深硅刻蚀机项目已具备招标条件。资金来源国拨资金，出资比例为100%。中科信工程咨询（北京）有限责任公司受中国科学院长春光学精密机械与物理研究所的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物名称：深硅刻蚀机

1.2 招标编号：0779-********A006

1.3 主要功能：此设备需要完成8寸刻蚀工艺，配备3个工艺腔体两个loadlock腔，一个传送TM腔体，其中2个深硅刻蚀工艺腔体，保证晶圆刻蚀的深度、形貌，均匀性等达到技术要求。1个POLY刻蚀腔体并且也可以进行深硅刻蚀，此腔体可以不保障刻蚀的深硅形貌等参数，但是保证poly刻蚀的各个参数具体参数在技术协议中体现。

1.4 数量：1套。

1.5 交货期：2022年9月底前交货。

1.6 目的地点：用户现场

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

2.2 本次招标接受代理商投标，代理商必须得到制造商同意其在本次投标中提供该货物的正式授权书。

2.3本次招标不接受联合体投标。

2.4投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

3. 招标文件获取

3.1凡有意参加投标者，请于2022年4月1日至2022年4月8日17时(北京时间)，登陆中招联合招标采购平台（网址：www.365trade.com.cn,注册操作咨询电话010-********）购买并下载招标文件，现场不予受理。

3.2 招标文件每套售价800元，售后不退。

4. 投标文件的递交

4.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2022年4月21日9时00分，地点为长春光机所专家公寓三楼会议室。

4.2逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

5. 开标

开标时间同投标文件递交的截止时间，开标地点同投标文件递交地点。

6.发布公告的媒介

本次招标公告同时在中招联合招标采购平台、中国招标投标公共服务平台和中国国际招标网上发布。

7.联系方式

招标人名称：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

地址：长春市东南湖大路3888号

联系人：李光建

电话：0431-********

传真：0431-********

招标代理机构名称：中科信工程咨询（北京）有限责任公司

地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角88号大楼六层

售卖联系人：刘女士

电话：010-********

传真：010-********

2022年4月1日