磁控溅射系统招标公告
磁控溅射系统招标公告
上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2014-09-05在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:科学研究
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:****-********2741
招标项目名称:中科院上海微系统所-磁控溅射系统
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 磁控溅射系统 | 1套 | 设备真空室采用304不锈钢制造,工艺真空室直径不小于600mm;设备带单片自动进样室,可以传送直径9英寸工件盘;极限真空:优于8E-8torr,抽速:主真空室从大气抽到5E-6torr时间少于20分钟,真空室整体漏率:优于5E-5torr.l/s;等 |
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