原定于2022年3月29日9：00磋商的“高效液相色谱仪”项目（项目编号：S*******）因报名的供应商不足三家，现重新发布招标公告，欢迎具备相应资质和实力的供应商参加。

一、项目名称：电子束蒸发镀膜机

二、招标编号：S*******A

三、招标人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

邮编：******　　　　　　　传真：0512-********

联系人：罗老师　　　　　　电话：0512-********，********

电子邮箱：lrb998@suda.edu.cn

技术联系人：陈老师　　　　电话：188*****042

电子邮箱：fnchen@suda.edu.cn

四、招标货物品名、数量、主要性能参数基本要求

　电子束蒸发镀膜机　　1套

1.机身部分

1.1腔体整体材质全部为不锈钢316L，腔室体积不小于480mm×300mm×840mm；

1.2 316不锈钢腔门上配套两个高透观察窗，尺寸分别为8英寸和4.5英寸，用于反射镜式观察样品和电子枪，并且观察窗带挡板及内部可更换的玻璃（卡环固定可拆卸）；

1.3蒸发源与基片之前的蒸发距离600mm～800mm连续电动可调。

2.真空系统部分

2.1前抽采用国际知名品牌前级干泵，抽速不小于120m3/h，分子泵与腔体间配有气动挡板阀；

2.2沉积腔室采用国际知名品牌分子泵，抽速不小于1900L/s（氮气）；

2.3薄膜沉积腔室极限真空度≤5E-8托；

2.4宽量程真空计，测量范围：从大气到5E-10托；

3．电子枪的电源、电子枪和坩埚蒸发源坩埚穴：

3.1进口旋转带导位功能电子束蒸发源坩埚穴：6×15CC，坩埚材质见7.1，配套气动坩埚挡板。

3.2电源功率不小于6kW；

3.3电子枪的扫描功能：用户可定义的振荡频率、幅度、旋转速度、圆形图案塌陷大小，8个用户可定义图案的内存；

3.4电子枪6kw固态电源，最大功率600mA@8KV,高压0-10kv，响应时间<50微秒；

3.5源灯丝最大电流：40A。

4.薄膜沉积基片台

4.1薄膜沉积基片台材质为无氧铜，弹簧压片式，带水冷，可装载一个标准的4英寸基片，且兼容可装载不规则的小尺寸基片；

4.2基片台可0～360度连续自转，0～20rpm转速可调，可以手动关闭基片台旋转功能，配套气动基片挡板，全部计算机控制；

5.膜厚监测系统

5.1晶振膜厚仪一套，和蒸发电源及基片挡板组成闭环控制，可精确控制镀膜速率和厚度；

5.2膜厚显示分辨率≤0.1埃，速率显示分辨率≤0.01埃/秒；

6.设备整机涵盖的配件

6.1配套原装2套坩埚，坩埚数量尺寸为6×15CC，材质分别为石墨坩埚/钼坩埚/导电氮化硼坩埚和钨坩埚；

6.2配套原装灯丝2盒，数量为10根；

6.3配套可视窗口玻璃罩2套，数量为4个；

6.4配套2套2英寸和3英寸无氧铜弹簧压片式样品基台，可以用螺丝固定原有的基台上，安装无冲突；

6.5配套高纯度Au靶材不低于450克，纯度99.999%；（靶材提供贵金属质检证书）

7.样品托可升级成激光加热，在高氧环境下能加热到1200摄氏度稳定工作；

8.成膜要求

8.1成膜均匀性：在4英寸基底范围内≤±2.0%；

8.2对于PMMA类光刻胶做掩膜版的芯片基底，需适用于LIFT OFF薄膜沉积工艺。请在开标前联系技术联系人（陈老师，联系电话188*****042），提供与投标产品相同配置的机器进行镀膜测试；

8.3镀膜测试内容包括：带氧化层的硅基底上镀钛金膜（50nm，100nm，200nm，300nm），铬金膜（50nm，100nm，200nm，300nm），在玻璃上镀银膜和铝膜（50nm，100nm，200nm，300nm），打样结束后提供镀膜的平整度和均匀性报告，以评估投标产品的性能是否满足用户的科研需求；

9．质保：除耗材部分其余整机质保不得少于3年。

五、评分标准

本次招标采用综合评分法，总分为100分,具体内容如下：

1.技术参数及整体综合性能（50分）

1.1技术参数（35分）

投标人需提供反映该产品技术参数的测试报告或产品说明书等作为评标依据，否则视为偏离。

1.1.1所投标产品多项参数偏离招标要求，或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经评标委员会评审可作为无效投标。

1.1.2所投产品不满足招标文件技术条款要求的（偏离）、配置不详、技术参数不清或缺漏项的，每处扣3分。

1.2综合性能情况（15分）

1.2.1所投产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况（评委会认为超出指标有意义的）（7分）。其中优于功能要求的每处加1分。

1.2.2所投产品的市场反馈情况（8分）。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况等综合评定。

2.价格分（35分）

2.1评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满分35分。

2.2其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算：投标报价得分＝（评标基准价／投标报价）×35分。

3.综合商务（15分）

3.1售后与培训服务（5分）。根据投标人服务网点设置数量、服务响应时间以及现有用户服务反馈情况等综合评定。

3.2质保期（5分）。质保期符合招标要求的得1分，每增加1年加1分。

3.3投标人综合实力（2分）。根据投标人的综合实力评定。

3.4标书质量（1分）。根据投标文件的规范性、完整性等综合评定。

3.5其他优惠措施（2分）。根据是否提供招标文件要求范围以外，评标委员会认可的优惠措施综合评定。

六、本次招标采用一次性报人民币总包价。报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、外贸代理服务费、税金（含美国产品被加征关税，免税类别除外）、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、投标文件的组成

（一）投标文件一

1、投标函

2、投标报价表

3、详细配置及分项报价清单

（二）投标文件二（文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价，否则作废标处理）

1、投标基本情况一览表

2、详细配置清单、技术规格偏离表和投标仪器设备彩页

3、技术方案、服务承诺、培训承诺

4、资格证明文件

特别说明：

1、“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封，并加盖投标单位公章

2、“投标文件一”，正本一份

“投标文件二”，正本一份，副本五份

3、相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行

八、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

九、招标文件价格：人民币800元（相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。

十、各投标人在投标前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2022年4月7日12：00前将报名函（格式见附件4）发送邮件至采购人处（lrb998@suda.edu.cn）。

十一、递交投标文件相关事宜：

（一）顺丰快递（建议优先采用）

1.寄达时间：2022年4月12日9：00前；

2.收件人信息

收件人：罗荣飚

联系方式：136*****516

收件地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

（二）现场递交方式

1.递交时间：2022年4月12日8：30～9：00

2.递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门

十二、投标截止时间：2022年4月12日9：00。

十三、开标时间：2022年4月12日9：00。

招标附件.rar