、金属、有机蒸发源及电源、真空系统、水路系统、气路系统、电气控制系统、机架控制柜。

5、技术参数

5.1设备基本要求

本设备与手套箱结合，可在惰性气体保护的环境下完成装片、装料及换料取片等工作，并且由于采用惰性气体的工作环境及无油真空系统使镀膜机可更快的到达高真空，获得洁净的真空环境，具备单层蒸镀、多源共蒸、分层镀膜等功能。

5.2真空腔室

5.2.1结构：方箱式，配有前、后门，前门水平滑开式，材质为锻铝，可与手套箱内操作；后门为侧开门，便于设备清理维护；镀膜室配置独立机架，可在脱离手套箱条件下单独调试和使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封可靠；

5.2.2尺寸：L400mm×W440mm×H450mm，SUS304不锈钢制作，镀膜腔室（包括管道、连接法兰等）均进行清洁处理，内表面抛光，外表电三项处理以减少“出气”量，有利于量，有利于真空度的提高及耐腐蚀。

5.2.3主要接口装配位置：腔室底部应配置可拆卸蒸发源及挡板接口，基片台、基片台加热器、及热电偶探头接口、两个CF35预留接口、1套进气接口等应从腔室顶部引入，左侧置抽气口直径应为DN200mm，膜厚仪接口及基片台挡板接口应位于腔室侧部，DN10mm电磁放气阀腔室顶部，预留接口应为四个（CF35、LF26），φ80 mm观察窗，配磁力档板，安装于前后门上，腔室防污屏蔽板，可拆卸。

5.2.4真空指标：极限真空优于5.0×10-5Pa，从大气抽至8.0×10-4Pa时间≤40min，升压率应≤0.8Pa/h，停泵12小时候后，设备真空度≤10Pa。

5.3水冷基片台：水冷抽屉式结构，承载基片最大尺寸120×120mm，应配有启动基片台挡板，基片台电动，旋转速度0-20转/min并可调。主轴应采用磁流体密封。升降基片台可调节范围70mm。配标准基片台夹具，方便装卡不同对个的基片。

5.4金属、有机蒸发源及电源：蒸发源及挡板接口圆周均布可拆卸安装板，金属蒸发源应采用铜水冷蒸发电极及舟式或锥形坩埚式，真空状态最该蒸发温度范围0-1300℃，蒸发源源间应配防污隔板，每组配独立挡板，蒸发原配钼舟20个，石英坩埚10只。

5.5真空系统：测量范围从1×105Pa-1×10-5Pa，波纹管应采用SUS304不锈钢。复合分子泵、机械泵、前级/旁路阀、气动高真空插板阀、放气阀、数显复合真空计均应满足真空系统要求。

5.6水路系统：应采用SUS304不锈钢，保障循环供水到每个水冷部件。总进水采用压力控制器检测供水及水压状态，执行异常报警。

5.7气路系统：应采用电接点压力表，气体压力不足时报警。

5.8机架控制柜：独立机架及独立控制柜设计，碳钢制作，表面喷塑处理，支撑真空腔体、真空系统及电气控制系统，底下配脚轮，方便移动、定位；独立电控柜2米。

5.9电气控制系统：

5.9.1采用 PLC+ PLC+ 触摸屏控制系统，可实现自动一 触摸屏控制系统，蒸发镀膜电源采用手动控制以方便户进行镀膜工艺参数的摸索；

5.9.2控制内容：分子泵、机械阀门开关；电源参数显示及开关控制；真空计参数显基片台转速示及开关控制；基片加热温度控制等；

5.9.3安全保护报警系统：在缺水、压过低电源流短路等异常情况执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁系保护系统。

5.10配件要求

5.10.1进口膜厚仪：精度0.03Hz at 10个读数/s，RS-232接口，USB或以太网可选。

5.10.2冷却循环水机：2P冷却循环水机，标准制冷量5.17kW。

5.10.3空气压缩机：高压无燥声气体压缩机。

三、验收要求

1、当货物到达需方指定的交货地点后，供应商必须保证所提供的货物全新，完全符合招标文件中规定的质量、规格和要求。供需双方依据设备供货清单共同对设备进行开箱验收，并对设备的数量、品质进行逐项检查。如需方发现所提供设备的品质和技术规范不符合合同要求时，或有明显损坏，供应商应负责根据合同及使用单位的要求采取补足或更换等处理措施，并承担由此发生的一切损失和费用。

2、如设备安装有特殊要求，供方应在设备安装之前向需方提出安装场地环境要求，

并对需方就安装场地环境的咨询提供技术支持；

3、在设备到达需方场地后，供方应尽快组织完成整套设备的安装调试；

4、在安装、调试过程中，供方应对需方技术人员所提出的技术问题给予满意的答复，

并向需方提供安装调试过程中的各种文档资料,以便需方今后能掌握操作方法和维

护方法；

5、安装调试完毕设备运行满足各项合同指标后，供方可向用户提出验收申请，由用

户组织验收，并提交验收报告，并在验收报告上签字确认；

6、安装和调试期间发生的费用由供方承担

7、验收标准：设备安装完成后，由第三方计量校准机构出具检定报告或校准证书，整套设备经现场试验可以正常运行。

四、售后服务

1、供应商应按合同签订的日期完成交货。

2、整套设备质保期至少1年。质保期内，系统发生任何故障，供应商应无偿地承担故障维修，更换零配件和维修保养的义务；终身提供上门维修服务和维护；终身提供免费技术咨询服务。

3、无论在质保期内，还是质保期外，供应商在接到报修通知后，应24小时内尽快赶到现场并解决问题。

4、供方派技术工程师对需方人员进行技术培训,使需方人员能掌握有关系统设备的使

用、维护和管理，达到能独立进行操作、日常测试维护等工作的目的。

5、供方应提供详细的培训课程讲义及培训。

6、安装验收完毕后对需方不少于2人进行培训，内容包括：实验方法原理、实验操

作、拟合软件的使用、仪器维护、安全要点以及其他相关内容。

7、培训地点为用户现场，培训时间1天。

8、培训费用：所发生的培训费用由供方承担。

五、付款方式

中标后三天内将履约保证金（2.5%中标价）交至招标单位账户（不计息），供应商可以银行、保险公司出具保函形式提交履约保证金，签订买卖合同。签订买卖合同2周内预付50%中标款，设备验收完成后2周内支付余下50%中标款。