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技术规格及参数

1. 脉冲激光沉积系统包括真空腔体、样品台、靶台、激光入口光路系统、工作气路系统以及集成化操作软件系统。
2.腔体真空系统至少包括一台分子泵和前级机械干泵与薄膜真空计，背底极限真空优于6e-9mbar.
3.至少提供5个1英寸靶位，每个靶台需实现独立公转、自转和摆动三种运动模式。公转与自转旋转步进电机控制， 靶的转角回查（Backlash）小于0.1度。
4. 至少提供3路高压气体入口，提供2路流量控制器， 流量范围：0-100 sccm. 气路系统在0.005mbar至0.5mbar气压范围内自动调节。
5.样品台尺寸1cm X 1cm, 加热温度不低于1000摄氏度，稳定后温度误差≤1 摄氏度，样品升降温速率0-50 摄氏度/min可调。
6.提供激光反射镜、光学聚焦透镜、透镜滑轨、透镜支架、亚克力玻璃保护罩至少一套保证激光聚焦到靶面。
7.软件可控制激光、气压、靶台系统及温度，实现自动化控制，方便薄膜生长。

售后及质保要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【48】小时内派员上门现场维护，并在【48】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。
质保期：提供免费质保1年。