电阻热蒸发系统（清设比选20220427号）采购公告
电阻热蒸发系统（清设比选20220427号）采购公告
| 采购项目名称 | 电阻热蒸发系统 | 采购项目编号 | 清设比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | 2022-03-29 07:33:34 | 公告截止时间 | 2022-04-03 08:00:00 |
| 采购单位 | 清华大学 | 付款方式 | 合同签订完成预付40%，货到验收合格并收到全额发票后付尾款60% |
| 对外联系人 | 联系电话 | ||
| 签约时间要求 | 成交后15个工作日(如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后80个工作日 |
| 最高限价 | 未公布 | ||
| 交货地址 | 清华大学锦屏地下实验室 | ||
| 供应商特殊资质要求 | 无 | ||
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 电阻热蒸发系统 | 1 | 台 |
| 品牌品牌1 | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥ |
| 技术参数及配置要求 | 满足真空蒸镀Li薄膜及加热处理等特殊工艺，制备高纯锗探测器N+电极。 基本配置及技术要求如下： 1.真空技术相关： (1)泵组配置：抽速≥8L/s无油机械泵；抽速≥1200L/s的分子泵系统。 (2)真空工作室尺寸：不小于Φ400mm*H600mm，不锈钢材质； (3)抽气速率：系统充干燥N2并短时间暴露大气，从大气条件抽至9.0×10-4Pa≤40min； (4)极限真空度：≤9.0×10-5Pa（环境湿度≤55%）； (5)静态升压：系统停泵关机12小时后，真空度≤5.0Pa； 2.蒸发电源1套，可自动切换。 3.蒸发电极2套，且高度可调。 4.膜厚不均匀性：≤5% (平面工件，φ130mm范围内)。 5.真空腔体内定制分系统设计及加工： (1)可承重≥10kg，可满足样品尺寸φ130mm×100mm； (2)样品盘可旋转同时可升降，升降行程≥170mm； (3)加热温度范围：室温~400℃，PID自动温控，精度±1℃。 6.配置进口膜厚监控仪，膜厚仪不低于下列指标：监测厚度显示范围：0~99.99μm、厚度显示分辨率1?、速率显示范围0~9999.9?、速率显示分辨率0.1?、监测时间显示范围1分~99小时。 7.具有全自动控制系统，包括PLC、工控机、显示屏、控制软件等； |
| 质保期 | 24个月 |
清华大学
2022-03-29 07:33:34
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